उच्च दर्जाच्या उत्पादन आणि अत्याधुनिक वैज्ञानिक संशोधनाच्या क्षेत्रात, एअर फ्लोटचे अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल त्याच्या उत्कृष्ट अचूक कामगिरीसह बारीक ऑपरेशन आणि मापनासाठी एक प्रमुख उपकरण बनले आहे. ग्रॅनाइट प्रिसिजन बेस, सपोर्ट कोर म्हणून, कार्यरत वातावरणासाठी कठोर आवश्यकता आहेत आणि योग्य पर्यावरणीय परिस्थिती ही त्याची स्थिर कामगिरी आणि सर्वोत्तम परिणाम सुनिश्चित करण्यासाठी आधार आहे.
प्रथम, तापमान नियंत्रण: अचूक "स्टेबिलायझर"
जरी ग्रॅनाइट त्याच्या स्थिरतेसाठी ओळखले जाते, तरी ते तापमानातील बदलांपासून पूर्णपणे सुरक्षित नाही. जरी त्याचा थर्मल विस्तार गुणांक कमी असला तरी, साधारणपणे 5-7 ×10⁻⁶/℃, अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन कंट्रोल परिस्थितींमध्ये, सूक्ष्म तापमान चढउतारांमुळे अजूनही मितीय बदल होऊ शकतात आणि मॉड्यूल अचूकतेवर परिणाम होऊ शकतो. सेमीकंडक्टर चिप मॅन्युफॅक्चरिंग वर्कशॉपमध्ये, लिथोग्राफी प्रक्रियेसाठी डॅनमी-लेव्हल पोझिशनिंग अचूकता आवश्यक असते आणि सभोवतालचे तापमान 1 ° से. ने चढ-उतार होते आणि 1 मीटरच्या बाजूच्या लांबीसह ग्रॅनाइट बेस 5-7 मायक्रॉनचा रेषीय विस्तार किंवा आकुंचन निर्माण करू शकतो. हा छोटासा बदल एअर फ्लोटच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलद्वारे प्रसारित केला जातो, जो चिप लिथोग्राफी पॅटर्न विचलन करण्यासाठी आणि उत्पन्न मोठ्या प्रमाणात कमी करण्यासाठी पुरेसा आहे. म्हणून, एअर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलच्या ग्रॅनाइट प्रिसिजन बेससह सुसज्ज, आदर्श कार्यरत वातावरणाचे तापमान 20 ° C ±1 ° C वर नियंत्रित केले पाहिजे, उच्च-परिशुद्धता स्थिर तापमान उपकरणांच्या मदतीने, जसे की स्थिर तापमान आणि आर्द्रता एअर कंडिशनिंग सिस्टम, सतत देखरेख आणि सभोवतालच्या तापमानाचे समायोजन, अगदी लहान श्रेणीत तापमान चढउतार सुनिश्चित करण्यासाठी, बेस आकार स्थिरता राखण्यासाठी, मॉड्यूल उच्च-परिशुद्धता ऑपरेशन सुनिश्चित करण्यासाठी.
दुसरे, आर्द्रता व्यवस्थापन: ओलावा-प्रतिरोधक संरक्षणाची गुरुकिल्ली "दगड"
आर्द्रता हा अचूक ग्रॅनाइट बेसच्या कामगिरीवर परिणाम करणारा आणखी एक महत्त्वाचा घटक आहे. उच्च आर्द्रतेच्या वातावरणात, ग्रॅनाइट पाण्याची वाफ सहजपणे शोषून घेते, ज्यामुळे पृष्ठभागावर संक्षेपण होऊ शकते, ज्यामुळे केवळ ग्रॅनाइटच्या कनेक्शन स्थिरतेवर आणि एअर फ्लोटच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलवर परिणाम होत नाही, तर पृष्ठभागाची धूप देखील होऊ शकते आणि दीर्घकाळात चमक आणि अचूकता कमी होऊ शकते. ऑप्टिकल लेन्स ग्राइंडिंग वर्कशॉपमध्ये, जर आर्द्रता दीर्घकाळ 60%RH पेक्षा जास्त असेल, तर ग्रॅनाइट बेसच्या पृष्ठभागावर शोषलेले पाण्याचे वाफ गॅस फ्लोट स्लाइडरच्या हालचालीत व्यत्यय आणेल, ज्यामुळे लेन्स ग्राइंडिंग अचूकता कमी होते आणि पृष्ठभाग सदोष होतो. म्हणून, कार्यरत वातावरणाची सापेक्ष आर्द्रता 40%-60%RH दरम्यान काटेकोरपणे नियंत्रित केली पाहिजे, जी उच्च आर्द्रतेमुळे ग्रॅनाइट बेसला होणारे नुकसान टाळण्यासाठी आणि एअर फ्लोटच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलचे सुरळीत ऑपरेशन सुनिश्चित करण्यासाठी डिह्युमिडिफायर्स, आर्द्रता सेन्सर्स आणि इतर उपकरणे स्थापित करून रिअल टाइममध्ये निरीक्षण आणि समायोजित केली जाऊ शकते.
