ग्रॅनाइट हा नैसर्गिकरित्या आढळणारा खडक आहे जो वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये बराच काळ वापरला जात आहे. तो कमी थर्मल विस्तार, उच्च कडकपणा आणि चांगली स्थिरता या उत्कृष्ट गुणधर्मांसाठी ओळखला जातो. तथापि, सर्व पदार्थांप्रमाणे, ग्रॅनाइटमध्येही काही दोष आहेत जे वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या गुणवत्तेवर परिणाम करू शकतात.
ग्रॅनाइटच्या प्रमुख दोषांपैकी एक म्हणजे त्याला भेगा पडण्याची किंवा तुटण्याची प्रवृत्ती. हे खडकाच्या निर्मितीदरम्यान उद्भवू शकणाऱ्या सूक्ष्म क्रॅकमुळे होते. जर हे सूक्ष्म क्रॅक ओळखून त्यावर योग्य उपचार केले नाहीत तर ते पसरू शकतात आणि उपकरणांच्या बिघाडाचे कारण बनू शकतात. हे होण्यापासून रोखण्यासाठी, प्रक्रिया उपकरणे उत्पादकांना उच्च दर्जाचे ग्रॅनाइट वापरणे आवश्यक आहे ज्यावर प्रक्रिया केली गेली आहे आणि ते सूक्ष्म क्रॅकपासून मुक्त आहे याची खात्री करणे आवश्यक आहे.
ग्रॅनाइटचा आणखी एक दोष म्हणजे त्याची गंजण्याची संवेदनशीलता. जर ग्रॅनाइट उपकरणे गंजणाऱ्या वातावरणाच्या संपर्कात आली तर ती कालांतराने खराब होऊ शकतात. यामुळे उपकरणे खराब होऊ शकतात किंवा योग्यरित्या कार्य करू शकत नाहीत. हे टाळण्यासाठी, उत्पादकांनी त्यांच्या उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइटवर योग्यरित्या प्रक्रिया केली आहे आणि त्यावर लेप लावला आहे याची खात्री करावी जेणेकरून कोणताही गंज येऊ नये.
ग्रॅनाइटमध्ये त्याच्या अंतर्निहित थर्मल गुणधर्मांमुळे कालांतराने विकृतीकरण होण्याची शक्यता असते. कारण ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचे गुणांक खूप कमी असते, म्हणजेच तापमानात बदल झाल्यास ते जास्त विस्तारत नाही किंवा आकुंचन पावत नाही. तथापि, थोड्या प्रमाणात विस्तार किंवा आकुंचन देखील कालांतराने उपकरणांमध्ये विकृतीकरण होऊ शकते. हा दोष उद्भवू नये म्हणून उपकरण उत्पादकाने त्यांची उपकरणे डिझाइन करताना ग्रॅनाइटचे थर्मल गुणधर्म विचारात घेणे महत्वाचे आहे.
शेवटी, ग्रॅनाइटच्या सच्छिद्र स्वरूपामुळे दूषिततेची समस्या उद्भवू शकते. जर ग्रॅनाइट योग्यरित्या सील केलेले नसेल, तर ते दूषित पदार्थ शोषून घेऊ शकते जे वेफरच्या गुणवत्तेवर परिणाम करू शकते. यामुळे महागडा डाउनटाइम होऊ शकतो आणि उत्पादन कमी होऊ शकते. हे टाळण्यासाठी, उत्पादकांनी ग्रॅनाइट योग्यरित्या सील करणे आवश्यक आहे जेणेकरून कोणतेही दूषित पदार्थ शोषले जाऊ नयेत.
शेवटी, वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी ग्रॅनाइट हे एक उत्कृष्ट साहित्य आहे. तथापि, त्याच्या दोषांबद्दल जागरूक असणे आणि ते होऊ नयेत म्हणून आवश्यक खबरदारी घेणे महत्वाचे आहे. योग्य काळजी आणि देखभालीसह, ग्रॅनाइट उपकरणे अनेक वर्षे कार्यरत राहू शकतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उद्योगासाठी उच्च-गुणवत्तेचे वेफर उपलब्ध होतात.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२७-२०२३