सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग: चिप मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत, फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियेसाठी सर्किट पॅटर्न अचूकपणे वेफरमध्ये हस्तांतरित करणे आवश्यक आहे. सिंगल अॅक्सिस एअर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलचा ग्रॅनाइट बेस लिथोग्राफी उपकरणांमध्ये वेफर टेबलसाठी उच्च अचूक पोझिशनिंग आणि स्थिर समर्थन प्रदान करू शकतो. उदाहरणार्थ, ASML आणि इतर आंतरराष्ट्रीय स्तरावर प्रसिद्ध लिथोग्राफी मशीन उत्पादक त्यांच्या उच्च-श्रेणी उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट बेस एअर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूल वापरतात, जे लिथोग्राफी पॅटर्नची अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी नॅनोमीटर स्तरावर वेफरची पोझिशनिंग अचूकता नियंत्रित करू शकतात, ज्यामुळे चिपचे एकत्रीकरण आणि कार्यप्रदर्शन सुधारते.
अचूकता मापन क्षेत्र: CMM हे औद्योगिक उत्पादनात सामान्यतः वापरले जाणारे एक अचूकता मापन उपकरण आहे, जे वर्कपीसचा आकार, आकार आणि स्थिती अचूकता मोजण्यासाठी वापरले जाते. ग्रॅनाइट बेसवरील सिंगल अक्ष एअर फ्लोटचे अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूल CMM च्या मोशन प्लॅटफॉर्म म्हणून वापरले जाऊ शकते, जे उच्च-परिशुद्धता रेषीय गती साकार करू शकते आणि मापन प्रोबसाठी स्थिर गती मार्ग प्रदान करू शकते. उदाहरणार्थ, हेक्सागॉनचे उच्च-स्तरीय CMM हे संयोजन मोठ्या आणि जटिल भागांचे मापन करण्यासाठी वापरते ज्यामध्ये मायक्रॉन पातळीपर्यंत अचूकता असते, जे ऑटोमोटिव्ह, एरोस्पेस आणि इतर उद्योगांमध्ये भागांच्या गुणवत्ता नियंत्रणासाठी एक मजबूत हमी प्रदान करते.
एरोस्पेस फील्ड: एरोस्पेस पार्ट्सच्या प्रक्रियेत आणि चाचणीमध्ये, उच्च अचूकता आवश्यक आहे. उदाहरणार्थ, विमान इंजिन ब्लेडच्या मशीनिंगसाठी ब्लेड प्रोफाइलची अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी टूलच्या गती मार्गाचे अचूक नियंत्रण आवश्यक आहे. सिंगल अक्ष एअर फ्लोट अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलचा ग्रॅनाइट बेस पाच-अक्ष मशीनिंग सेंटर आणि इतर उपकरणांवर लागू केला जाऊ शकतो जेणेकरून टूलसाठी उच्च-परिशुद्धता गती नियंत्रण प्रदान केले जाऊ शकते आणि ब्लेडची मशीनिंग अचूकता डिझाइन आवश्यकता पूर्ण करू शकते याची खात्री केली जाऊ शकते. त्याच वेळी, एरो इंजिनच्या असेंब्ली प्रक्रियेत, भागांची असेंब्ली अचूकता शोधण्यासाठी उच्च-परिशुद्धता मापन उपकरणे वापरणे देखील आवश्यक आहे. ग्रॅनाइट बेसचा एअर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूल असेंब्लीची गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी मापन उपकरणांना स्थिर समर्थन आणि अचूक हालचाल प्रदान करू शकतो.
ऑप्टिकल तपासणी क्षेत्र: ऑप्टिकल घटकांच्या निर्मिती आणि चाचणी प्रक्रियेत, ऑप्टिकल घटकांचे उच्च-परिशुद्धता स्थितीकरण आणि मापन करणे आवश्यक आहे. उदाहरणार्थ, आरसे आणि लेन्स सारख्या उच्च-परिशुद्धता ऑप्टिकल घटकांचे उत्पादन करताना, पृष्ठभागाच्या आकाराची अचूकता शोधण्यासाठी इंटरफेरोमीटर आणि इतर उपकरणे वापरणे आवश्यक आहे. सिंगल अक्ष एअर फ्लोटिंग अल्ट्रा-प्रिसिजन मोशन मॉड्यूलचा ग्रॅनाइट बेस इंटरफेरोमीटरच्या हालचाली प्लॅटफॉर्म म्हणून वापरला जाऊ शकतो, जो सब-मायक्रॉन पोझिशनिंग अचूकता ओळखू शकतो आणि ऑप्टिकल घटकांच्या शोधासाठी अचूक डेटा समर्थन प्रदान करू शकतो. याव्यतिरिक्त, लेसर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये, लेसर बीमच्या स्कॅनिंग मार्गावर नियंत्रण ठेवण्यासाठी उच्च-परिशुद्धता गती प्लॅटफॉर्म वापरणे देखील आवश्यक आहे, एअर फ्लोटिंग मोशन मॉड्यूलचा ग्रॅनाइट बेस ही आवश्यकता पूर्ण करू शकतो, उच्च-परिशुद्धता लेसर प्रक्रिया साध्य करण्यासाठी.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०७-२०२५