सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग वर्कशॉपमध्ये, पर्यावरणीय परिस्थिती आणि उपकरणांच्या अचूकतेसाठी चिप मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेच्या आवश्यकता अत्यंत आहेत आणि कोणत्याही थोड्याशा विचलनामुळे चिप उत्पन्नात लक्षणीय घट होऊ शकते. XYZT प्रेसिजन गॅन्ट्री मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्म नॅनोस्केल अचूकता साध्य करण्यासाठी एक मजबूत पाया तयार करण्यासाठी प्लॅटफॉर्मच्या इतर भागांशी सहयोग करण्यासाठी ग्रॅनाइट घटकांवर अवलंबून आहे.
उत्कृष्ट कंपन अवरोधक गुणधर्म
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग वर्कशॉपमध्ये, परिधीय उपकरणे आणि फिरणाऱ्या कर्मचाऱ्यांच्या ऑपरेशनमुळे कंपन होऊ शकते. ग्रॅनाइट घटकांची अंतर्गत रचना दाट आणि एकसमान असते, ज्यामध्ये नैसर्गिक उच्च ओलसरपणाची वैशिष्ट्ये असतात, जसे की कार्यक्षम कंपन "अडथळा". जेव्हा बाह्य कंपन XYZT प्लॅटफॉर्मवर प्रसारित केले जाते, तेव्हा ग्रॅनाइट घटक कंपन उर्जेच्या 80% पेक्षा जास्त प्रभावीपणे कमी करू शकतो आणि प्लॅटफॉर्म गती अचूकतेवरील कंपनाचा हस्तक्षेप कमी करू शकतो. त्याच वेळी, प्लॅटफॉर्म उच्च-परिशुद्धता एअर फ्लोट गाइड सिस्टमसह सुसज्ज आहे, जे ग्रॅनाइट घटकांसह एकत्रितपणे कार्य करते. एअर फ्लोट गाइड प्लॅटफॉर्मच्या हलत्या भागांच्या संपर्करहित निलंबन हालचालीची जाणीव करण्यासाठी आणि यांत्रिक घर्षणामुळे होणारे लहान कंपन कमी करण्यासाठी उच्च दाब वायूद्वारे तयार केलेल्या स्थिर गॅस फिल्मचा वापर करते. एकत्रितपणे, हे दोघे सुनिश्चित करतात की चिप लिथोग्राफी आणि एचिंग सारख्या प्रमुख प्रक्रियांमध्ये प्लॅटफॉर्म पोझिशनिंग अचूकता नेहमीच नॅनोमीटर पातळीवर राखली जाते आणि कंपनामुळे होणारे चिप सर्किट पॅटर्नचे विचलन टाळते.
उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता
कार्यशाळेतील तापमान आणि आर्द्रतेच्या चढउतारांचा चिप उत्पादन उपकरणांच्या अचूकतेवर मोठा प्रभाव पडतो. ग्रॅनाइटचा थर्मल एक्सपेंशन गुणांक खूप कमी असतो, साधारणपणे 5-7 ×10⁻⁶/℃ मध्ये, तापमान बदलल्यावर आकार जवळजवळ बदलत नाही. कार्यशाळेतील दिवस आणि रात्रीच्या तापमानातील फरकामुळे किंवा उपकरणांच्या उष्णता उत्पादनामुळे सभोवतालच्या तापमानात चढ-उतार होत असले तरीही, थर्मल एक्सपेंशन आणि आकुंचनमुळे प्लॅटफॉर्मचे विकृतीकरण रोखण्यासाठी ग्रॅनाइट घटक स्थिर राहू शकतात. त्याच वेळी, प्लॅटफॉर्मसह सुसज्ज बुद्धिमान तापमान नियंत्रण प्रणाली रिअल टाइममध्ये सभोवतालच्या तापमानाचे निरीक्षण करते, एअर कंडिशनिंग आणि उष्णता नष्ट करण्याची उपकरणे स्वयंचलितपणे समायोजित करते आणि कार्यशाळेचे तापमान 20 ° C ±1 ° C वर राखते. ग्रॅनाइट उष्णता स्थिरतेच्या फायद्यांसह, दीर्घकालीन ऑपरेशनमध्ये प्लॅटफॉर्म, प्रत्येक अक्षाची हालचाल अचूकता नेहमीच चिप मॅन्युफॅक्चरिंग नॅनोमीटर अचूकता मानकांची पूर्तता करते याची खात्री करा, जेणेकरून चिप लिथोग्राफी पॅटर्नचा आकार अचूक असेल, एचिंग खोली एकसमान असेल.
स्वच्छ वातावरणाच्या गरजा पूर्ण करा
चिपला धूळ कण दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग शॉपला उच्च प्रमाणात स्वच्छता राखणे आवश्यक आहे. ग्रॅनाइट मटेरियल स्वतः धूळ निर्माण करत नाही आणि पृष्ठभाग गुळगुळीत आहे, धूळ शोषण्यास सोपे नाही. बाह्य धुळीचा प्रवेश कमी करण्यासाठी संपूर्ण प्लॅटफॉर्म पूर्णपणे बंद किंवा अर्ध-बंद स्ट्रक्चर डिझाइनचा अवलंब करतो. अंतर्गत हवा परिसंचरण प्रणाली कार्यशाळेच्या स्वच्छ एअर कंडिशनिंग सिस्टमशी जोडली जाते जेणेकरून अंतर्गत हवा स्वच्छता चिप मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी आवश्यक पातळीपर्यंत पोहोचेल. या स्वच्छ वातावरणात, ग्रॅनाइट घटक धूळ धूपामुळे कामगिरीवर परिणाम करणार नाहीत आणि प्लॅटफॉर्मचे उच्च-परिशुद्धता सेन्सर्स आणि मोटर्ससारखे प्रमुख घटक देखील स्थिरपणे कार्य करू शकतात, चिप मॅन्युफॅक्चरिंगसाठी सतत आणि विश्वासार्ह नॅनोस्केल अचूकतेची हमी प्रदान करतात आणि सेमीकंडक्टर उद्योगाला उच्च प्रक्रिया पातळीवर जाण्यास मदत करतात.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-१४-२०२५