सेमीकंडक्टर उद्योगात, चिपची गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर तपासणी ही एक महत्त्वाची दुवा आहे आणि तपासणी टेबलची अचूकता आणि स्थिरता शोध निकालांमध्ये निर्णायक भूमिका बजावते. ग्रॅनाइट बेस त्याच्या अद्वितीय वैशिष्ट्यांसह, सेमीकंडक्टर वेफर तपासणी टेबलसाठी आदर्श पर्याय बनला आहे, तुमच्यासाठी बहुआयामी विश्लेषणातून खालील गोष्टी.
प्रथम, अचूकता हमी परिमाण
१. अति-उच्च सपाटपणा आणि सरळपणा: ग्रॅनाइट बेस प्रगत प्रक्रिया तंत्रज्ञानाद्वारे प्रक्रिया केला जातो आणि सपाटपणा ±0.001 मिमी/मीटर किंवा त्याहूनही जास्त अचूकतेपर्यंत पोहोचू शकतो आणि सरळपणा देखील उत्कृष्ट आहे. वेफर तपासणी प्रक्रियेत, उच्च-परिशुद्धता विमान वेफरसाठी स्थिर आधार प्रदान करते आणि तपासणी उपकरणाच्या प्रोब आणि वेफर पृष्ठभागावरील सोल्डर जॉइंट्स दरम्यान अचूक संपर्क सुनिश्चित करते.
२. थर्मल एक्सपान्शनचा खूप कमी गुणांक: सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग तापमान बदलांना संवेदनशील असते आणि ग्रॅनाइटच्या थर्मल एक्सपान्शनचा गुणांक अत्यंत कमी असतो, साधारणतः सुमारे ५×१०⁻⁶/℃. डिटेक्शन प्लॅटफॉर्म चालू असताना, सभोवतालच्या तापमानात चढ-उतार होत असले तरीही, ग्रॅनाइट बेसचा आकार खूपच कमी बदलतो. उदाहरणार्थ, उन्हाळ्यात उच्च-तापमान कार्यशाळेत, सामान्य मेटल बेस डिटेक्शन प्लॅटफॉर्मच्या तापमानामुळे वेफर आणि डिटेक्शन उपकरणांची सापेक्ष स्थिती बदलू शकते, ज्यामुळे डिटेक्शन अचूकतेवर परिणाम होतो; ग्रॅनाइट बेस डिटेक्शन प्लॅटफॉर्म स्थिरता राखू शकतो, डिटेक्शन प्रक्रियेदरम्यान वेफर आणि डिटेक्शन उपकरणांची सापेक्ष स्थिती अचूकता सुनिश्चित करू शकतो आणि उच्च-परिशुद्धता डिटेक्शनसाठी स्थिर वातावरण प्रदान करू शकतो.
दुसरे, स्थिरता परिमाण
१. स्थिर रचना आणि कंपन प्रतिकार: लाखो वर्षांच्या भूगर्भीय प्रक्रियांनंतर, ग्रॅनाइटची अंतर्गत रचना दाट आणि एकसमान असते. अर्धवाहक कारखान्याच्या जटिल वातावरणात, परिधीय उपकरणे आणि कर्मचाऱ्यांच्या फिरण्यामुळे निर्माण होणारे कंपन ग्रॅनाइट बेसद्वारे प्रभावीपणे कमी केले जाते.
२. दीर्घकालीन वापराची अचूकता: इतर सामग्रीच्या तुलनेत, ग्रॅनाइटमध्ये उच्च कडकपणा, मजबूत पोशाख प्रतिरोधकता आणि मोह्स कडकपणा ६-७ पर्यंत पोहोचू शकतो. वारंवार वेफर लोडिंग, अनलोडिंग आणि तपासणी ऑपरेशन्स दरम्यान ग्रॅनाइट बेस पृष्ठभाग सहजपणे झीज होत नाही. डेटा आकडेवारीच्या प्रत्यक्ष वापरानुसार, ग्रॅनाइट बेस चाचणी टेबलचा वापर, ५००० तासांनंतर सतत ऑपरेशन, सपाटपणा आणि सरळपणाची अचूकता अजूनही सुरुवातीच्या अचूकतेच्या ९८% पेक्षा जास्त राखली जाऊ शकते, नियमित कॅलिब्रेशन आणि देखभाल वेळेमुळे बेसच्या पोशाखामुळे उपकरणे कमी होतात, व्यवसाय ऑपरेटिंग खर्च कमी होतो, चाचणी कामाची दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी.
तिसरे, स्वच्छ आणि हस्तक्षेप-विरोधी परिमाण
१. कमी धूळ निर्मिती: सेमीकंडक्टर उत्पादन वातावरण अत्यंत स्वच्छ असणे आवश्यक आहे, आणि ग्रॅनाइट मटेरियल स्वतः स्थिर आहे आणि धूळ कण तयार करणे सोपे नाही. चाचणी प्लॅटफॉर्मच्या ऑपरेशन दरम्यान, बेसद्वारे निर्माण होणारी धूळ वेफरला प्रदूषित करण्यास टाळली जाते आणि धूळ कणांमुळे होणारे शॉर्ट सर्किट आणि ओपन सर्किटचा धोका कमी होतो. धूळमुक्त कार्यशाळेच्या वेफर तपासणी क्षेत्रात, ग्रॅनाइट बेस तपासणी टेबलभोवती धूळ सांद्रता नेहमीच अत्यंत कमी पातळीवर नियंत्रित केली जाते, जी सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या कठोर स्वच्छता आवश्यकता पूर्ण करते.
२. चुंबकीय हस्तक्षेप नाही: शोध उपकरणे इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक वातावरणास संवेदनशील असतात आणि ग्रॅनाइट ही एक नॉन-चुंबकीय सामग्री आहे, जी शोध उपकरणाच्या इलेक्ट्रॉनिक सिग्नलमध्ये व्यत्यय आणणार नाही. इलेक्ट्रॉन बीम डिटेक्शन आणि अत्यंत उच्च इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक वातावरणाची आवश्यकता असलेल्या इतर चाचणी तंत्रज्ञानाच्या वापरामध्ये, ग्रॅनाइट बेस शोध उपकरणाच्या इलेक्ट्रॉनिक सिग्नलचे स्थिर प्रसारण सुनिश्चित करतो आणि चाचणी निकालांची अचूकता सुनिश्चित करतो. उदाहरणार्थ, जेव्हा वेफरची उच्च-परिशुद्धता विद्युत कामगिरीसाठी चाचणी केली जाते, तेव्हा नॉन-चुंबकीय ग्रॅनाइट बेस शोध प्रवाह आणि व्होल्टेज सिग्नलमध्ये व्यत्यय टाळतो, जेणेकरून शोध डेटा खरोखर वेफर विद्युत वैशिष्ट्यांचे प्रतिबिंबित करतो.
पोस्ट वेळ: मार्च-३१-२०२५