सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या अचूक जगात, चिप्सची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर्सची विना-विध्वंसक चाचणी ही एक महत्त्वाची कडी आहे. वरवर पाहता क्षुल्लक दिसणारा ग्रॅनाइट बेस प्रत्यक्षात "अनसंग हिरो" आहे जो शोध अचूकता ठरवतो. प्रत्यक्षात त्याचा चाचणी निकालांवर कसा परिणाम होतो? हा लेख मटेरियल गुणधर्म आणि स्ट्रक्चरल डिझाइन यासारख्या परिमाणांचे सखोल विश्लेषण करेल.
१. स्थिर पाया: ग्रॅनाइटचे नैसर्गिक फायदे अचूकतेसाठी एक मजबूत पाया घालतात.
१. उत्कृष्ट भूकंपीय कामगिरी
वेफर नॉन-डिस्ट्रक्टिव्ह टेस्टिंग उपकरणाच्या ऑपरेशन दरम्यान, मोटरचे रोटेशन आणि यांत्रिक घटकांची हालचाल या सर्वांमुळे कंपन निर्माण होतील. जर ही कंपने प्रभावीपणे दाबली गेली नाहीत तर ती चाचणीच्या अचूकतेमध्ये गंभीरपणे अडथळा आणतील. ग्रॅनाइटचा आतील भाग क्वार्ट्ज आणि फेल्डस्पार सारख्या खनिज क्रिस्टल्सने जवळून विणलेला आहे. त्याची अद्वितीय रचना त्याला नैसर्गिक कंपन शोषण क्षमता प्रदान करते, जी उपकरणांच्या 90% पेक्षा जास्त कंपन ऊर्जा शोषण्यास सक्षम आहे. एका विशिष्ट सेमीकंडक्टर उत्पादकाच्या प्रत्यक्ष मापन डेटावरून असे दिसून येते की ग्रॅनाइट बेस वापरल्यानंतर, शोध उपकरणाचे कंपन मोठेपणा 12μm वरून 2μm पर्यंत कमी केले गेले आहे, ज्यामुळे कंपनामुळे होणाऱ्या शोध सिग्नलचे विचलन प्रभावीपणे टाळता येते.
२. अत्यंत कमी थर्मल एक्सपेंशन गुणांक
शोध प्रक्रियेदरम्यान, उपकरणे गरम करणे आणि पर्यावरणीय तापमानात बदल यासारखे घटक मशीन बेसच्या स्थिरतेवर परिणाम करतील. सामान्य पदार्थ गरम केल्यावर लक्षणीयरीत्या विस्तारतात, परंतु ग्रॅनाइटच्या थर्मल विस्ताराचा गुणांक स्टीलच्या फक्त 1/5 असतो. जरी सभोवतालचे तापमान 10℃ ने चढ-उतार होत असले तरीही, त्याचे विकृतीकरण दुर्लक्षित केले जाऊ शकते. यामुळे ग्रॅनाइट बेस तपासणी उपकरणांसाठी एक स्थिर संदर्भ प्लॅटफॉर्म प्रदान करण्यास सक्षम होतो, तपासणी प्रोब आणि वेफरमधील सापेक्ष स्थिती नेहमीच अचूक राहते आणि थर्मल विकृतीमुळे होणाऱ्या तपासणी त्रुटी टाळतात.
दुसरे, अचूक डिझाइन: स्ट्रक्चरल ऑप्टिमायझेशनमुळे शोधण्याची विश्वासार्हता आणखी वाढते.
उच्च-परिशुद्धता प्रक्रिया आणि सपाटपणाची हमी
उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रॅनाइट बेसवर प्रगत पाच-अक्ष लिंकेज सीएनसी तंत्रज्ञानाद्वारे प्रक्रिया केली जाते, ज्याची सपाटता ±0.5μm/m आहे, जी तपासणी उपकरणांसाठी अल्ट्रा-फ्लॅट स्थापना संदर्भ प्रदान करते. वेफर तपासणीमध्ये, तपासणी प्रोबची उभ्यापणा आणि समतलता तपासणी निकालांसाठी महत्त्वपूर्ण असतात. उच्च-परिशुद्धता ग्रॅनाइट बेस प्रोबची अचूक स्थिती सुनिश्चित करू शकते, ज्यामुळे तपासणी डेटा अधिक अचूक आणि विश्वासार्ह बनतो.
२. सानुकूलित संरचनात्मक अनुकूलन
वेगवेगळ्या वेफर नॉन-डिस्ट्रक्टिव्ह चाचणी उपकरणे आणि प्रक्रिया आवश्यकतांसाठी ग्रॅनाइट मशीन बेस कस्टमाइज केले जाऊ शकतात. उदाहरणार्थ, प्रकाश परावर्तनासाठी ऑप्टिकल तपासणी उपकरणांच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी, मशीन बेसच्या पृष्ठभागावर विशेष उपचार केले जाऊ शकतात; अल्ट्रासोनिक चाचणी उपकरणांच्या स्थापनेच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी, बेसला अचूक स्थापना छिद्रे आणि केबल ट्रेसह प्रीफेब्रिकेट केले जाऊ शकते, ज्यामुळे उपकरणांची जलद आणि अचूक स्थापना शक्य होते आणि स्थापना त्रुटींमुळे होणारे शोध विचलन कमी होते.
II. दीर्घकालीन स्थिरता: उपकरणांच्या देखभालीमुळे होणारे अचूक नुकसान कमी करा.
ग्रॅनाइटमध्ये उच्च कडकपणा आणि मजबूत पोशाख प्रतिरोधकता असते, ज्यामध्ये Mohs कडकपणा 6 ते 7 असतो, जो सामान्य स्टीलच्या पोशाख प्रतिरोधकतेच्या तिप्पट असतो. दीर्घकालीन तपासणी ऑपरेशन्स दरम्यान, मशीन बेसची पृष्ठभाग पोशाख होण्याची शक्यता नसते आणि नेहमीच चांगली अचूकता राखू शकते. याउलट, इतर साहित्यांपासून बनवलेले बेस झीज आणि फाटण्यामुळे उपकरणांच्या स्थापनेच्या संदर्भात बदल घडवून आणू शकतात, ज्यामुळे शोध अचूकतेवर परिणाम होतो आणि वारंवार कॅलिब्रेशन आणि देखभाल आवश्यक असते. ग्रॅनाइट बेसची दीर्घ सेवा आयुष्य आणि उच्च स्थिरता उपकरणांच्या देखभालीची वारंवारता प्रभावीपणे कमी करते आणि देखभाल प्रक्रियेदरम्यान होणाऱ्या अचूकतेच्या नुकसानाचा धोका कमी करते.
शॉक रेझिस्टन्स, उष्णता प्रतिरोधकतेपासून ते अचूक डिझाइनपर्यंत, ग्रॅनाइट बेसचे प्रत्येक वैशिष्ट्य वेफर्सच्या विना-विध्वंसक चाचणीची अचूकता सुरक्षित करत आहे. आजच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन युगात जे अंतिम अचूकतेचा पाठलाग करते, उच्च-गुणवत्तेचा ग्रॅनाइट बेस निवडणे म्हणजे चाचणी निकालांच्या अचूकते आणि विश्वासार्हतेमध्ये विमाचा एक ठोस थर जोडण्यासारखे आहे.
पोस्ट वेळ: जून-१८-२०२५