ग्रॅनाइट हा एक प्रकारचा कठीण खडक आहे जो अर्धवाहक उत्पादन उद्योगात एक अपरिहार्य पदार्थ बनला आहे. त्याच्या गुणधर्मांमुळे तो उच्च तापमानाचा सामना करू शकतो, ज्यामुळे तो अर्धवाहक उपकरण निर्मिती प्रक्रियेच्या विविध टप्प्यांमध्ये वापरण्यासाठी आदर्श बनतो. परिणामी, ग्रॅनाइट असेंब्लीला अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रिया उपकरण उत्पादनांमध्ये विस्तृत अनुप्रयोग क्षेत्रे आढळली आहेत.
ग्रॅनाइट असेंब्लीचा सर्वात जास्त वापरला जाणारा अनुप्रयोग म्हणजे उच्च-परिशुद्धता मशीन टूल स्ट्रक्चर्सचे बांधकाम. ग्रॅनाइटची कडकपणा आणि स्थिरता कमी किंवा कोणत्याही विकृतीशिवाय अचूक आणि अचूक साधने तयार करणे शक्य करते. आयन इम्प्लांटेशनसारख्या अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेत, जिथे बीम अचूकपणे वेफरवर निर्देशित केला पाहिजे, या पातळीची अचूकता आवश्यक आहे.
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये ग्रॅनाइट असेंब्लीचा आणखी एक वापर म्हणजे मेट्रोलॉजी उपकरणांच्या बांधकामात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत मेट्रोलॉजी उपकरणे महत्त्वाची असतात कारण ती उत्पादित होणाऱ्या उपकरणांची अचूकता मोजतात आणि पडताळतात. ग्रॅनाइटची मितीय स्थिरता, कमी थर्मल एक्सपेंशन आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंग गुणधर्म यामुळे मेट्रोलॉजी उपकरणांच्या बांधकामात ते पसंतीचे साहित्य बनते. यामध्ये वेफर्सच्या स्टेजिंग आणि तपासणीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या मोठ्या ग्रॅनाइट पृष्ठभागांचा समावेश आहे.
सेमीकंडक्टर उद्योगात ग्रॅनाइट असेंब्लीचा व्यापक वापर करण्याचे आणखी एक क्षेत्र म्हणजे ऑप्टिकल टेबल्स. डेटा कम्युनिकेशनसाठी वेव्हगाईड्स सारख्या ऑप्टिकल उपकरणांच्या चाचणीमध्ये ऑप्टिकल टेबल्सचा वापर केला जातो. ग्रॅनाइटची सपाटपणा, कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि यांत्रिक स्थिरता यामुळे ते ऑप्टिक्सच्या माउंटिंग आणि पोझिशनिंगसाठी अत्यंत स्थिर पृष्ठभाग प्रदान करण्यास सक्षम होते. ग्रॅनाइट ऑप्टिकल टेबल्स ऑप्टिकल उपकरणांची अचूक, अचूक चाचणी करण्यासाठी आवश्यक स्थिरता आणि कडकपणा प्रदान करू शकतात.
वेफर चक आणि स्टेजच्या बांधकामातही ग्रॅनाइटचा वापर होतो. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, अचूक संरेखन आणि स्थिती नियंत्रण अत्यंत महत्त्वाचे असते. प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सना जागी ठेवणारे वेफर चक उच्च तापमान आणि व्हॅक्यूम परिस्थितीचा सामना करताना स्थिती अचूकता राखतात. ग्रॅनाइटमध्ये विस्तृत तापमान श्रेणीमध्ये उत्कृष्ट मितीय स्थिरता असते आणि ते व्हॅक्यूम परिस्थितीचा सामना करू शकते, ज्यामुळे ते वेफर चकच्या बांधकामासाठी आदर्श बनते. सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सच्या एका स्थानावरून दुसऱ्या स्थानावर हालचालींमध्ये वापरले जाणारे टप्पे हालचालींच्या सायकलिंग क्रमातून जातात. ग्रॅनाइट असेंब्ली हालचालींच्या सतत आणि पुनरावृत्ती चक्रांना सहन करण्यासाठी आवश्यक स्थिरता आणि टिकाऊपणा प्रदान करते.
थोडक्यात, सेमीकंडक्टर उत्पादन उद्योगात ग्रॅनाइट असेंब्लीचा वापर प्रचंड आहे. त्याचे गुणधर्म जसे की मितीय स्थिरता, कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि कंपन डॅम्पिंग यामुळे ते सेमीकंडक्टर उपकरण उत्पादन प्रक्रियेच्या विविध टप्प्यांमध्ये वापरण्यासाठी एक आदर्श साहित्य बनते. उच्च-परिशुद्धता मशीन टूल्स आणि मेट्रोलॉजी उपकरणांच्या बांधकामापासून ते ऑप्टिकल टेबल्स आणि वेफर स्टेज आणि चकपर्यंत, ग्रॅनाइटचे गुणधर्म उच्च-गुणवत्तेचे सेमीकंडक्टर उपकरण उत्पादन साध्य करण्यासाठी आवश्यक स्थिरता, अचूकता आणि पुनरावृत्तीक्षमता प्रदान करण्यात महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावतात.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०६-२०२३