सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये, फोटोलिथोग्राफी मशीन हे चिप्सची अचूकता निश्चित करणारे एक महत्त्वाचे उपकरण आहे आणि ग्रॅनाइट बेस, त्याच्या बहुविध वैशिष्ट्यांसह, फोटोलिथोग्राफी मशीनचा एक अपरिहार्य घटक बनला आहे.
औष्णिक स्थिरता: तापमान बदलांविरुद्ध "ढाल"
जेव्हा फोटोलिथोग्राफी मशीन कार्यरत असते तेव्हा ते मोठ्या प्रमाणात उष्णता निर्माण करते. केवळ ०.१℃ तापमानातील चढउतार देखील उपकरणाच्या घटकांचे विकृतीकरण होऊ शकते आणि फोटोलिथोग्राफीच्या अचूकतेवर परिणाम करू शकते. ग्रॅनाइटचा थर्मल विस्तार गुणांक अत्यंत कमी आहे, फक्त ४-८ ×१०⁻⁶/℃, जो स्टीलच्या अंदाजे १/३ आणि अॅल्युमिनियम मिश्र धातुच्या १/५ आहे. यामुळे फोटोलिथोग्राफी मशीन बराच काळ कार्यरत असताना किंवा पर्यावरणीय तापमान बदलते तेव्हा ग्रॅनाइट बेसला मितीय स्थिरता राखता येते, ज्यामुळे ऑप्टिकल घटक आणि यांत्रिक संरचनांची अचूक स्थिती सुनिश्चित होते.
सुपर अँटी-व्हायब्रेशन परफॉर्मन्स: कंपन शोषून घेणारा "स्पंज"
सेमीकंडक्टर कारखान्यात, आजूबाजूच्या उपकरणांचे ऑपरेशन आणि लोकांच्या हालचाली या सर्वांमुळे कंपन निर्माण होऊ शकतात. ग्रॅनाइटची घनता जास्त असते आणि त्याची पोत कठीण असते आणि त्यात उत्कृष्ट डॅम्पिंग गुणधर्म असतात, ज्याचे डॅम्पिंग रेशो धातूंच्या तुलनेत २ ते ५ पट जास्त असते. जेव्हा बाह्य कंपन ग्रॅनाइट बेसवर प्रसारित केले जातात, तेव्हा अंतर्गत खनिज क्रिस्टल्समधील घर्षण कंपन उर्जेचे रूपांतर उष्णतेच्या उर्जेमध्ये करते, ज्यामुळे कमी वेळात कंपन लक्षणीयरीत्या कमी होऊ शकते, ज्यामुळे फोटोलिथोग्राफी मशीन त्वरीत स्थिरता पुनर्संचयित करू शकते आणि कंपनामुळे फोटोलिथोग्राफी पॅटर्न अस्पष्ट किंवा चुकीचे संरेखन टाळू शकते.
रासायनिक स्थिरता: स्वच्छ पर्यावरणाचा "रक्षक"
फोटोलिथोग्राफी मशीनचा आतील भाग विविध रासायनिक माध्यमांच्या संपर्कात येतो आणि सामान्य धातूचे पदार्थ गंजण्यास किंवा कण सोडण्यास प्रवण असतात. ग्रॅनाइट क्वार्ट्ज आणि फेल्डस्पार सारख्या खनिजांपासून बनलेले असते. त्यात स्थिर रासायनिक गुणधर्म आणि मजबूत गंज प्रतिकार असतो. आम्ल आणि अल्कली द्रावणात भिजवल्यानंतर, पृष्ठभागावरील गंज अत्यंत कमी असतो. दरम्यान, त्याची दाट रचना जवळजवळ कोणताही कचरा किंवा धूळ निर्माण करत नाही, जी सर्वोच्च क्लीनरूम मानकांच्या आवश्यकता पूर्ण करते आणि वेफर दूषित होण्याचा धोका कमी करते.
प्रक्रिया अनुकूलता: अचूक बेंचमार्क तयार करण्यासाठी "आदर्श साहित्य"
फोटोलिथोग्राफी मशीनचे मुख्य घटक उच्च-परिशुद्धता संदर्भ पृष्ठभागावर स्थापित करणे आवश्यक आहे. ग्रॅनाइटची अंतर्गत रचना एकसमान आहे आणि ग्राइंडिंग, पॉलिशिंग आणि इतर तंत्रांद्वारे अत्यंत उच्च परिशुद्धतेपर्यंत प्रक्रिया करणे सोपे आहे. त्याची सपाटता ≤0.5μm/m पर्यंत पोहोचू शकते आणि पृष्ठभागाची खडबडीतता Ra ≤0.05μm आहे, जी ऑप्टिकल लेन्ससारख्या घटकांसाठी अचूक स्थापना आधार प्रदान करते.
दीर्घ आयुष्य आणि देखभाल-मुक्त: खर्च कमी करण्यासाठी "तीक्ष्ण साधने"
दीर्घकाळ वापरल्याने थकवा आणि क्रॅक होण्याची शक्यता असलेल्या धातूच्या पदार्थांच्या तुलनेत, सामान्य भाराखाली ग्रॅनाइटला प्लास्टिकचे विकृतीकरण किंवा फ्रॅक्चर फारसे होत नाही आणि त्याला पृष्ठभागावरील उपचारांची आवश्यकता नसते, त्यामुळे कोटिंग सोलणे आणि दूषित होण्याचा धोका टाळता येतो. व्यावहारिक अनुप्रयोगांमध्ये, अनेक वर्षे वापरल्यानंतर, ग्रॅनाइट बेसचे प्रमुख कार्यप्रदर्शन निर्देशक अजूनही स्थिर राहू शकतात, ज्यामुळे उपकरणांचे ऑपरेशन आणि देखभाल खर्च कमी होतो.
थर्मल स्थिरता, कंपन प्रतिकार ते रासायनिक जडत्वापर्यंत, ग्रॅनाइट बेसची बहुविध वैशिष्ट्ये फोटोलिथोग्राफी मशीनच्या आवश्यकता पूर्ण करतात. चिप उत्पादन प्रक्रिया उच्च अचूकतेकडे विकसित होत असताना, ग्रॅनाइट बेस अर्धसंवाहक उत्पादन क्षेत्रात एक अपूरणीय भूमिका बजावत राहतील.
पोस्ट वेळ: मे-२०-२०२५