वेफर ट्रान्सफर सिस्टमच्या कोणत्या भागांमध्ये ग्रॅनाइट सामग्री वापरली जाते?

उच्च स्थिरता, कमी थर्मल विस्तार आणि गंजला उच्च प्रतिकार यासारख्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उद्योगात ग्रॅनाइट सामग्रीचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जातो. हे गुणधर्म वेफर ट्रान्सफर सिस्टममध्ये उच्च-परिशुद्धता घटक तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइटला एक आदर्श सामग्री बनवतात.

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये, वेफर ट्रान्सफर सिस्टम उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यात वेफर्सची वाहतूक करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. सुस्पष्टता आणि अचूकता या प्रणालींसाठी आवश्यक आवश्यकता आहेत कारण अगदी थोड्या विचलनामुळे संपूर्ण प्रक्रिया धोक्यात येऊ शकते. म्हणूनच, वेफर ट्रान्सफर सिस्टममधील घटक उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीपासून तयार केले जाणे आवश्यक आहे आणि ग्रॅनाइट त्या निकषांची पूर्तता करते.

ग्रॅनाइट मटेरियलपासून बनविलेल्या वेफर ट्रान्सफर सिस्टमच्या काही भागांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

1. व्हॅक्यूम चक टेबल

प्रक्रियेदरम्यान वेफर ठेवण्यासाठी व्हॅक्यूम चक टेबलचा वापर केला जातो आणि वेफरला खराब होऊ नये याची खात्री करण्यासाठी त्यास स्थिर पृष्ठभाग असणे आवश्यक आहे. हे टेबल तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइट एक आदर्श सामग्री आहे कारण त्यात एक सपाट, सच्छिद्र पृष्ठभाग आहे जो उच्च स्थिरता आणि सुस्पष्टता प्रदान करतो. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक आहे, ज्यामुळे ते तापमान बदलांना प्रतिरोधक बनते ज्यामुळे वेफरमध्ये आयामी बदल होऊ शकतात.

2. एअर-बेअरिंग स्टेज

एअर-बेअरिंग स्टेजचा वापर वेफरला उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यांमधून वाहतूक करण्यासाठी केला जातो. स्टेज एक घर्षणविरहित हालचाली प्रदान करण्यासाठी अभियंता आहे, ज्यास उच्च सुस्पष्टता आणि स्थिरता आवश्यक आहे. या अनुप्रयोगात ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण तो एक कठोर आणि कठोर दगड आहे आणि तो विकृतीचा प्रतिकार करतो आणि वेळोवेळी परिधान करतो.

3. रेखीय मोशन मार्गदर्शक

रेखीय मोशन मार्गदर्शकांचा वापर एअर-बेअरिंग स्टेजला मार्गदर्शन करण्यासाठी केला जातो आणि त्रुटी कमी करण्यासाठी त्या अचूकपणे स्थित असणे आवश्यक आहे. हे मार्गदर्शक तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण त्यात उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता आणि सामर्थ्य आहे. सामग्री गंज-प्रतिरोधक देखील आहे, जी मार्गदर्शक प्रणालीची दीर्घायुष्य सुनिश्चित करते.

4. मेट्रोलॉजी उपकरणे

मेट्रोलॉजी उपकरणे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफरचे परिमाण आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी वापरले जातात. ग्रॅनाइट ही उपकरणे तयार करण्यासाठी एक आदर्श सामग्री आहे कारण त्यात जास्त कडकपणा, कमी विस्तार आणि भार अंतर्गत कमीतकमी विकृती आहे. शिवाय, ग्रॅनाइटची थर्मल स्थिरता हे सुनिश्चित करते की मेट्रोलॉजी उपकरणे वेळोवेळी स्थिर आणि अचूक राहतात.

शेवटी, सेमीकंडक्टर उद्योग सुस्पष्टता आणि अचूकतेवर अवलंबून आहे आणि ग्रॅनाइट सामग्री उत्पादन प्रक्रियेत अत्यंत विश्वासार्ह आणि स्थिर असल्याचे सिद्ध झाले आहे. वेफर ट्रान्सफर सिस्टममधील बर्‍याच गंभीर घटकांसह उच्च स्थिरता, सुस्पष्टता आणि कमी थर्मल विस्ताराची आवश्यकता असते, अभियंत्यांनी या गंभीर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ग्रॅनाइट सामग्रीकडे वळले आहे.