सेमीकंडक्टर उत्पादनातील अचूक क्रांती: जेव्हा ग्रॅनाइट मायक्रॉन तंत्रज्ञानाला भेटते
१.१ पदार्थ विज्ञानातील अनपेक्षित शोध
२०२३ च्या SEMI इंटरनॅशनल सेमीकंडक्टर असोसिएशनच्या अहवालानुसार, जगातील ६३% प्रगत कारखान्यांनी पारंपारिक धातूच्या प्लॅटफॉर्मऐवजी ग्रॅनाइट बेस वापरण्यास सुरुवात केली आहे. पृथ्वीच्या खोलवर असलेल्या मॅग्मा कंडेन्सेशनपासून उद्भवणारा हा नैसर्गिक दगड, त्याच्या अद्वितीय भौतिक गुणधर्मांमुळे सेमीकंडक्टर उत्पादनाचा इतिहास पुन्हा लिहित आहे:
थर्मल इनरशियाचा फायदा: ग्रॅनाइट ४.५×१०⁻⁶/℃ चा थर्मल एक्सपेंशन गुणांक स्टेनलेस स्टीलच्या फक्त १/५ आहे आणि लिथोग्राफी मशीनच्या सतत कामात ±०.००१ मिमीची मितीय स्थिरता राखली जाते.
कंपन डॅम्पिंग वैशिष्ट्ये: अंतर्गत घर्षण गुणांक कास्ट आयर्नपेक्षा १५ पट जास्त आहे, जो उपकरणांच्या सूक्ष्म-कंपनांना प्रभावीपणे शोषून घेतो.
शून्य चुंबकीकरण स्वरूप: लेसर मापनातील चुंबकीय त्रुटी पूर्णपणे काढून टाका.
१.२ माझ्यापासून फॅबपर्यंतचा रूपांतरित प्रवास
शेडोंगमधील ZHHIMG च्या बुद्धिमान उत्पादन बेसचे उदाहरण घेतल्यास, कच्च्या ग्रॅनाइटच्या तुकड्याला हे करावे लागते:
अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीनिंग: २०० तास सतत मिलिंगसाठी पाच-अक्षीय लिंकेज मशीनिंग सेंटर, Ra0.008μm पर्यंत पृष्ठभागाची खडबडीतपणा
कृत्रिम वृद्धत्व उपचार: स्थिर तापमान आणि आर्द्रता कार्यशाळेत ४८ तास नैसर्गिक ताण सोडणे, ज्यामुळे उत्पादनाची स्थिरता ४०% ने सुधारते.
दुसरे म्हणजे, अर्धवाहक उत्पादनाच्या "रॉक सोल्यूशन" च्या सहा अचूक समस्या सोडवणे.
२.१ वेफर फ्रॅगमेंटेशन रेट रिडक्शन स्कीम
केस प्रात्यक्षिक: जर्मनीतील एका चिप फाउंड्रीने आमचा गॅस फ्लोटिंग ग्रॅनाइट प्लॅटफॉर्म स्वीकारल्यानंतर:
| वेफर व्यास | चिप रेट कपात | सपाटपणा सुधारणा |
| १२ इंच | ६७% | ≤०.००१ मिमी |
| १८ इंच | ८२% | ≤०.०००५ मिमी |
२.२ लिथोग्राफिक संरेखन अचूकता ब्रेकथ्रू योजना
तापमान भरपाई प्रणाली: एम्बेडेड सिरेमिक सेन्सर रिअल टाइममध्ये आकार परिवर्तनशीलतेचे निरीक्षण करतो आणि प्लॅटफॉर्मचा कल स्वयंचलितपणे समायोजित करतो.
मोजलेला डेटा: २८℃±५℃ च्या चढउताराखाली, एम्बेडिंग अचूकता ०.१२μm पेक्षा कमी चढ-उतार होते.
पोस्ट वेळ: मार्च-२४-२०२५