ग्रॅनाइट सामग्री तिच्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे, जसे की उच्च स्थिरता, कमी औष्णिक प्रसरण आणि क्षरणाला उच्च प्रतिकारशक्ती, सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरली जाते. या गुणधर्मांमुळे, वेफर ट्रान्सफर सिस्टीममध्ये उच्च-सुस्पष्टतेचे घटक तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइट एक आदर्श सामग्री ठरते.
सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेमध्ये, वेफर ट्रान्सफर सिस्टीम उत्पादन प्रक्रियेच्या विविध टप्प्यांवर वेफर्सची वाहतूक करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. या सिस्टीमसाठी अचूकता आणि सुस्पष्टता या अत्यावश्यक गरजा आहेत, कारण अगदी किरकोळ विचलनामुळेही संपूर्ण प्रक्रिया धोक्यात येऊ शकते. त्यामुळे, वेफर ट्रान्सफर सिस्टीममधील घटक उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीपासून बनवलेले असणे आवश्यक आहे, आणि ग्रॅनाइट हे निकष पूर्ण करते.
वेफर ट्रान्सफर सिस्टीमचे ग्रॅनाइट सामग्रीपासून बनवलेले काही भाग खालीलप्रमाणे आहेत:
१. व्हॅक्यूम चक टेबल
प्रक्रियेदरम्यान वेफरला धरून ठेवण्यासाठी व्हॅक्यूम चक टेबलचा वापर केला जातो आणि वेफरला नुकसान पोहोचू नये यासाठी त्याचा पृष्ठभाग स्थिर असणे आवश्यक आहे. हे टेबल बनवण्यासाठी ग्रॅनाइट एक आदर्श साहित्य आहे, कारण त्याचा सपाट, सच्छिद्र नसलेला पृष्ठभाग उच्च स्थिरता आणि अचूकता प्रदान करतो. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटचा औष्णिक प्रसरणांक कमी असतो, ज्यामुळे वेफरच्या आकारात बदल घडवू शकणाऱ्या तापमानातील बदलांना ते प्रतिरोधक ठरते.
२. हवा-वाहक टप्पा
उत्पादन प्रक्रियेच्या विविध टप्प्यांमधून वेफर वाहून नेण्यासाठी एअर-बेअरिंग स्टेजचा वापर केला जातो. या स्टेजची रचना घर्षणरहित हालचाल प्रदान करण्यासाठी केली जाते, ज्यासाठी उच्च अचूकता आणि स्थिरतेची आवश्यकता असते. या अनुप्रयोगात ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण तो एक मजबूत आणि कठीण दगड आहे, आणि तो कालांतराने होणाऱ्या विरूपणाला आणि झिजेला प्रतिकार करतो.
३. रेषीय गती मार्गदर्शक
एअर-बेअरिंग स्टेजला मार्गदर्शन करण्यासाठी लिनियर मोशन गाईड्सचा वापर केला जातो आणि त्रुटी कमी करण्यासाठी त्यांना अचूकपणे स्थित करणे आवश्यक असते. हा गाईड बनवण्यासाठी ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो, कारण त्यात उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता आणि मजबुती असते. हे मटेरियल गंज-प्रतिरोधक देखील आहे, ज्यामुळे गाईड सिस्टीमचे दीर्घायुष्य सुनिश्चित होते.
४. मेट्रोलॉजी उपकरणे
उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफरचे आकारमान आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी मेट्रोलॉजी उपकरणांचा वापर केला जातो. ही उपकरणे बनवण्यासाठी ग्रॅनाइट हा एक आदर्श पदार्थ आहे, कारण त्यात उच्च दृढता, कमी प्रसरण आणि भाराखाली कमीत कमी विरूपण हे गुणधर्म आहेत. शिवाय, ग्रॅनाइटची औष्णिक स्थिरता हे सुनिश्चित करते की मेट्रोलॉजी उपकरणे कालांतराने स्थिर आणि अचूक राहतील.
थोडक्यात सांगायचे झाल्यास, सेमीकंडक्टर उद्योग अचूकतेवर अवलंबून असतो आणि उत्पादन प्रक्रियेमध्ये ग्रॅनाइट सामग्री अत्यंत विश्वसनीय आणि स्थिर असल्याचे सिद्ध झाले आहे. वेफर ट्रान्सफर सिस्टीममधील अनेक महत्त्वाच्या घटकांना उच्च स्थिरता, अचूकता आणि कमी औष्णिक प्रसरणाची आवश्यकता असल्याने, या महत्त्वपूर्ण गरजा पूर्ण करण्यासाठी अभियंत्यांनी ग्रॅनाइट सामग्रीचा वापर करण्यास सुरुवात केली आहे.
पोस्ट करण्याची वेळ: १९ मार्च २०२४