वेफर ट्रान्सफर सिस्टीमच्या कोणत्या भागात ग्रॅनाइट मटेरियल वापरले जाते?

उच्च स्थिरता, कमी थर्मल विस्तार आणि गंजांना उच्च प्रतिकार यासारख्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे ग्रॅनाइट सामग्रीचा सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जातो.हे गुणधर्म वेफर ट्रान्सफर सिस्टममध्ये उच्च-परिशुद्धता घटक तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइटला एक आदर्श सामग्री बनवतात.

सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, वेफर ट्रान्सफर सिस्टीम उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यांवर वेफर्सची वाहतूक करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते.अचूकता आणि अचूकता या प्रणालींसाठी आवश्यक आवश्यकता आहेत कारण अगदी थोडेसे विचलन संपूर्ण प्रक्रियेला धोका देऊ शकते.म्हणून, वेफर ट्रान्सफर सिस्टममधील घटक उच्च-गुणवत्तेच्या सामग्रीपासून बनवले जाणे आवश्यक आहे आणि ग्रॅनाइट हे निकष पूर्ण करते.

ग्रॅनाइट मटेरियलपासून बनवलेल्या वेफर ट्रान्सफर सिस्टीमच्या काही भागांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

1. व्हॅक्यूम चक टेबल

प्रक्रियेदरम्यान व्हॅक्यूम चक टेबलचा वापर वेफर ठेवण्यासाठी केला जातो आणि वेफर खराब होणार नाही याची खात्री करण्यासाठी त्याची पृष्ठभाग स्थिर असणे आवश्यक आहे.हे टेबल बनवण्यासाठी ग्रॅनाइट ही एक आदर्श सामग्री आहे कारण त्यात सपाट, छिद्र नसलेली पृष्ठभाग आहे जी उच्च स्थिरता आणि अचूकता प्रदान करते.याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचा कमी गुणांक असतो, ज्यामुळे ते तापमान बदलांना प्रतिरोधक बनवते ज्यामुळे वेफरमध्ये आयामी बदल होऊ शकतात.

2. एअर-बेअरिंग स्टेज

एअर-बेअरिंग स्टेजचा वापर उत्पादन प्रक्रियेच्या वेगवेगळ्या टप्प्यांतून वेफरची वाहतूक करण्यासाठी केला जातो.स्टेजला घर्षणरहित हालचाल प्रदान करण्यासाठी अभियंता बनविले आहे, ज्यासाठी उच्च अचूकता आणि स्थिरता आवश्यक आहे.या ऍप्लिकेशनमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण तो एक कठोर आणि कठोर दगड आहे आणि तो विकृत होण्यास प्रतिकार करतो आणि कालांतराने परिधान करतो.

3. रेखीय गती मार्गदर्शक

रेखीय गती मार्गदर्शकांचा वापर एअर-बेअरिंग स्टेजला मार्गदर्शन करण्यासाठी केला जातो आणि त्रुटी कमी करण्यासाठी ते अचूकपणे स्थित असले पाहिजेत.हे मार्गदर्शक तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो कारण त्यात उत्कृष्ट यांत्रिक स्थिरता आणि सामर्थ्य आहे.सामग्री देखील गंज-प्रतिरोधक आहे, जी मार्गदर्शक प्रणालीची दीर्घायुष्य सुनिश्चित करते.

4. मेट्रोलॉजी उपकरणे

उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफरचे परिमाण आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी मेट्रोलॉजी उपकरणे वापरली जातात.हे उपकरण तयार करण्यासाठी ग्रॅनाइट ही एक आदर्श सामग्री आहे कारण त्यात उच्च कडकपणा, कमी विस्तार आणि लोड अंतर्गत कमीतकमी विकृती आहे.शिवाय, ग्रॅनाइटची थर्मल स्थिरता हे सुनिश्चित करते की मेट्रोलॉजी उपकरणे कालांतराने स्थिर आणि अचूक राहतील.

शेवटी, सेमीकंडक्टर उद्योग अचूकता आणि अचूकतेवर अवलंबून आहे आणि ग्रॅनाइट सामग्री उत्पादन प्रक्रियेत अत्यंत विश्वासार्ह आणि स्थिर असल्याचे सिद्ध झाले आहे.वेफर ट्रान्सफर सिस्टीममधील अनेक गंभीर घटकांना उच्च स्थिरता, सुस्पष्टता आणि कमी थर्मल विस्तार आवश्यक आहे, या गंभीर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी अभियंते ग्रॅनाइट सामग्रीकडे वळले आहेत.