सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये अचूक ग्रॅनाइट घटकांचे ८ ठराविक उपयोग

सेमीकंडक्टर उद्योगात, जिथे 'नॅनोमीटर' हे मोजमापाचे मानक एकक आहे, तिथे उपकरणांच्या संरचनात्मक अखंडतेशी कोणतीही तडजोड केली जात नाही. चिप नोड्स ५ नॅनोमीटर आणि त्याहून अधिक लहान होत असताना, कंपन शमन आणि औष्णिक स्थिरतेची मागणी प्रचंड वाढते. अचूक ग्रॅनाइट घटक हे एक उच्च-श्रेणीचा पर्याय असण्यापासून, सेमीकंडक्टर उत्पादन हार्डवेअरचा एक अत्यावश्यक 'डीएनए' बनले आहेत.

उच्च-स्थिरता उपकरण संरचनांचे एक अग्रगण्य प्रदाता म्हणून, ZHHIMG® अशा आठ सर्वात महत्त्वाच्या अनुप्रयोगांचे विश्लेषण करते, जिथे ग्रॅनाइट फॅबचा 'मूक नायक' ठरतो.

१. लिथोग्राफी मशीन बेस

लिथोग्राफी मशीन हे सेमीकंडक्टर साखळीतील सर्वात गुंतागुंतीचे उपकरण आहे. त्याच्या पायाला प्रचंड ऑप्टिकल प्रणालींना आधार देताना पूर्णपणे स्थिर राहावे लागते. ग्रॅनाइटची उच्च घनता आणि अंतर्गत कंपन-शमन क्षमता त्याला सभोवतालच्या वातावरणातील सूक्ष्म कंपने शोषून घेण्यास मदत करते, ज्यामुळे प्रकाश स्रोत अणू पातळीवर संरेखित राहतो.

२. एअर बेअरिंग मोशन स्टेजेस

उच्च-गतीच्या वेफर वाहतुकीसाठी घर्षणरहित हालचाल आवश्यक असते. ग्रॅनाइटला सब-मायक्रॉन सपाटपणापर्यंत लॅप करता येत असल्यामुळे, ते एअर बेअरिंग तंत्रज्ञानासाठी एक उत्तम भागीदार ठरते. "एअर कुशन" ग्रॅनाइटच्या पृष्ठभागावरून शून्य झीजेसह सहजतेने सरकते, ज्यामुळे स्कॅनिंग आणि पोझिशनिंगसाठी आवश्यक असलेली अत्यंत गुळगुळीत हालचाल मिळते.

३. वेफर तपासणी आणि मेट्रोलॉजी प्लॅटफॉर्म

एचिंगनंतर, वेफर्समधील दोषांची तपासणी करणे आवश्यक आहे. मशीन फ्रेममधील कोणत्याही औष्णिक प्रसरणामुळे 'फॉल्स पॉझिटिव्ह' किंवा एखादा दोष लक्षात न येण्याची शक्यता असते.अचूक ग्रॅनाइट घटकउष्णतारोधक वातावरण प्रदान करणे, जेणेकरून तपासणी डेटा हा मशीनच्या विकृतीचे नव्हे, तर वेफरच्या पृष्ठभागाचे खरे प्रतिबिंब असेल याची खात्री होईल.

४. गँट्री मोशन सिस्टीम (पूल संरचना)

हाय-स्पीड डायसिंग किंवा वायर बॉन्डिंगमध्ये, 'ब्रिज' किंवा गँट्री न डगमगता वेगाने हलणे आवश्यक असते. कास्ट आयर्नच्या तुलनेत ग्रॅनाइट गँट्रीमध्ये कडकपणा आणि वस्तुमानाचे गुणोत्तर अधिक चांगले असते, ज्यामुळे 'सेटलिंग टाइम' लक्षणीयरीत्या कमी होतो. 'सेटलिंग टाइम' म्हणजे मशीनला त्याचे पुढील कार्य करण्यापूर्वी कंपने थांबण्याची वाट पाहावी लागणारा वेळ.

