ग्रॅनाइट प्लॅटफॉर्मची देखभाल करण्यासाठी सर्वोत्तम पद्धती: दीर्घकालीन अचूकता सुनिश्चित करण्याच्या पद्धती.

ग्रॅनाइट प्लॅटफॉर्म, अचूक मापन आणि प्रक्रियेसाठी एक संदर्भ साधन म्हणून, त्याची अचूकता देखभाल थेट उत्पादन गुणवत्तेवर परिणाम करते. खाली पर्यावरणीय नियंत्रण, दैनंदिन देखभाल आणि व्यावसायिक कॅलिब्रेशन समाविष्ट करून एक पद्धतशीर देखभाल योजना प्रदान केली आहे जेणेकरून प्लॅटफॉर्म दीर्घकाळ नॅनोमीटर-स्तरीय अचूकता राखेल याची खात्री होईल.
१. पर्यावरण नियंत्रण: अचूक संरक्षण अडथळा निर्माण करा
तापमान आणि आर्द्रता व्यवस्थापन
कार्यरत वातावरणाचे तापमान २०±१℃ वर स्थिर करणे आवश्यक आहे. प्रत्येक १℃ चढउतारामुळे ग्रॅनाइट प्लॅटफॉर्मचे ०.५-१μm/m या वेगाने थर्मल विकृतीकरण होईल. एअर कंडिशनिंग आउटलेट थेट प्लॅटफॉर्मवर वाहू नयेत म्हणून कार्यशाळेत एक स्थिर तापमान प्रणाली स्थापित केली जाऊ शकते.
आर्द्रता ४०% ते ६०% दरम्यान नियंत्रित करावी. जास्त आर्द्रतेमुळे धातूच्या भागांवर सहजपणे गंज येऊ शकतो, तर खूप कमी आर्द्रतेमुळे मोजमापात स्थिर वीज अडथळा येऊ शकतो.
कंपन अलगाव
प्लॅटफॉर्म स्टॅम्पिंग मशीन आणि मिलिंग मशीन सारख्या कंपन स्रोतांपासून दूर ठेवावा. कंपन उपकरणांपासून 3 मीटरपेक्षा जास्त अंतर राखण्याची शिफारस केली जाते.
जर कंपन टाळता येत नसेल, तर प्लॅटफॉर्मच्या तळाशी एअर स्प्रिंग शॉक अ‍ॅब्सॉर्बर बसवले जाऊ शकतात जेणेकरून प्लॅटफॉर्मच्या सपाटपणावर पर्यावरणीय कंपनाचा प्रभाव कमी होईल (ज्यामुळे बाह्य कंपन ८०% पेक्षा जास्त कमी होऊ शकते).
२. दैनंदिन देखभाल: स्वच्छतेपासून संरक्षणापर्यंत बारकाईने नियंत्रण.
पृष्ठभाग साफसफाईचे तपशील
धूळ काढणे: प्लॅटफॉर्मवर धुळीचे कण (≥5μm) ओरखडे पडू नयेत म्हणून दररोज त्याच दिशेने हरणाच्या कातडीने किंवा लिंट-फ्री कापडाने पृष्ठभाग पुसून टाका. हट्टी डाग निर्जल इथेनॉल (शुद्धता ≥99.7%) वापरून हळूवारपणे पुसले जाऊ शकतात. एसीटोनसारखे मजबूत सॉल्व्हेंट वापरू नयेत.
डीग्रीसिंग: जर ते तेलाच्या डागांच्या संपर्कात आले तर ते पातळ केलेल्या न्यूट्रल क्लीनरने पुसून टाका, नंतर डीआयोनाइज्ड पाण्याने स्वच्छ धुवा आणि हवेत कोरडे करा जेणेकरून खनिज तेल प्लॅटफॉर्मच्या लहान छिद्रांमध्ये जाऊ नये.
भार आणि टक्कर संरक्षण
स्थानिक ओव्हरलोडमुळे होणारे कायमचे विकृतीकरण टाळण्यासाठी प्लॅटफॉर्मची भार सहन करण्याची क्षमता रेट केलेल्या भाराच्या ७०% च्या आत नियंत्रित केली पाहिजे (उदाहरणार्थ, १००० किलो प्लॅटफॉर्मसाठी, भार ≤७०० किलो असण्याची शिफारस केली जाते).
प्लॅटफॉर्मवर वर्कपीसेस मारण्यास सक्त मनाई आहे. साधने हाताळताना, तीक्ष्ण वस्तू पृष्ठभागावर ओरखडे पडू नयेत म्हणून मऊ हातमोजे घाला (२०μm पेक्षा जास्त खोली असलेल्या ओरखड्या परावर्तित प्रकाश मार्गाच्या मापनावर परिणाम करतील).
३. व्यावसायिक कॅलिब्रेशन: वैज्ञानिकदृष्ट्या अचूकता राखण्याचा गाभा
कॅलिब्रेशन सायकल सेटिंग
पारंपारिक वापर परिस्थिती: दर तिमाहीत एकदा कॅलिब्रेट करा आणि सपाटपणा शोधण्यासाठी लेसर इंटरफेरोमीटर वापरा (±0.5μm/m अचूकतेसह).
उच्च-फ्रिक्वेन्सी वापर किंवा कठोर वातावरण: मासिक कॅलिब्रेशन, तापमान-संवेदनशील क्षेत्रांचे निरीक्षण करण्यावर लक्ष केंद्रित करून (जसे की उष्णता स्त्रोतांजवळील प्लॅटफॉर्मची धार).

