कोणत्याही अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीनची स्थिरता आणि अचूकता - मोठ्या कोऑर्डिनेट मेजरिंग मशीन्स (CMMs) पासून ते प्रगत सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी उपकरणांपर्यंत - मूलभूतपणे त्याच्या ग्रॅनाइट फाउंडेशनवर अवलंबून असते. महत्त्वपूर्ण स्केलच्या मोनोलिथिक बेस किंवा जटिल मल्टी-सेक्शन ग्रॅनाइट फ्लॅट पॅनल्सशी व्यवहार करताना, असेंब्ली आणि इंस्टॉलेशन प्रक्रिया मॅन्युफॅक्चरिंग प्रिसिजनइतकीच महत्त्वाची असते. फक्त तयार पॅनेल ठेवणे पुरेसे नाही; पॅनेलची प्रमाणित सब-मायक्रॉन फ्लॅटनेस जतन करण्यासाठी आणि वापरण्यासाठी विशिष्ट पर्यावरणीय आणि संरचनात्मक आवश्यकता पूर्ण केल्या पाहिजेत.
१. पाया: एक स्थिर, समतल थर
सर्वात सामान्य गैरसमज असा आहे की आमच्या उच्च-घनतेच्या ZHHIMG® ब्लॅक ग्रॅनाइट (3100 kg/m³) पासून बनवलेले अचूक ग्रॅनाइट पॅनेल, अस्थिर मजला दुरुस्त करू शकतात. ग्रॅनाइट अपवादात्मक कडकपणा प्रदान करते, परंतु ते कमीतकमी दीर्घकालीन विक्षेपणासाठी डिझाइन केलेल्या संरचनेद्वारे समर्थित असले पाहिजे.
असेंब्ली एरियामध्ये एक काँक्रीट सब्सट्रेट असणे आवश्यक आहे जो केवळ समतलच नाही तर योग्यरित्या क्युअर केलेला देखील असावा, बहुतेकदा जाडी आणि घनतेसाठी लष्करी दर्जाच्या वैशिष्ट्यांनुसार - ZHHIMG च्या स्वतःच्या असेंब्ली हॉलमधील $1000mm$ जाडीच्या, अल्ट्रा-हार्ड काँक्रीटच्या मजल्यांना प्रतिबिंबित करतो. महत्त्वाचे म्हणजे, हा सब्सट्रेट बाह्य कंपन स्रोतांपासून वेगळा केला पाहिजे. आमच्या सर्वात मोठ्या मशीन बेसच्या डिझाइनमध्ये, आम्ही आमच्या मेट्रोलॉजी रूम्सभोवती अँटी-व्हायब्रेशन खंदक सारख्या संकल्पना समाविष्ट करतो जेणेकरून पाया स्वतः स्थिर आणि वेगळा राहील याची खात्री होईल.
२. आयसोलेशन लेयर: ग्राउटिंग आणि लेव्हलिंग
ग्रॅनाइट पॅनेल आणि काँक्रीट फाउंडेशनमधील थेट संपर्क पूर्णपणे टाळला जातो. अंतर्गत ताण कमी करण्यासाठी आणि त्याची प्रमाणित भूमिती राखण्यासाठी ग्रॅनाइट बेसला विशिष्ट, गणितीय गणना केलेल्या बिंदूंवर आधार देणे आवश्यक आहे. यासाठी व्यावसायिक लेव्हलिंग सिस्टम आणि ग्राउटिंग लेयर आवश्यक आहे.
एकदा पॅनेल अॅडजस्टेबल लेव्हलिंग जॅक किंवा वेजेस वापरून अचूकपणे स्थित केले की, ग्रॅनाइट आणि सब्सट्रेटमधील पोकळीत एक उच्च-शक्तीचा, आकुंचन न होणारा, अचूक ग्रॉउट टाकला जातो. हे विशेष ग्रॉउट उच्च-घनता, एकसमान इंटरफेस तयार करण्यासाठी क्युअर करते जे पॅनेलचे वजन कायमचे समान रीतीने वितरीत करते, ज्यामुळे अंतर्गत ताण येऊ शकतो आणि कालांतराने सपाटपणा धोक्यात येऊ शकतो अशा झिजणे किंवा विकृती टाळता येते. हे पाऊल ग्रॅनाइट पॅनेल आणि पायाचे प्रभावीपणे एकल, एकसंध आणि कडक वस्तुमानात रूपांतर करते.
३. थर्मल आणि टेम्पोरल समतोल
सर्व उच्च-परिशुद्धता मेट्रोलॉजी कामांप्रमाणे, संयम सर्वात महत्वाचा आहे. अंतिम संरेखन तपासणी करण्यापूर्वी ग्रॅनाइट पॅनेल, ग्राउटिंग मटेरियल आणि काँक्रीट सब्सट्रेट हे सर्व आसपासच्या ऑपरेशनल वातावरणाशी थर्मल समतोल गाठले पाहिजेत. खूप मोठ्या पॅनेलसाठी या प्रक्रियेला दिवस लागू शकतात.
शिवाय, लेसर इंटरफेरोमीटर आणि इलेक्ट्रॉनिक लेव्हल्स सारख्या उपकरणांचा वापर करून केले जाणारे लेव्हलिंग अॅडजस्टमेंट - हळूहळू, मिनिटांच्या वाढीमध्ये केले पाहिजे, ज्यामुळे मटेरियल स्थिर होण्यास वेळ मिळतो. आमचे मास्टर तंत्रज्ञ, जे कठोर जागतिक मेट्रोलॉजी मानकांचे (DIN, ASME) पालन करतात, त्यांना हे समजते की अंतिम लेव्हलिंग घाईघाईने केल्याने सुप्त ताण येऊ शकतो, जो नंतर अचूकतेच्या प्रवाहाप्रमाणे समोर येईल.
४. घटकांचे एकत्रीकरण आणि कस्टम असेंब्ली
ZHHIMG च्या कस्टम ग्रॅनाइट कंपोनेंट्स किंवा ग्रॅनाइट फ्लॅट पॅनल्ससाठी जे रेषीय मोटर्स, एअर बेअरिंग्ज किंवा CMM रेल एकत्रित करतात, अंतिम असेंब्लीसाठी पूर्ण स्वच्छता आवश्यक आहे. आमचे समर्पित स्वच्छ असेंब्ली रूम, जे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या वातावरणाची नक्कल करतात, आवश्यक आहेत कारण ग्रॅनाइट आणि धातूच्या घटकामध्ये अडकलेले सूक्ष्म धूळ कण देखील सूक्ष्म-विक्षेपण निर्माण करू शकतात. अंतिम फास्टनिंग करण्यापूर्वी प्रत्येक इंटरफेस काळजीपूर्वक स्वच्छ आणि तपासला पाहिजे, जेणेकरून घटकाची मितीय स्थिरता निर्दोषपणे मशीन सिस्टममध्येच हस्तांतरित केली जाईल याची खात्री होईल.
या कठोर आवश्यकतांचे पालन करून, ग्राहक हे सुनिश्चित करतात की ते केवळ एक घटक स्थापित करत नाहीत तर त्यांच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन उपकरणांसाठी अंतिम डेटाम यशस्वीरित्या परिभाषित करत आहेत - हा पाया ZHHIMG च्या भौतिक विज्ञान आणि उत्पादन कौशल्याने हमी दिलेला आहे.
पोस्ट वेळ: ऑक्टोबर-२९-२०२५