ग्रॅनाइट हा नैसर्गिकरित्या आढळणारा खडक आहे जो वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये बर्याच काळापासून वापरला जातो.हे कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि चांगली स्थिरता असण्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांसाठी ओळखले जाते.तथापि, सर्व सामग्रीप्रमाणे, ग्रॅनाइटचे स्वतःचे दोष आहेत जे वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या गुणवत्तेवर परिणाम करू शकतात.
ग्रॅनाइटच्या मुख्य दोषांपैकी एक म्हणजे त्याची क्रॅक किंवा तुटण्याची प्रवृत्ती.हे खडकाच्या निर्मिती दरम्यान उद्भवू शकणाऱ्या मायक्रोक्रॅक्सच्या उपस्थितीमुळे होते.जर हे मायक्रोक्रॅक्स ओळखले गेले नाहीत आणि योग्यरित्या उपचार केले गेले नाहीत तर ते प्रसारित होऊ शकतात आणि उपकरणे निकामी होऊ शकतात.हे होण्यापासून रोखण्यासाठी, प्रक्रिया उपकरण उत्पादकांनी उच्च-गुणवत्तेचे ग्रॅनाइट वापरणे आवश्यक आहे ज्यावर उपचार केले गेले आहेत आणि ते मायक्रोक्रॅकपासून मुक्त आहे याची खात्री करण्यासाठी चाचणी केली गेली आहे.
ग्रॅनाइटचा आणखी एक दोष म्हणजे त्याची गंज होण्याची संवेदनशीलता.ग्रॅनाइट उपकरणे संक्षारक वातावरणाच्या संपर्कात आल्यास, ते कालांतराने खराब होऊ शकतात.यामुळे उपकरणे खराब होऊ शकतात किंवा योग्यरित्या कार्य करू शकत नाहीत.हे टाळण्यासाठी, उत्पादकांनी त्यांच्या उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइटची योग्य प्रकारे प्रक्रिया केली गेली आहे आणि कोणत्याही प्रकारचे गंज येऊ नये म्हणून लेपित केले आहे याची खात्री करणे आवश्यक आहे.
ग्रॅनाइट त्याच्या अंगभूत थर्मल गुणधर्मांमुळे कालांतराने विकृत होण्याची शक्यता असते.याचे कारण असे की ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचे गुणांक खूप कमी असतो, याचा अर्थ तापमानात बदल होत असताना त्याचा विस्तार होत नाही किंवा जास्त आकुंचन होत नाही.तथापि, थोड्या प्रमाणात विस्तार किंवा आकुंचन देखील कालांतराने उपकरणांमध्ये विकृत होऊ शकते.हे दोष निर्माण होण्यापासून रोखण्यासाठी उपकरणे तयार करताना उपकरणे निर्मात्याने ग्रॅनाइटचे थर्मल गुणधर्म विचारात घेणे महत्त्वाचे आहे.
शेवटी, ग्रॅनाइटच्या सच्छिद्र स्वरूपामुळे दूषिततेची समस्या उद्भवू शकते.जर ग्रॅनाइट योग्यरित्या सील केलेले नसेल तर ते दूषित पदार्थ शोषून घेतात ज्यामुळे वेफरच्या गुणवत्तेवर परिणाम होऊ शकतो.यामुळे महाग डाउनटाइम आणि उत्पादन गमावले जाऊ शकते.हे टाळण्यासाठी, निर्मात्यांना कोणत्याही दूषित पदार्थांचे शोषण होण्यापासून रोखण्यासाठी ग्रॅनाइट योग्यरित्या सील करणे आवश्यक आहे.
शेवटी, वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी ग्रॅनाइट ही एक उत्कृष्ट सामग्री आहे.तथापि, त्याच्या दोषांबद्दल जागरूक असणे आणि ते होऊ नये म्हणून आवश्यक खबरदारी घेणे महत्वाचे आहे.योग्य काळजी आणि देखरेखीसह, ग्रॅनाइट उपकरणे अनेक वर्षे कार्यरत राहू शकतात, सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी उच्च-गुणवत्तेचे वेफर्स प्रदान करतात.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२७-२०२३