सेमीकंडक्टर उद्योग आक्रमकपणे सब-२एनएम प्रोसेस नोड्सचा पाठलाग करत असताना, यांत्रिक त्रुटीची शक्यता जवळजवळ नाहीशी झाली आहे. या उच्च-स्तरीय वातावरणात, प्रक्रिया कक्षची स्थिरता आता दुय्यम चिंता राहिलेली नाही; ती उत्पन्नासाठी प्राथमिक अडथळा आहे. ZHHIMG मध्ये, आम्ही जागतिक OEMs सेमीकंडक्टर कॅपिटल उपकरणांच्या स्ट्रक्चरल अखंडतेकडे कसे पाहतात यामध्ये मूलभूत बदल पाहत आहोत.
शांततेचे भौतिकशास्त्र: प्रगत कंपन डॅम्पिंग तंत्रे
आधुनिक वेफर फॅब्रिकेशनमध्ये, एकेकाळी "पार्श्वभूमी आवाज" मानले जाणारे कंपन आता विनाशकारी आहेत. सुविधेच्या HVAC प्रणालीतील सूक्ष्म दोलन असोत किंवा हाय-स्पीड स्कॅनिंग स्टेजची अंतर्गत जडत्व असो, अनियंत्रित ऊर्जा थेट त्रुटी आणि अस्पष्ट नमुन्यांमध्ये रूपांतरित होते.
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील सध्याच्या कंपन डॅम्पिंग तंत्रांचा विकास बहुस्तरीय आर्किटेक्चरमध्ये झाला आहे. निष्क्रिय डॅम्पिंग - खनिज कास्टिंग किंवा अचूक ग्रॅनाइट सारख्या उच्च-वस्तुमान सामग्रीचा वापर - हा पाया कायम आहे, परंतु आपण सक्रिय डॅम्पिंग एकत्रीकरणात वाढ पाहत आहोत.
सक्रिय प्रणाली काउंटर-फ्रिक्वेन्सी निर्माण करून कंपनांना "रद्द" करण्यासाठी पायझोइलेक्ट्रिक अॅक्च्युएटर्स आणि रिअल-टाइम सेन्सर्सचा वापर करतात. तथापि, सक्रिय प्रणालींची प्रभावीता मूळतः बेस मटेरियलच्या डॅम्पिंग रेशोमुळे मर्यादित असते. येथेच ZHHIMG ची उच्च-डॅम्पिंग स्ट्रक्चरल मटेरियलमधील तज्ज्ञता महत्त्वाची ठरते. नैसर्गिकरित्या निष्क्रिय ग्रॅनाइट किंवा कंपोझिट बेससह सक्रिय इलेक्ट्रॉनिक्स एकत्रित करून, आम्ही एक "शांत क्षेत्र" प्रदान करतो जिथे नॅनो-पोझिशनिंग हस्तक्षेपाशिवाय होऊ शकते.
घर्षणरहित गतीचा उदय: एअर बेअरिंग तंत्रज्ञान
जास्त थ्रूपुटच्या मागणीमुळे पारंपारिक यांत्रिक बेअरिंग्ज त्यांच्या मर्यादेपर्यंत पोहोचले आहेत. घर्षणामुळे उष्णता निर्माण होते आणि उष्णतेमुळे थर्मल विस्तार होतो - जो अचूकतेचा शत्रू आहे. यामुळे व्यापकपणे स्वीकारले गेले आहेअचूक टप्प्यांसाठी एअर बेअरिंग तंत्रज्ञान.
एअर बेअरिंग्ज दाबलेल्या हवेच्या पातळ थरावरील भार सहन करतात, सामान्यत: फक्त काही मायक्रॉन जाडीचे. भौतिक संपर्क नसल्यामुळे, शून्य स्थिर घर्षण (स्टॅटिक रिसक्शन) असते. हे यासाठी अनुमती देते:
-
हिस्टेरेसिस-मुक्त गती: प्रत्येक वेळी स्टेज त्याच नॅनोमीटर निर्देशांकावर परत येईल याची खात्री करणे.
-
वेग स्थिरता: ई-बीम तपासणीसारख्या स्कॅनिंग अनुप्रयोगांसाठी अत्यंत महत्त्वाचे आहे जिथे यांत्रिक बेअरिंगचे थोडेसे "कॉगिंग" देखील प्रतिमा विकृत करेल.
-
अत्यंत दीर्घायुष्य: कोणतेही स्पर्श करणारे भाग नसल्यामुळे, त्यात झीज होत नाही आणि कण निर्माण होत नाहीत, ज्यामुळे ते वर्ग १ च्या स्वच्छ खोलीच्या वातावरणासाठी आदर्श बनतात.