तिसरे, स्वच्छतेची हमी: अचूकतेचा "रक्षक"
एअर फ्लोटेशनच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलच्या प्रिसिजन ग्रॅनाइट बेसला धुळीच्या कणांचे होणारे नुकसान कमी लेखता येत नाही. एकदा लहान कण गॅस फ्लोट स्लायडर आणि ग्रॅनाइट बेसमधील गॅस फिल्म गॅपमध्ये प्रवेश केले की, ते गॅस फिल्मची एकरूपता नष्ट करू शकतात, घर्षण वाढवू शकतात आणि बेसच्या पृष्ठभागावर स्क्रॅच देखील करू शकतात, ज्यामुळे हालचालीची अचूकता कमी होते. एरोस्पेस पार्ट्सच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीनिंग वर्कशॉपमध्ये, जर हवेतील धूळ कण ग्रॅनाइट बेसवर पडले तर मशीनिंग टूलचा गती मार्ग विचलित होऊ शकतो, ज्यामुळे भागांच्या मशीनिंग अचूकतेवर परिणाम होतो. म्हणून, उच्च कार्यक्षमता एअर फिल्टर (HEPA) सारख्या हवा शुद्धीकरण उपकरणांच्या स्थापनेद्वारे, हवेतील धूळ कण फिल्टर करून, कामाचे क्षेत्र अत्यंत स्वच्छ ठेवले पाहिजे, स्वच्छतेच्या मानकांच्या 10,000 किंवा त्याहूनही उच्च पातळीपर्यंत पोहोचले पाहिजे, त्याच वेळी, कर्मचाऱ्यांना मानवांनी आणलेली धूळ कमी करण्यासाठी धूळमुक्त कपडे, शू कव्हर इत्यादी घालण्याची आवश्यकता आहे. ग्रॅनाइट बेस आणि एअर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलचे उच्च प्रिसिजन ऑपरेटिंग वातावरण राखा.
चौथा, कंपन अलगाव: "शॉक पॅड" चे सुरळीत ऑपरेशन
बाह्य कंपन हे एअर फ्लोटच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलच्या अचूकतेचे शत्रू आहे. जरी प्रिसिजन ग्रॅनाइट बेसमध्ये विशिष्ट कंपन क्षीणन क्षमता असली तरी, उच्च-शक्तीचे कंपन अजूनही त्याची बफर मर्यादा ओलांडू शकते. कारखान्याभोवतीच्या वाहतुकीमुळे आणि मोठ्या यांत्रिक उपकरणांच्या ऑपरेशनमुळे निर्माण होणारे कंपन जमिनीवरून ग्रॅनाइट बेसमध्ये प्रसारित केले जाते, जे एअर फ्लोटच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलच्या गती अचूकतेमध्ये व्यत्यय आणेल. हाय-एंड सीएमएममध्ये, कंपनामुळे मापन प्रोब आणि मोजण्यासाठी वर्कपीसमधील संपर्क अस्थिर होऊ शकतो, परिणामी मापन डेटाचे विचलन होऊ शकते. या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी, प्रभावी कंपन अलगाव उपायांचा अवलंब करणे आवश्यक आहे, जसे की उपकरण स्थापना क्षेत्रात कंपन अलगाव पॅड घालणे, कंपन अलगाव पाया तयार करणे किंवा बाह्य कंपन सक्रियपणे ऑफसेट करण्यासाठी सक्रिय कंपन अलगाव प्रणाली वापरणे आणि ग्रॅनाइट प्रिसिजन बेस आणि एअर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलसाठी शांत आणि स्थिर कार्य वातावरण तयार करणे.
तापमान, आर्द्रता, स्वच्छता आणि कंपन नियंत्रण या पर्यावरणीय आवश्यकतांची पूर्णपणे पूर्तता करूनच, एअर फ्लोटच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलचा ग्रॅनाइट प्रिसिजन बेस त्याच्या कामगिरीच्या फायद्यांना पूर्ण खेळ देऊ शकतो, विविध क्षेत्रात अल्ट्रा-प्रिसिजन ऑपरेशन्ससाठी विश्वसनीय हमी प्रदान करू शकतो आणि उद्योगाला उच्च अचूक उत्पादन आणि वैज्ञानिक संशोधन पातळीकडे वाटचाल करण्यास मदत करू शकतो.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०८-२०२५