कॅलिब्रेशननंतरची प्रक्रिया
जर सपाटपणामध्ये विचलन आढळले (जसे की > ±1μm/m), तर ते व्यावसायिक तंत्रज्ञांकडून W1.5 मायक्रो-पावडर वापरून ग्राउंड करून दुरुस्त केले पाहिजे. सॅंडपेपरने स्वतः पीसणे सक्त मनाई आहे.
कॅलिब्रेशननंतर, डेटा रेकॉर्ड आणि संग्रहित केला पाहिजे आणि देखभाल आवश्यकतांचा आगाऊ अंदाज घेण्यासाठी प्लॅटफॉर्म अचूकता क्षीणन वक्र स्थापित केला पाहिजे.
४. साठवणूक आणि वाहतूक: लपलेले अचूक नुकसान टाळा
दीर्घकालीन साठवणुकीसाठी महत्त्वाचे मुद्दे
साठवताना, ते ओलावा-प्रतिरोधक आणि धूळ-प्रतिरोधक कव्हरने झाकलेले असावे. गुरुत्वाकर्षणामुळे होणारे वाकणे विकृतीकरण टाळण्यासाठी तळाशी तीन बिंदूंनी आधार दिला पाहिजे (सपोर्ट पॉइंट प्लॅटफॉर्मच्या लांबीच्या 2/9 वर स्थित आहे) (दीर्घकालीन सिंगल-पॉइंट सपोर्टमुळे 1-मीटर प्लॅटफॉर्म 0.3μm ने खाली जाऊ शकतो).
दीर्घकालीन स्थानिक दबाव टाळण्यासाठी प्लॅटफॉर्म सपोर्ट पॉइंट्सची स्थिती नियमितपणे (दर महिन्याला) हलवा.
वाहतूक संरक्षण योजना
कमी अंतराची वाहतूक: शॉक-शोषक फोमने गुंडाळा, एका कडक फ्रेममध्ये निश्चित करा आणि प्रवेग 2g च्या आत ठेवा.
लांब पल्ल्याच्या वाहतुकीसाठी: ते व्हॅक्यूम पॅक केलेले आणि कोरड्या नायट्रोजनने भरलेले असणे आवश्यक आहे. आगमनानंतर, ते २४ तास तापमान समतोल होईपर्यंत उभे राहावे आणि नंतर ते अनपॅक करावे जेणेकरून संक्षेपण पाण्यामुळे अचूकतेवर परिणाम होणार नाही.
५. दोष अंदाज: सुरुवातीच्या समस्या ओळखण्यासाठी तंत्रे
दृश्य तपासणी: ४०x भिंगाच्या साहाय्याने पृष्ठभागाचे नियमितपणे निरीक्षण करा. जर सतत ओरखडे किंवा चमकात लक्षणीय घट आढळली, तर ते अचूकतेत घट दर्शवू शकते.
ध्वनी ओळखणे: प्लॅटफॉर्मवर हळूवारपणे टॅप करा. जर आवाज कर्कश झाला (सामान्यतः तो स्पष्ट आवाज असावा), तर आत सूक्ष्म क्रॅक असू शकतात. ओळखण्यासाठी ते ताबडतोब वापरणे थांबवा.

या देखभाल प्रणालीद्वारे, ZHHIMG® ग्रॅनाइट प्लॅटफॉर्म 10 वर्षांसाठी ±1μm/m चा सपाटपणा राखू शकतो, जो योग्यरित्या देखभाल न केलेल्या प्लॅटफॉर्मच्या अचूक आयुष्यापेक्षा तीन पट जास्त आहे. सरावाने हे सिद्ध केले आहे की एका विशिष्ट सेमीकंडक्टर कारखान्याने हे समाधान स्वीकारल्यानंतर, प्लॅटफॉर्म कॅलिब्रेशनची वारंवारता 50% ने कमी झाली आणि वार्षिक देखभाल खर्च 150,000 युआन पेक्षा जास्त वाचला.