ZHHIMG मध्ये, आम्ही अल्ट्रा-फ्लॅट ग्रॅनाइट पृष्ठभाग तयार करतो जे या एअर बेअरिंगसाठी मार्गदर्शक म्हणून काम करतात. योग्यरित्या कार्य करण्यासाठी, या पृष्ठभागांना प्रकाश तरंगलांबीच्या अंशांमध्ये मोजलेल्या सपाटपणावर लॅप करणे आवश्यक आहे.
सेमीकंडक्टर कॅपिटल इक्विपमेंटमधील ट्रेंड: २०२६ आणि त्यानंतर
आपण २०२६ मध्ये पुढे जात असताना,अर्धवाहक भांडवली उपकरणांमधील ट्रेंड"तीन स्तंभ" द्वारे वैशिष्ट्यीकृत आहेत: मॉड्युलरायझेशन, शाश्वतता आणि थर्मल कंट्रोल.
-
मॉड्यूलर प्लॅटफॉर्म डिझाइन: OEMs "प्लग-अँड-प्ले" बेस मॉड्यूल्स शोधत आहेत. प्रत्येक टूलसाठी नवीन बेस डिझाइन करण्याऐवजी, ते प्रमाणित ZHHIMG प्रिसिजन फाउंडेशन वापरत आहेत जे लिथोग्राफी, मेट्रोलॉजी किंवा एचिंगसाठी अनुकूलित केले जाऊ शकतात.
-
थर्मल व्यवस्थापन: EUV (एक्सट्रीम अल्ट्राव्हायोलेट) प्रकाश स्रोत प्रचंड उष्णता निर्माण करत असल्याने, मशीन बेसने मोठ्या प्रमाणात उष्णता कमी करणारे साधन म्हणून काम केले पाहिजे. $<0.01^\circ\text{C}$ चा डेल्टा राखण्यासाठी आम्ही आमच्या खनिज आणि ग्रॅनाइट घटकांमध्ये जटिल शीतकरण वाहिन्या थेट एकत्रित करत आहोत.
-
व्हॅक्यूम सुसंगतता: उच्च-व्हॅक्यूम वातावरणात अधिक प्रक्रिया जात असल्याने, वापरल्या जाणाऱ्या साहित्यांमध्ये शून्य गॅसिंग असणे आवश्यक आहे. आमची विशेष ग्रॅनाइट आणि सिरेमिक प्रक्रिया हे सुनिश्चित करते की स्ट्रक्चरल फाउंडेशनमुळे व्हॅक्यूमची अखंडता कधीही धोक्यात येणार नाही.
ZHHIMG सोबत धोरणात्मक भागीदारी
ZHHIMG ही केवळ घटक उत्पादक कंपनी नाही; आम्ही गती नियंत्रण पुरवठा साखळीत एक धोरणात्मक भागीदार आहोत. चीनमधील आमची सुविधा उद्योगातील सर्वात कठीण स्थिरता आव्हाने सोडवण्यासाठी सिलिकॉन व्हॅली आणि आइंडहोव्हनमधील अभियांत्रिकी संघांसोबत जवळून समन्वय साधून काम करते.
आमच्या मालकीच्या लॅपिंग तंत्रांचा आणि आमच्या सखोल समजुतीचा फायदा घेऊनकंपन कमी करण्याच्या पद्धती, आम्ही आमच्या क्लायंटना मूरच्या नियमाच्या सीमा ओलांडण्यास सक्षम करतो. तुम्ही पुढच्या पिढीचे ALD (अणु थर निक्षेपण) साधन विकसित करत असाल किंवा हाय-स्पीड वेफर प्रोबर, पाया ZHHIMG ने सुरू होतो.
निष्कर्ष
सेमीकंडक्टर उत्पादनाची उत्क्रांती ही भौतिकशास्त्राच्या नियमांविरुद्धची शर्यत आहे. २०२६ पर्यंत उद्योग जसजसा पुढे जाईल तसतसे एअर बेअरिंग अचूकता आणि प्रगत डॅम्पिंगवर लक्ष केंद्रित करणे अधिक तीव्र होईल. या ट्रेंड्सच्या पुढे राहण्यासाठी - शब्दशः आणि लाक्षणिकदृष्ट्या - कौशल्य आणि नाविन्यपूर्णतेवर आधारित पाया आवश्यक आहे.
पोस्ट वेळ: जानेवारी-२६-२०२६