चिप निर्मितीच्या मुख्य टप्प्यात - वेफर स्कॅनिंगमध्ये, उपकरणाची अचूकता चिपची गुणवत्ता ठरवते. उपकरणाचा एक महत्त्वाचा घटक म्हणून, ग्रॅनाइट मशीन बेसच्या औष्णिक प्रसरणाच्या समस्येने खूप लक्ष वेधले आहे.
ग्रॅनाइटचा औष्णिक प्रसरण गुणांक साधारणपणे ४ ते ८×१०⁻⁶/℃ च्या दरम्यान असतो, जो धातू आणि संगमरवरापेक्षा खूपच कमी आहे. याचा अर्थ असा की, तापमानात बदल झाल्यावर त्याच्या आकारात तुलनेने कमी बदल होतो. तथापि, हे लक्षात घेतले पाहिजे की कमी औष्णिक प्रसरणाचा अर्थ अजिबात प्रसरण होत नाही असा होत नाही. तापमानातील तीव्र चढउतारांच्या परिस्थितीत, अगदी किंचित प्रसरण देखील वेफर स्कॅनिंगच्या नॅनोस्केल अचूकतेवर परिणाम करू शकते.
वेफर स्कॅनिंग प्रक्रियेदरम्यान, औष्णिक प्रसरण होण्याची अनेक कारणे आहेत. कार्यशाळेतील तापमानातील चढउतार, उपकरणांच्या घटकांच्या कार्यामुळे निर्माण होणारी उष्णता आणि लेझर प्रक्रियेमुळे निर्माण होणारे तात्कालिक उच्च तापमान, या सर्वांमुळे ग्रॅनाइट बेस 'तापमानातील बदलांमुळे प्रसरण आणि आकुंचन' पावतो. एकदा बेसचे औष्णिक प्रसरण झाले की, गाइड रेलची सरळता आणि प्लॅटफॉर्मचा सपाटपणा विचलित होऊ शकतो, ज्यामुळे वेफर टेबलच्या हालचालीचा मार्ग चुकीचा होतो. आधार देणारे ऑप्टिकल घटक देखील सरकतात, ज्यामुळे स्कॅनिंग बीम 'विचलित' होतो. दीर्घकाळ सतत काम केल्याने त्रुटी देखील जमा होतात, ज्यामुळे अचूकता अधिकाधिक खालावते.
पण काळजी करू नका. लोकांकडे आधीच उपाय आहेत. सामग्रीच्या बाबतीत, कमी औष्णिक प्रसरण गुणांक असलेल्या ग्रॅनाइटच्या शिरा निवडल्या जातील आणि त्यांच्यावर एजिंग ट्रीटमेंट केली जाईल. तापमान नियंत्रणाच्या बाबतीत, कार्यशाळेचे तापमान २३±०.५℃ किंवा त्याहूनही कमी अचूकपणे नियंत्रित केले जाते आणि पायासाठी एक सक्रिय उष्णता विसर्जन उपकरण देखील डिझाइन केले जाईल. संरचनात्मक डिझाइनच्या बाबतीत, सममितीय रचना आणि लवचिक आधारांचा अवलंब केला जातो आणि तापमान सेन्सरद्वारे रिअल-टाइम मॉनिटरिंग केले जाते. औष्णिक विरूपणामुळे होणाऱ्या त्रुटी अल्गोरिदमद्वारे गतिमानपणे दुरुस्त केल्या जातात.
ASML लिथोग्राफी मशीनसारखी उच्च-स्तरीय उपकरणे, या पद्धतींद्वारे ग्रॅनाइट बेसचा औष्णिक प्रसरण प्रभाव अत्यंत कमी मर्यादेत ठेवतात, ज्यामुळे वेफर स्कॅनिंगची अचूकता नॅनोमीटर पातळीपर्यंत पोहोचते. त्यामुळे, जोपर्यंत त्यावर योग्य नियंत्रण ठेवले जाते, तोपर्यंत ग्रॅनाइट बेस हा वेफर स्कॅनिंग उपकरणांसाठी एक विश्वसनीय पर्याय ठरतो.
पोस्ट करण्याची वेळ: १२ जून २०२५