नेक्स्ट-जेन लिथोग्राफीसाठी ग्रॅनाइट आणि सिरेमिकमधून निवड करणे

सेमीकंडक्टर लिथोग्राफीच्या नॅनोमीटर जगात, थोडासा स्ट्रक्चरल थरथर किंवा सूक्ष्म थर्मल विस्तार देखील कोट्यवधी डॉलर्सच्या सिलिकॉन वेफरला निरुपयोगी बनवू शकतो. उद्योग 2nm नोड्स आणि त्याहून अधिक दिशेने वाटचाल करत असताना, मशीन बेससाठी वापरले जाणारे साहित्य आता फक्त "आधार" राहिलेले नाही - ते अचूकतेच्या शोधात सक्रिय सहभागी आहेत.

ZHHIMG मध्ये, जागतिक OEMs कडून आम्हाला वाढत्या प्रमाणात विचारले जात आहे: आपण अचूक ग्रॅनाइटच्या सिद्ध स्थिरतेवर टिकून राहावे की प्रगत तांत्रिक सिरेमिककडे जाण्याची वेळ आली आहे? उत्तर तुमच्या अनुप्रयोगाच्या विशिष्ट भौतिकशास्त्रात आहे.

स्थिरतेचे भौतिकशास्त्र: ग्रॅनाइट विरुद्ध सिरेमिक

तुलना करतानाअचूक ग्रॅनाइट घटकआणि सिरेमिक घटकांसाठी, आपण अचूक अभियांत्रिकीच्या "पवित्र त्रिमूर्ती" कडे पाहिले पाहिजे: ओलसरपणा, थर्मल स्थिरता आणि कडकपणा.

१. कंपन डॅम्पिंग: नैसर्गिक सूक्ष्म संरचनेचा फायदा

कंपन हे थ्रूपुटचा शत्रू आहे. ग्रॅनाइट, एक नैसर्गिक अग्निजन्य खडक, एक जटिल पॉलीक्रिस्टलाइन रचना आहे जी नैसर्गिक धक्के शोषक म्हणून कार्य करते. या अंतर्गत घर्षणामुळे ग्रॅनाइट बहुतेक कृत्रिम पदार्थांपेक्षा यांत्रिक ऊर्जा अधिक प्रभावीपणे नष्ट करू शकते.

याउलट, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) किंवा अॅल्युमिना सारखे प्रगत सिरेमिक अविश्वसनीयपणे कडक असतात. उच्च-फ्रिक्वेन्सी प्रतिसादासाठी ही कडकपणा फायदेशीर असली तरी, सिरेमिक लक्षणीयरीत्या कमी अंतर्गत डॅम्पिंग देतात. लिथोग्राफी वातावरणात, जिथे स्टेज अत्यंत प्रवेगाने हलतात, ZHHIMG मधील ग्रॅनाइट बेस ऑप्टिक्स पूर्णपणे संरेखित राहण्यासाठी आवश्यक असलेले "शांत" वातावरण प्रदान करते.

२. थर्मल डायनॅमिक्स: मायक्रोनचे व्यवस्थापन

दीर्घकालीन अचूकतेमध्ये औष्णिक विस्तार हा बहुतेकदा अडथळा असतो. नैसर्गिक ग्रॅनाइटमध्ये औष्णिक विस्ताराचा (CTE) गुणांक लक्षणीयरीत्या कमी असतो, जो सामान्यतः 5 × 10^{-6}/K ते 6 × 10^{-6}/K च्या आसपास असतो.

प्रगत सिरेमिक आणखी कमी नाममात्र CTE मूल्ये साध्य करू शकतात, परंतु त्यांच्यात अनेकदा कमी थर्मल इनर्शिया असतो. याचा अर्थ असा की ते एकूण कमी विस्तारतात, परंतु ते सभोवतालच्या तापमानातील चढउतारांना खूप जलद प्रतिक्रिया देतात. ग्रॅनाइटचे प्रचंड थर्मल वस्तुमान "बफर" म्हणून काम करते, ज्यामुळे ते मोठ्या प्रमाणात वापरण्यासाठी पसंतीचे पर्याय बनते.लिथोग्राफी मशीन बेसजिथे सतत काम करत असताना वातावरण स्थिर राहिले पाहिजे.