५. लेझर दुरुस्ती उपकरणांच्या फ्रेम्स

जेव्हा मास्क किंवा वेफरवर दोष आढळतो, तेव्हा अचूक दुरुस्तीसाठी लेझरचा वापर केला जातो. यासाठी पूर्णपणे अचुंबकीय आणि विद्युत-अवाहक असलेल्या संरचनात्मक पायाची आवश्यकता असते. ग्रॅनाइट नैसर्गिकरित्या विद्युतरोधक असल्यामुळे, तो नाजूक लेझर मार्गावर विद्युतचुंबकीय व्यत्ययाचा परिणाम होण्यापासून रोखतो.

६. स्वच्छ खोल्यांसाठी सीएमएम (निर्देशांक मापन यंत्रे)

सेमीकंडक्टर सुविधेमधील गुणवत्ता नियंत्रणासाठी, कडक क्लीनरूम नियमावलीला तोंड देऊ शकणाऱ्या CMM ची आवश्यकता असते. कण गळू शकणाऱ्या किंवा ऑक्सिडाइज होऊ शकणाऱ्या धातूच्या विपरीत, ग्रॅनाइट आम्ल-प्रतिरोधक आणि गंज-प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे पर्यावरणाला दूषित न करता उपकरणांची उच्च-स्थिर रचना टिकून राहते.

७. केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) बेस

सीएमपी प्रक्रियेमध्ये स्लरी आणि रासायनिक घटक वापरले जातात, जे धातूंसाठी अत्यंत क्षरणकारक असतात. ग्रॅनाइटच्या नैसर्गिक रासायनिक प्रतिकारशक्तीमुळे ते पॉलिशिंग युनिट्सच्या संरचनात्मक पायासाठी एक आदर्श साहित्य ठरते, ज्यामुळे कठोर रासायनिक वातावरणातही दीर्घ सेवा आयुष्य सुनिश्चित होते.

८. आयन इम्प्लांटेशन सिस्टीम

आयन इम्प्लांटर्समधील उच्च-व्होल्टेज वातावरणात अशा घटकांची आवश्यकता असते जे आयन बीममध्ये व्यत्यय आणणार नाहीत किंवा विद्युत आर्क निर्माण करणार नाहीत. ग्रॅनाइटच्या डायलेक्ट्रिक गुणधर्मांमुळे, संवेदनशील विद्युत आणि व्हॅक्यूम घटक बसवण्यासाठी तो एक सुरक्षित आणि स्थिर पर्याय ठरतो.

सेमीकंडक्टर इन्फ्रास्ट्रक्चरसाठी ZHHIMG® का?

ZHHIMG® मध्ये, आम्हाला हे समजते की सेमीकंडक्टर उपकरणांचा बेस हा केवळ एक दगड नसून, ते एक अंशांकित उपकरण आहे. आमचा विशेष काळा ग्रॅनाइट आणि ३० वर्षांहून अधिक काळाचा हाताने ग्राइंडिंग करण्याचा अनुभव, यांमुळे आम्ही सब-मायक्रॉन युगाच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करणारे सपाटपणा आणि समांतरतेचे ग्रेड मिळवू शकतो.

• सामग्री: उच्च-घनतेचा, अतिसूक्ष्म कणांचा ZHHIMG® काळा ग्रॅनाइट.

• सुस्पष्टता: DIN 876 ग्रेड 00 किंवा सानुकूलित JIS/ASME विनिर्देशांनुसार अचूकतेचे ग्रेड.

• सानुकूलन: आमच्या १०,००० चौरस मीटरच्या स्थिर-तापमान कार्यशाळेत एकात्मिक इन्सर्ट, टी-स्लॉट आणि एअर-बेअरिंग ट्रॅक पूर्व-स्थापित केलेले आहेत.