ग्रॅनाइट हा हार्ड रॉकचा एक प्रकार आहे जो सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात एक अपरिहार्य सामग्री बनला आहे.त्याचे गुणधर्म उच्च तापमानाचा सामना करण्यास अनुमती देतात, जे सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मिती प्रक्रियेच्या विविध टप्प्यांमध्ये वापरण्यासाठी ते आदर्श बनवते.परिणामी, ग्रॅनाइट असेंब्लीला सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रोसेस डिव्हाईस उत्पादनांमध्ये विस्तृत अनुप्रयोग क्षेत्र सापडले आहेत.
ग्रॅनाइट असेंबलीचा सर्वात जास्त वापरल्या जाणाऱ्या अनुप्रयोगांपैकी एक म्हणजे उच्च-परिशुद्धता मशीन टूल स्ट्रक्चर्सचे बांधकाम.ग्रॅनाइटची कडकपणा आणि स्थिरता यामुळे अगदी कमी किंवा कोणत्याही विकृतीशिवाय अचूक आणि अचूक साधने तयार करणे शक्य होते.आयन इम्प्लांटेशन सारख्या सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत अचूकतेची ही पातळी आवश्यक आहे, जेथे बीम अचूकपणे वेफरवर निर्देशित केला जाणे आवश्यक आहे.
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये ग्रॅनाइट असेंब्लीचा आणखी एक उपयोग म्हणजे मेट्रोलॉजी उपकरणे तयार करणे.सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत मेट्रोलॉजी उपकरणे महत्त्वपूर्ण आहेत कारण ते उत्पादित केलेल्या उपकरणांची अचूकता मोजतात आणि सत्यापित करतात.ग्रॅनाइटची मितीय स्थिरता, कमी थर्मल विस्तार आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंग गुणधर्म हे मेट्रोलॉजी उपकरणांच्या बांधकामात पसंतीचे साहित्य बनवतात.यामध्ये वेफर्सच्या स्टेजिंग आणि तपासणीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या मोठ्या ग्रॅनाइट पृष्ठभागांचा समावेश आहे.
ऑप्टिकल टेबल्स हे अर्धसंवाहक उद्योगात ग्रॅनाइट असेंब्लीच्या व्यापक वापराचे आणखी एक क्षेत्र आहे.डेटा कम्युनिकेशनसाठी वेव्हगाइड्ससारख्या ऑप्टिकल उपकरणांच्या चाचणीमध्ये ऑप्टिकल टेबल्सचा वापर केला जातो.ग्रॅनाइटचा सपाटपणा, कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि यांत्रिक स्थिरता याला ऑप्टिक्सच्या माउंटिंग आणि पोझिशनिंगसाठी अत्यंत स्थिर पृष्ठभाग प्रदान करण्यास सक्षम करते.ग्रॅनाइट ऑप्टिकल टेबल्स ऑप्टिकल उपकरणांची अचूक, अचूक चाचणी करण्यासाठी आवश्यक स्थिरता आणि कडकपणा प्रदान करू शकतात.
ग्रेनाइटला वेफर चक आणि स्टेजच्या बांधकामात देखील उपयोग होतो.सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, अचूक संरेखन आणि स्थिती नियंत्रण महत्त्वपूर्ण आहे.वेफर चक्स, जे प्रक्रियेदरम्यान वेफर्स ठेवतात, त्यांनी उच्च तापमान आणि व्हॅक्यूम परिस्थितीचा सामना करताना स्थिती अचूकता राखली पाहिजे.ग्रॅनाइटमध्ये तापमानाच्या विस्तृत श्रेणीवर उत्कृष्ट मितीय स्थिरता आहे आणि व्हॅक्यूम परिस्थितीचा सामना करू शकतो, ज्यामुळे ते वेफर चक्सच्या बांधकामासाठी आदर्श बनते.सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सच्या एका स्थानावरून दुसऱ्या स्थानापर्यंतच्या हालचालींमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या पायऱ्या चक्रीय हालचालींच्या क्रमवारीतून जातात.ग्रॅनाइट असेंब्ली स्थिरता आणि टिकाऊपणा प्रदान करते जी हालचाल सतत आणि पुनरावृत्ती चक्र सहन करण्यासाठी आवश्यक आहे.
सारांश, सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात ग्रॅनाइट असेंब्लीचा उपयोग खूप मोठा आहे.मितीय स्थिरता, कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि कंपन डॅम्पिंग यांसारखे त्याचे गुणधर्म सेमीकंडक्टर उपकरण निर्मिती प्रक्रियेच्या विविध टप्प्यांमध्ये वापरण्यासाठी एक आदर्श सामग्री बनवतात.उच्च-परिशुद्धता मशीन टूल्स आणि मेट्रोलॉजी उपकरणांच्या बांधकामापासून ते ऑप्टिकल टेबल्स आणि वेफर स्टेज आणि चक्सपर्यंत, ग्रॅनाइटचे गुणधर्म उच्च-गुणवत्तेचे सेमीकंडक्टर डिव्हाइस उत्पादन साध्य करण्यासाठी आवश्यक स्थिरता, अचूकता आणि पुनरावृत्ती प्रदान करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०६-२०२३