सेमीकंडक्टर उत्पादन क्षेत्रात, सब-मायक्रॉन अचूकता ही चिप कामगिरी सुनिश्चित करण्याची गुरुकिल्ली आहे आणि (ZHHIMG®) ग्रॅनाइट बेस, त्याच्या भौतिक गुणधर्मांसह, अचूक प्रक्रिया आणि नाविन्यपूर्ण डिझाइनसह, ही अचूकता साध्य करण्यासाठी मुख्य हमी बनला आहे.
भौतिक गुणधर्मांच्या दृष्टिकोनातून, ZHHIMG® ने निवडलेल्या काळ्या ग्रॅनाइटची घनता अंदाजे 3100kg/m³ आहे, ज्याची अंतर्गत रचना दाट आहे. ही उच्च घनता त्याला उत्कृष्ट स्थिरता आणि कडकपणा देते. सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या ऑपरेशन दरम्यान, मोटर्सचे फिरणे आणि उपकरणांमधील यांत्रिक घटकांची हालचाल कंपन निर्माण करेल. ग्रॅनाइट बेस 90% पेक्षा जास्त कंपन ऊर्जा प्रभावीपणे शोषून घेऊ शकतो, ज्यामुळे उपकरणांच्या अचूकतेवर कंपनाचा प्रभाव लक्षणीयरीत्या कमी होतो. दरम्यान, त्याच्या अत्यंत कमी थर्मल विस्तार गुणांकामुळे ते सभोवतालच्या तापमानात चढ-उतार होत असताना त्याचे विकृतीकरण अगदी लहान श्रेणीत ठेवण्यास सक्षम होते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी एक स्थिर आधार पाया प्रदान होतो आणि तापमान बदलांमुळे उपकरण घटकांचे विस्थापन रोखले जाते, ज्यामुळे अचूकतेवर परिणाम होऊ शकतो.
प्रक्रिया आणि उत्पादनाच्या बाबतीत, ZHHIMG® कारखाना आंतरराष्ट्रीय प्रगत प्रक्रिया उपकरणे स्वीकारतो आणि त्यात चार सुपर-लार्ज ग्राइंडिंग मशीन आहेत (प्रत्येक मशीनची किंमत 500,000 यूएसडी पेक्षा जास्त आहे), जे ग्रॅनाइटवर उच्च-परिशुद्धता ग्राइंडिंग करू शकतात. पाच-अक्षीय लिंकेज सीएनसी मशीनिंग आणि इतर प्रक्रियांद्वारे, मशीन बेसची सपाटता नॅनोमीटर पातळीपर्यंत पोहोचू शकते, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या स्थापनेसाठी एक अल्ट्रा-फ्लॅट संदर्भ पृष्ठभाग प्रदान होतो आणि उपकरणाच्या प्रत्येक घटकाची अचूक स्थिती सुनिश्चित होते. शिवाय, स्थिर तापमान आणि आर्द्रता कार्यशाळा (10,000 चौरस मीटर क्षेत्र व्यापणारी) प्रक्रियेसाठी एक स्थिर वातावरण प्रदान करते. त्याच्या सभोवतालचे 500 मिमी रुंद आणि 2000 मिमी खोल अँटी-व्हायब्रेशन खंदक, तसेच मूक क्रेन, बाह्य कंपन हस्तक्षेप प्रभावीपणे वेगळे करतात आणि मशीन बेसची प्रक्रिया अचूकता सुनिश्चित करतात.
याव्यतिरिक्त, ZHHIMG® मध्ये एक मजबूत कस्टमायझेशन क्षमता देखील आहे. सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या विशेष आवश्यकतांसाठी, उपकरणे आणि बेसमध्ये परिपूर्ण सुसंगतता प्राप्त करण्यासाठी अचूक स्थापना छिद्रे आणि केबल ट्रे प्रीफेब्रिकेटेड केले जाऊ शकतात. त्याच वेळी, जर्मन माहर मिनिट गेज (0.5um च्या अचूकतेसह) आणि स्विस वायलर इलेक्ट्रॉनिक पातळी सारख्या जागतिक दर्जाच्या मेट्रोलॉजी आणि चाचणी उपकरणांसह, मशीन बेसची काटेकोरपणे तपासणी आणि कॅलिब्रेट केली जाते जेणेकरून प्रत्येक मशीन बेस सब-मायक्रॉन पातळी अचूकतेसाठी सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करू शकेल याची खात्री केली जाऊ शकते.
या फायद्यांचे संयोजनच ZHHIMG® ग्रॅनाइट बेसला अर्धसंवाहक उपकरणांमध्ये सब-मायक्रॉन अचूकता प्राप्त करण्यासाठी एक विश्वासार्ह पर्याय बनवते, ज्यामुळे अर्धसंवाहक उत्पादन उच्च अचूकता क्षेत्रांकडे जाण्यास मदत होते.
पोस्ट वेळ: जून-१८-२०२५