वेफर प्रोसेसिंग उपकरणे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेचा अविभाज्य भाग आहे. ही मशीन्स ग्रॅनाइट घटकांसह विविध घटकांची बनलेली आहेत. उत्कृष्ट स्थिरता आणि टिकाऊपणामुळे ग्रॅनाइट या घटकांसाठी एक आदर्श सामग्री आहे. तथापि, इतर कोणत्याही सामग्रीप्रमाणेच ग्रॅनाइट घटक दोषांना प्रवृत्त करतात जे वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांच्या कार्यक्षमतेवर आणि कार्यक्षमतेवर परिणाम करू शकतात. या लेखात, आम्ही वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमधील ग्रॅनाइट घटकांच्या काही सामान्य दोषांवर चर्चा करू.
1. क्रॅक:
ग्रॅनाइट घटकांमधील सर्वात सामान्य दोष म्हणजे क्रॅक. या क्रॅकचा परिणाम विविध घटकांमुळे होऊ शकतो, ज्यात तापमानातील भिन्नता, यांत्रिक तणाव, अयोग्य हाताळणी आणि अपुरी देखभाल यासह. क्रॅक ग्रॅनाइट घटकांची स्ट्रक्चरल अखंडता बिघडू शकतात, ज्यामुळे ते अपयशास अधिक संवेदनशील बनतात. शिवाय, तणाव एकाग्रतेसाठी संभाव्य साइट म्हणून क्रॅक कार्य करू शकतात, ज्यामुळे पुढील नुकसान होऊ शकते.
2. चिपिंग:
ग्रॅनाइट घटकांमध्ये उद्भवू शकणारा आणखी एक दोष म्हणजे चिपिंग. चिपिंगचा परिणाम अपघाती टक्कर, अयोग्य हाताळणी किंवा पोशाख आणि फाडण्यासारख्या विविध घटनांमुळे होऊ शकतो. चिप्ड ग्रॅनाइट घटकांमध्ये एक खडबडीत पृष्ठभाग आणि असमान कडा असू शकतात ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सचे नुकसान होऊ शकते. याउप्पर, चिपिंग घटकाच्या मितीय अचूकतेशी तडजोड करू शकते, ज्यामुळे उपकरणे खराब होणे आणि उत्पादन डाउनटाइम होते.
3. घाला आणि फाडणे:
सतत वापर आणि अपघर्षक सामग्रीचा सतत संपर्क केल्यास ग्रॅनाइट घटकांचा पोशाख आणि अश्रू येऊ शकतात. कालांतराने, पोशाख आणि फाडण्यामुळे वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांची कार्यक्षमता आणि कार्यक्षमता कमी होऊ शकते. याव्यतिरिक्त, यामुळे देखभाल खर्च आणि पुनर्स्थापनेच्या खर्चामध्ये वाढ होऊ शकते.
4. चुकीची नोंद:
मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेत आवश्यक अचूकता आणि सुसंगतता राखण्यासाठी वेफर प्रोसेसिंग टेबल्स आणि चक्स सारख्या ग्रॅनाइट घटकांना तंतोतंत संरेखित केले जाणे आवश्यक आहे. तथापि, चुकीची स्थापना, अयोग्य स्थापना, कंपनांचा संपर्क किंवा घटकांचे नुकसान यासारख्या विविध कारणांमुळे चुकीची नोंद होऊ शकते. चुकीच्या पद्धतीमुळे वेफर्सच्या निर्मितीमध्ये चुकीच्या गोष्टी होऊ शकतात, ज्यामुळे दोषपूर्ण उत्पादने होऊ शकतात.
5. गंज:
ग्रॅनाइट ही एक जड सामग्री आहे जी बहुतेक रसायने आणि सॉल्व्हेंट्सला प्रतिरोधक असते. तथापि, ids सिडस् किंवा अल्कलिससारख्या आक्रमक रसायनांच्या दीर्घकाळापर्यंत संपर्कामुळे ग्रॅनाइट घटकांचे गंज होऊ शकते. गंजमुळे पृष्ठभाग पिटिंग, डिस्कोलोरेशन किंवा मितीय अचूकतेचे नुकसान होऊ शकते.
निष्कर्ष:
वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांच्या स्थिरता आणि विश्वासार्हतेसाठी ग्रॅनाइट घटक गंभीर आहेत. तथापि, क्रॅक, चिपिंग, पोशाख आणि अश्रू, चुकीच्या पद्धतीने आणि गंज यासारखे दोष या घटकांची कार्यक्षमता आणि कार्यक्षमता खराब करू शकतात. योग्य देखभाल, पुरेशी हाताळणी आणि नियमित तपासणी या दोषांचा परिणाम रोखण्यास आणि कमी करण्यास मदत करू शकते. या दोषांना प्रभावीपणे संबोधित करून, आम्ही या गंभीर घटकांचे सतत ऑपरेशन सुनिश्चित करू शकतो आणि वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांची गुणवत्ता आणि अचूकता राखू शकतो.
पोस्ट वेळ: जाने -02-2024