उच्च स्थिरता, कमी थर्मल विस्तार आणि गंज प्रतिरोधकता यासारख्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे, अर्धवाहक उद्योगात ग्रॅनाइट मटेरियलचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो. हे गुणधर्म वेफर ट्रान्सफर सिस्टममध्ये उच्च-परिशुद्धता घटक तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइटला एक आदर्श मटेरियल बनवतात.
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, वेफर ट्रान्सफर सिस्टम उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यांमध्ये वेफरची वाहतूक करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. या प्रणालींसाठी अचूकता आणि अचूकता ही आवश्यक आवश्यकता आहे कारण अगदी थोडेसे विचलन देखील संपूर्ण प्रक्रियेला धोका निर्माण करू शकते. म्हणून, वेफर ट्रान्सफर सिस्टममधील घटक उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीपासून बनवले पाहिजेत आणि ग्रॅनाइट त्या निकषांची पूर्तता करतो.
ग्रॅनाइट मटेरियलपासून बनवलेल्या वेफर ट्रान्सफर सिस्टीमच्या काही भागांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
१. व्हॅक्यूम चक टेबल
प्रक्रियेदरम्यान वेफर धरण्यासाठी व्हॅक्यूम चक टेबलचा वापर केला जातो आणि वेफर खराब होणार नाही याची खात्री करण्यासाठी त्याची पृष्ठभाग स्थिर असणे आवश्यक आहे. हे टेबल बनवण्यासाठी ग्रॅनाइट हे एक आदर्श साहित्य आहे कारण त्यात सपाट, छिद्र नसलेली पृष्ठभाग आहे जी उच्च स्थिरता आणि अचूकता प्रदान करते. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचे गुणांक कमी आहे, ज्यामुळे ते वेफरमध्ये मितीय बदल घडवून आणू शकणाऱ्या तापमान बदलांना प्रतिरोधक बनते.
२. एअर-बेअरिंग स्टेज
उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यांमधून वेफर वाहून नेण्यासाठी एअर-बेअरिंग स्टेजचा वापर केला जातो. स्टेज घर्षणरहित हालचाल प्रदान करण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे, ज्यासाठी उच्च अचूकता आणि स्थिरता आवश्यक आहे. या अनुप्रयोगात ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण तो एक कडक आणि कठीण दगड आहे आणि तो कालांतराने विकृतीकरण आणि झीज होण्यास प्रतिकार करतो.
३. रेषीय गती मार्गदर्शक
रेषीय गती मार्गदर्शकांचा वापर एअर-बेअरिंग स्टेजला मार्गदर्शन करण्यासाठी केला जातो आणि त्रुटी कमी करण्यासाठी ते अचूकपणे ठेवले पाहिजेत. या मार्गदर्शकाच्या निर्मितीसाठी ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण त्यात उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता आणि ताकद आहे. हे साहित्य गंज-प्रतिरोधक देखील आहे, जे मार्गदर्शक प्रणालीचे दीर्घायुष्य सुनिश्चित करते.
४. मेट्रोलॉजी उपकरणे
उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफरचे परिमाण आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी मेट्रोलॉजी उपकरणे वापरली जातात. हे उपकरण तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइट हे एक आदर्श साहित्य आहे कारण त्यात उच्च कडकपणा, कमी विस्तार आणि भाराखाली कमीत कमी विकृतीकरण आहे. शिवाय, ग्रॅनाइटची थर्मल स्थिरता हे सुनिश्चित करते की मेट्रोलॉजी उपकरणे कालांतराने स्थिर आणि अचूक राहतील.
शेवटी, अर्धवाहक उद्योग अचूकता आणि अचूकतेवर अवलंबून असतो आणि ग्रॅनाइट मटेरियल उत्पादन प्रक्रियेत अत्यंत विश्वासार्ह आणि स्थिर असल्याचे सिद्ध झाले आहे. वेफर ट्रान्सफर सिस्टीममधील अनेक महत्त्वाच्या घटकांना उच्च स्थिरता, अचूकता आणि कमी थर्मल विस्तार आवश्यक असल्याने, अभियंते या महत्त्वाच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ग्रॅनाइट मटेरियलकडे वळले आहेत.
पोस्ट वेळ: मार्च-१९-२०२४