ग्रॅनाइटचे दोष वेफर प्रोसेसिंग उपकरणाच्या उत्पादनात वापरले जातात

ग्रॅनाइट एक नैसर्गिकरित्या उद्भवणारा खडक आहे जो वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये बराच काळ वापरला जात आहे. हे कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि चांगली स्थिरता असलेल्या उत्कृष्ट गुणधर्मांसाठी ओळखले जाते. तथापि, सर्व सामग्रीप्रमाणेच ग्रॅनाइटचे स्वतःचे दोषांचे संच आहेत जे वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांच्या गुणवत्तेवर परिणाम करू शकतात.

ग्रॅनाइटचा एक प्रमुख दोष म्हणजे क्रॅक किंवा ब्रेक करण्याची प्रवृत्ती. हे खडकाच्या निर्मिती दरम्यान उद्भवू शकणार्‍या मायक्रोक्रॅकच्या उपस्थितीमुळे आहे. जर या मायक्रोक्रॅक ओळखले गेले नाहीत आणि योग्यरित्या उपचार केले गेले नाहीत तर ते उपकरणाच्या अपयशास प्रचार करू शकतात आणि होऊ शकतात. हे होण्यापासून रोखण्यासाठी, प्रक्रिया उपकरणे उत्पादकांना उच्च-गुणवत्तेचे ग्रॅनाइट वापरण्याची आवश्यकता आहे ज्यावर उपचार केले गेले आहेत आणि ते मायक्रोक्रॅकपासून मुक्त आहे याची खात्री करण्यासाठी चाचणी केली गेली आहे.

ग्रॅनाइटचा आणखी एक दोष म्हणजे गंजण्याची तीव्रता. जर ग्रॅनाइट उपकरणे संक्षारक वातावरणाशी संपर्कात आल्या तर ते कालांतराने कमी होऊ शकते. यामुळे उपकरणे खराब होऊ शकतात किंवा योग्यरित्या कार्य करत नाहीत. हे टाळण्यासाठी, उत्पादकांनी हे सुनिश्चित केले पाहिजे की त्यांच्या उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या ग्रॅनाइटचा योग्य प्रकारे उपचार केला जातो आणि कोणत्याही गंज होण्यापासून रोखण्यासाठी लेपित केले जाते.

त्याच्या अंतर्निहित थर्मल गुणधर्मांमुळे ग्रॅनाइट देखील कालांतराने वॉर्पिंगची शक्यता आहे. हे असे आहे कारण ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचे अत्यंत कमी गुणांक आहे, म्हणजे तापमानात बदल झाल्यास ते विस्तृत किंवा जास्त संकुचित होत नाही. तथापि, अगदी थोड्या प्रमाणात विस्तार किंवा आकुंचन देखील वेळोवेळी उपकरणांमध्ये वॉर्पिंग करू शकते. हे दोष होण्यापासून रोखण्यासाठी उपकरणे निर्माता ग्रॅनाइटच्या थर्मल गुणधर्मांना त्यांच्या उपकरणांची रचना करताना विचारात घेणे महत्वाचे आहे.

शेवटी, ग्रॅनाइटच्या सच्छिद्र स्वभावामुळे दूषित होण्यास कारणीभूत ठरू शकते. जर ग्रॅनाइट योग्यरित्या सीलबंद नसेल तर ते वेफरच्या गुणवत्तेवर परिणाम करणारे दूषित पदार्थ शोषू शकते. यामुळे महागड्या डाउनटाइम आणि हरवलेल्या उत्पादनास कारणीभूत ठरू शकते. हे टाळण्यासाठी, कोणत्याही दूषित पदार्थांना शोषून घेण्यापासून रोखण्यासाठी उत्पादकांना ग्रॅनाइट योग्यरित्या सील करण्याची आवश्यकता आहे.

शेवटी, ग्रॅनाइट वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी एक उत्कृष्ट सामग्री आहे. तथापि, त्याच्या दोषांविषयी जागरूक असणे आणि त्यांना होण्यापासून रोखण्यासाठी आवश्यक खबरदारी घेणे महत्वाचे आहे. योग्य काळजी आणि देखभाल करून, ग्रॅनाइट उपकरणे बर्‍याच वर्षांपासून कार्य करत राहू शकतात, सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी उच्च-गुणवत्तेचे वेफर्स प्रदान करतात.