ग्रॅनाइट हे अर्धवाहक उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या सर्वात लोकप्रिय पदार्थांपैकी एक आहे. हा एक प्रकारचा कठीण, अग्निजन्य खडक आहे जो राखाडी, गुलाबी आणि पांढऱ्या रंगाच्या वेगवेगळ्या छटांमध्ये येतो. ग्रॅनाइट त्याच्या टिकाऊपणा, कमी थर्मल विस्तार गुणांक आणि उत्कृष्ट थर्मल चालकता यासाठी ओळखला जातो, ज्यामुळे ते अर्धवाहक उपकरण उपप्रणालींमध्ये वापरण्यासाठी एक आदर्श पदार्थ बनते.
अर्धवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर करणाऱ्या प्राथमिक उपप्रणालींपैकी एक म्हणजे वेफर हाताळणी आणि प्रक्रिया उपप्रणाली. अर्धवाहक उपकरणांच्या निर्मिती प्रक्रियेत ही उपप्रणाली महत्त्वाची भूमिका बजावते. वेफर हा उपकरणाचा प्रारंभिक सब्सट्रेट आहे आणि हाताळणी आणि प्रक्रिया उपप्रणाली वेगवेगळ्या चेंबर्स आणि प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वेफर हस्तांतरित करण्यासाठी जबाबदार आहे. ग्रॅनाइटचा वापर अत्यंत अचूक आणि सपाट वेफर हाताळणी पृष्ठभाग तयार करण्यासाठी केला जातो आणि वेफर प्रक्रियेसाठी एक स्थिर व्यासपीठ प्रदान करतो.
ग्रॅनाइट वापरणारी आणखी एक महत्त्वाची उपप्रणाली म्हणजे व्हॅक्यूम उपप्रणाली. सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये, उत्पादनादरम्यान दूषितता टाळण्यासाठी व्हॅक्यूम चेंबर्स वापरले जातात. ही प्रणाली प्रभावीपणे कार्य करण्यासाठी, चेंबर पूर्णपणे सील केलेले असणे आवश्यक आहे, जिथे ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो. ग्रॅनाइट हे व्हॅक्यूम चेंबर्ससाठी एक आदर्श साहित्य आहे कारण त्यात गॅस बाहेर टाकण्याचे प्रमाण खूप कमी आहे आणि ते स्थिर व्हॅक्यूम वातावरण राखू शकते. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटची उच्च मशीनिंग अचूकता एक परिपूर्ण सील तयार करण्यास अनुमती देते, वेफर प्रक्रियेसाठी एक विश्वासार्ह व्हॅक्यूम वातावरण प्रदान करते.
अलाइनमेंट सबसिस्टम ही आणखी एक महत्त्वाची प्रणाली आहे जी ग्रॅनाइटच्या अद्वितीय गुणधर्मांचा वापर करते. ही उपसिस्टम अर्धवाहक उपकरणांच्या वेगवेगळ्या भागांना अचूकता आणि अचूकतेने संरेखित करण्यासाठी जबाबदार आहे. उच्च कडकपणा आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी ग्रॅनाइटचा वापर संरेखन टप्प्यांच्या डिझाइन आणि बांधकामात केला जातो. ग्रॅनाइटची उच्च कडकपणा उच्च संरेखन अचूकता प्राप्त करण्यास मदत करते, ज्यामुळे अत्यंत अचूक आणि विश्वासार्ह अर्धवाहक उपकरणांचे उत्पादन होते.
शेवटी, मेट्रोलॉजी उपप्रणाली ही ग्रॅनाइट वापरणारी अर्धवाहक उपकरणांची आणखी एक प्रणाली आहे. वेफर प्रक्रियेत मेट्रोलॉजी महत्त्वाची भूमिका बजावते आणि उपकरणाची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी या उपप्रणालीची अचूकता महत्त्वाची आहे. ग्रॅनाइट एक स्थिर आणि कडक प्लॅटफॉर्म प्रदान करते जे कंपन कमी करण्यास आणि तापमानातील चढउतारांचा प्रभाव कमी करण्यास मदत करते. यामुळे, मेट्रोलॉजी उपप्रणालीमध्ये अत्यंत अचूक मोजमाप साध्य करण्यास मदत होते, ज्यामुळे उच्च-गुणवत्तेच्या अर्धवाहक उपकरणांचे उत्पादन होते.
शेवटी, अर्धवाहक उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये ग्रॅनाइट हा एक महत्त्वाचा पदार्थ आहे. उच्च कडकपणा, कमी थर्मल विस्तार आणि उत्कृष्ट थर्मल चालकता यासारख्या त्याच्या अद्वितीय गुणधर्मांमुळे ते अर्धवाहक उपकरणांमधील अनेक उपप्रणालींसाठी एक उत्कृष्ट साहित्य बनते, ज्यामध्ये वेफर हाताळणी आणि प्रक्रिया, व्हॅक्यूम उपप्रणाली, संरेखन उपप्रणाली आणि मेट्रोलॉजी उपप्रणाली यांचा समावेश आहे. शिवाय, अर्धवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर केल्याने अत्यंत अचूक, विश्वासार्ह आणि कार्यक्षम उपकरणांच्या निर्मितीत मदत झाली आहे ज्याने असंख्य उद्योगांमध्ये परिवर्तन घडवून आणले आहे.
पोस्ट वेळ: मार्च-१९-२०२४