सेमीकंडक्टर उपकरण उत्पादक ZHHIMG ग्रॅनाइट कंपोनंट्सची निवड का करतात?

कोणत्याही सेमीकंडक्टर उपकरण अभियंत्याला विचारा की त्यांना कशामुळे झोप येत नाही, आणि त्याचे उत्तर क्वचितच मोशन सिस्टीम किंवा ऑप्टिक्स असेल. ते उत्तर असते मशीन ज्या जमिनीवर उभी असते ती जमीन. कागदावर २ नॅनोमीटरची स्थिती टिकवून ठेवणाऱ्या वेफर स्टेजलाही अशा बेसची गरज असते, जो सरकणार नाही, थरथरणार नाही किंवा त्याच्या खाली गरम होणार नाही.

तो पाया सहसा काळ्या ग्रॅनाइटचा असतो. ग्रॅनाइट फॅशनेबल आहे म्हणून नव्हे, तर ते एकाच वेळी तीन गोष्टी करते ज्या कोणताही धातू करू शकत नाही: तापमानात बदल झाल्यावरही ते जागेवर स्थिर राहते, कंपने पुढे जाऊ न देता ती शोषून घेते, आणि दशकभर चोवीस तास चालूनही त्याला गंज चढत नाही किंवा ते सरकत नाही. साधनाचा हाच तो भाग आहे जो ZHHIMG बनवते.

ZHHIMG प्लांटमध्ये तपासली जात असलेली एक मोठी काळी ग्रॅनाइट प्लेट — सपाटपणा उपकरणांनी सिद्ध केला जातो, आश्वासनांनी नाही.

समस्या स्थिरतेची आहे, ताकदीची नाही.

सेमीकंडक्टर उपकरणे जड असतात कारण त्यांना ताकदीची गरज असते असे नाही. ती जड असतात कारण त्यांना स्थिरतेची गरज असते. मोटर्स फिरत असताना, खोली गरम आणि थंड होत असताना, आणि महिनोन् महिने न थांबता चालत असताना, त्या उपकरणाला आपली भूमिती टिकवून ठेवावी लागते.

स्टील आणि कास्ट आयर्न तापमानानुसार हलतात. त्यातून कंपनेही निर्माण होतात. विषाणूपेक्षाही लहान वैशिष्ट्ये मोजणाऱ्या उपकरणामध्ये, कंप पावणारा बेस हा निकामी ठरतो. केवळ स्थापनेच्या दिवशीच नव्हे, तर वर्षभर एक संदर्भ पृष्ठभाग म्हणून टिकून राहणारा पृष्ठभाग तयार करणे हे उद्दिष्ट आहे.

काळा ग्रॅनाइट का जिंकतो

आमच्या काळ्या ग्रॅनाइटची घनता अंदाजे आहे३,१०० किलोग्रॅम/घनमीटरउच्च घनता म्हणजे कमी सच्छिद्रता. कमी सच्छिद्रतेमुळे दगड ओलावा शोषून घेत नाही, दमट स्वच्छ खोल्यांमध्ये फुगत नाही आणि ऋतू बदलल्याप्रमाणे सरकत नाही.

आणखी तीन गुणधर्म तितकेच महत्त्वाचे आहेत. ग्रॅनाइटचा औष्णिक विस्तार कमी असतो, त्यामुळे तापमानातील चढ-उतारामुळे ते धातूच्या तुलनेत खूपच कमी हलते. त्यात उच्च अंतर्गत अवमंदन क्षमता असते, त्यामुळे कंपन वेफरपर्यंत पोहोचण्याऐवजी उष्णतेत रूपांतरित होते. आणि ते अचुंबकीय व गंज-प्रतिरोधक आहे, त्यामुळे ते सेन्सर्सना त्रास देत नाही किंवा कालांतराने त्यावर गंज चढत नाही. ज्या उपकरणाला नॅनोमीटरमधील सूक्ष्मता टिकवून ठेवावी लागते, त्यासाठी हीच सर्वात महत्त्वाची गोष्ट आहे.

सेमीकंडक्टर टूलमध्ये ग्रॅनाइट कुठे बसतो

आम्ही टूलच्या ज्या भागांमध्ये अचूकता महत्त्वाची असते, त्यासाठी ग्रॅनाइटचा पुरवठा करतो. यामध्ये वेफर तपासणी आणि मेट्रोलॉजी स्टेजेस, लिथोग्राफी आणि लेझर प्लॅटफॉर्म्स, बाँडिंग आणि पॅकेजिंग उपकरणे, सीएमपी आणि प्लॅनरायझेशन फ्रेम्स, आणि यांचा समावेश आहे.ग्रॅनाइट गँट्री सिस्टीमजे वर्कपीसवरून ऑप्टिक्स आणि प्रोब वाहून नेतात.

हेच साहित्य पीसीबी ड्रिलिंग, ऑप्टिकल तपासणी आणि अचूक जुळवणीसाठीच्या मशीनच्या पायाचा आधार देखील आहे. वेगवेगळी साधने, पण गरज तीच: एक असा संदर्भ जो मोजमापाशी वाद घालत नाही.