लिथोग्राफी फ्रंटियरसाठी साहित्य

आधुनिक लिथोग्राफी मशीन कदाचित आतापर्यंत बनवलेले सर्वात जटिल उपकरण आहे. मुख्य स्ट्रक्चरल फ्रेमसाठी, उद्योग ऐतिहासिकदृष्ट्या यावर अवलंबून आहेअचूक ग्रॅनाइट घटकत्यांच्या चुंबकीय नसलेल्या स्वरूपामुळे आणि गंज प्रतिकारामुळे.

तथापि, लिथोग्राफी स्टॅकमधील विशिष्ट हाय-स्पीड मूव्हिंग पार्ट्ससाठी - जसे की वेफर चक किंवा शॉर्ट-स्ट्रोक स्टेज - त्यांच्या उत्कृष्ट कडकपणा-ते-वजन गुणोत्तरामुळे सिरेमिक लोकप्रिय होत आहेत. ZHHIMG मध्ये, आम्ही भविष्याकडे या सामग्रींमधील स्पर्धा म्हणून पाहत नाही, तर एक धोरणात्मक संकरित एकत्रीकरण म्हणून पाहतो. फाउंडेशनसाठी ग्रॅनाइट बेस आणि हाय-डायनॅमिक घटकांसाठी सिरेमिक वापरून, अभियंते डॅम्पिंग आणि वेगाचे अंतिम संतुलन साध्य करू शकतात.

ZHHIMG हा पसंतीचा जागतिक पुरवठादार का आहे?

एक अग्रगण्य म्हणूनअचूक ग्रॅनाइट घटकांचा पुरवठादार, ZHHIMG ला समजते की अचूकता ही केवळ कच्च्या मालाबद्दल नाही तर त्यामागील मेट्रोलॉजीबद्दल आहे. आमची सुविधा सर्व कस्टम असेंब्लीसाठी व्हॅक्यूम-डिगॅसिंग आणि DIN 876 ग्रेड 00 मानकांपेक्षा जास्त असलेल्या उच्च-परिशुद्धता लॅपिंग तंत्रांचा वापर करते.

आम्ही यामध्ये विशेषज्ञ आहोत:

• OEM साठी कस्टम ग्रॅनाइट बेस: रेषीय मार्गदर्शकांसाठी एकात्मिक थ्रेडेड इन्सर्टसह तयार केलेले भूमिती.

• जटिल लिथोग्राफी घटक: अनेक मीटरपर्यंत १ मायक्रॉनच्या आत सपाटपणा राखणारे मोठ्या प्रमाणावरील पाया अभियांत्रिकी.

• प्रगत मेट्रोलॉजी: जगातील सर्वात संवेदनशील तपासणी उपकरणांसाठी संदर्भ मानके प्रदान करणे.

निष्कर्ष: धोरणात्मक मार्ग पुढे

ग्रॅनाइट आणि सिरेमिकमधून निवड करण्यासाठी तुमच्या मशीनच्या डायनॅमिक प्रोफाइलची सखोल समज असणे आवश्यक आहे. सिरेमिक उच्च-फ्रिक्वेन्सी कडकपणा देतात, परंतु मोठ्या प्रमाणात स्थिरतेसाठी ग्रॅनाइटचे नैसर्गिक ओलसरपणा आणि थर्मल वस्तुमान अतुलनीय राहतात.

२०२६ कडे पाहत असताना, ZHHIMG नैसर्गिक दगड आणि प्रगत संमिश्रांच्या छेदनबिंदूवर नवनवीन शोध लावत आहे. आम्ही फक्त आधार प्रदान करत नाही; आम्ही खात्री देतो की तुमचे उपकरण त्याच्या सैद्धांतिक मर्यादेपर्यंत कामगिरी करेल.

तांत्रिक तुलना डेटा शीट मिळविण्यासाठी किंवा तुमच्या कस्टम प्रकल्प आवश्यकतांवर चर्चा करण्यासाठी आजच ZHHIMG अभियांत्रिकी टीमशी संपर्क साधा.