वेफर स्टेज ठरवणारे तपशील

ग्रॅनाइटचा एक ठोकळा हा एक घटक नसतो. त्याच्या सभोवतालचे काम त्याला एक घटक बनवते. आम्ही त्या दगडात थ्रेडेड इन्सर्ट्स, व्हॅक्यूम चॅनल्स, एअर-बेअरिंग पॉकेट्स, केबल रूट्स आणि माउंटिंग प्लेन्स मशीनने तयार करतो, आणि मग त्यांच्यामधील भूमिती रेखाचित्रानुसार जुळवून ठेवतो.

छिद्रे आणि इन्सर्ट्स अशा प्रकारे बसवले जातात की, जागेवर शिमिंग न करता स्टेज, ऑप्टिक्स आणि ट्रॅव्हल रेल्स एका रेषेत येतात. हाच एका स्लॅब आणि एकाअचूक ग्रॅनाइट घटकआणि म्हणूनच उपकरणे बनवणारे आम्हाला केवळ बाह्य मापेच नव्हे, तर इंटरफेसचे रेखाचित्रही पाठवतात.

मायक्रॉन वाचणारा हात

ग्रॅनाइट प्लेटला सपाटपणा देण्याचे काम आजही हातानेच केले जाते. आमचे निष्णात हस्त-चौकट कारागीर तीस वर्षांपर्यंत या कामावर कार्यरत आहेत. एखादी गोष्ट निश्चित करण्यासाठी उपकरणाचा वापर करण्याच्या खूप आधीच, ते अगदी सूक्ष्म पातळीवरील उंचवटा देखील जाणू शकतात.

आम्ही त्या कौशल्याला एक सुरुवात मानतो, प्रमाणपत्र नव्हे. हात प्रस्ताव मांडतो; उपकरण त्याची पूर्तता करते. त्यानंतर प्रत्येक महत्त्वाचा पृष्ठभाग आमच्या तपासणी लाइनवर मोजला जातो, जी खालील उपकरणांवर चालते.Mahr (जर्मनी), WYLER (स्वित्झर्लंड) आणि Renishaw (यूके)जोपर्यंत आकडे रेखाचित्राशी जुळत नाहीत, तोपर्यंत काहीही पाठवले जाणार नाही.

प्रमाणित, पेटंट केलेले आणि तपासणीसाठी बनवलेले

ZHHIMG ही या क्षेत्रातील एकमेव कंपनी आहे, जिच्याकडे २० हून अधिक आंतरराष्ट्रीय पेटंट्सच्या पाठबळावर एकाच वेळी ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 आणि CE प्रमाणपत्रे आहेत. सेमीकंडक्टर ग्राहक कठोर ऑडिट करतात आणि त्यांनी सर्वकाही तपासावे अशी आमची इच्छा आहे.

आमचेअचूक ग्रॅनाइटयाचा वापर जीई, सॅमसंग आणि ओरॅकल यांसारख्या कंपन्या करतात, आणि सिंगापूर राष्ट्रीय विद्यापीठ तसेच यूके, जर्मनी व अमेरिकेतील राष्ट्रीय मेट्रोलॉजी संस्थांसारख्या संस्थांसोबत यावर संशोधन केले जाते. जेव्हा एखादी राष्ट्रीय मेट्रोलॉजी प्रयोगशाळा सामग्रीचे मोजमाप करते, तेव्हा ती सहनशीलता (टॉलरन्स) एक मोजलेले तथ्य असते, केवळ मार्केटिंगसाठीचा आकडा नाही. कोणतीही फसवणूक नाही, कोणतीही लपवाछपवी नाही, कोणतीही दिशाभूल नाही — अशा प्रकारे आम्ही काम करतो.

बांधकाम व्यावसायिक पुन्हा पुन्हा का येतात

जेव्हा एखादे सेमीकंडक्टर टूल पाठवले जाते, तेव्हा त्याचा मूळ भाग असा असतो की त्याचे तपशील कोणीही पुन्हा ठरवत नाही. तो व्यवस्थित काम करतो, नाहीतर संपूर्ण मशीन भंगारात जाते. उत्पादक ZHHIMG कडे परत येतात कारण प्लॅटफॉर्मच्या संपूर्ण जीवनकाळात त्यांचे आकडे, फिनिशिंग आणि भूमिती टिकून राहते.

तुम्ही स्टेज, गँट्री किंवा मशीन बेस डिझाइन करत असाल, तर आम्हाला अचूकतेचे अंदाजपत्रक, भार आणि कामाचे वातावरण पाठवा. आमचे अभियंते कामाशी जुळणारे ग्रॅनाइटचे ग्रेड, जाडी आणि इन्सर्ट लेआउट तयार करतील — आणि ते सिद्ध करण्यासाठी तुम्हाला मोजमापाचा डेटा देतील. आमचे अधिक पहाअति-उच्च-सुस्पष्टता ग्रॅनाइट सोल्यूशन्ससुरुवात करण्यासाठी.