अचूक हायड्रोस्टॅटिक एअर फ्लोटिंग मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्मचे "अदृश्य ढाल": ग्रॅनाइट अचूक बेसच्या कडक पर्यावरणीय आवश्यकता.

उच्च दर्जाच्या उत्पादन आणि अत्याधुनिक वैज्ञानिक संशोधनाच्या क्षेत्रात, अति-परिशुद्धता ऑपरेशन साध्य करण्यासाठी अचूक स्थिर दाब एअर फ्लोटिंग मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्म हे प्रमुख उपकरण आहे. ग्रॅनाइट अचूकता बेस हा प्लॅटफॉर्मचा मुख्य आधारभूत भाग आहे आणि त्याची कार्यक्षमता कार्यरत वातावरणाशी जवळून संबंधित आहे. या पर्यावरणीय आवश्यकता समजून घेणे आणि त्यांची पूर्तता करणे केवळ प्लॅटफॉर्मचे उच्च-परिशुद्धता ऑपरेशन सुनिश्चित करू शकत नाही, तर संबंधित क्षेत्रांमध्ये त्याची स्पर्धात्मकता वाढविण्यासाठी एंटरप्राइझचा एक महत्त्वाचा भाग देखील आहे, ज्याचे खाली तपशीलवार वर्णन केले आहे.

१. तापमान: मितीय स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी अचूक नियंत्रण
जरी ग्रॅनाइट त्याच्या स्थिरतेसाठी ओळखले जाते, तरी त्याचा थर्मल विस्तार गुणांक शून्य नाही आणि तापमानात लहान बदल त्याच्या मितीय अचूकतेवर परिणाम करू शकतात. सर्वसाधारणपणे, ग्रॅनाइटचा थर्मल विस्तार गुणांक 5-7 ×10⁻⁶/℃ आहे. अचूक स्थिर दाब हवेच्या तरंगत्या हालचाली प्लॅटफॉर्मच्या अनुप्रयोग परिस्थितीत, हा थोडासा बदल प्लॅटफॉर्मद्वारे वाढविला जातो, ज्यामुळे हालचाली अचूकतेचे विचलन होऊ शकते. उदाहरणार्थ, सेमीकंडक्टर चिप उत्पादन प्रक्रियेत, दानामी पातळीच्या स्थिती अचूकतेच्या आवश्यकतांसाठी लिथोग्राफी प्रक्रिया, 1 ° C चे वातावरणीय तापमान चढउतार, 1 मीटर ग्रॅनाइट बेसची बाजूची लांबी 5-7 मायक्रॉन रेषीय विस्तार किंवा आकुंचन निर्माण करू शकते, जे चिप लिथोग्राफी पॅटर्न विचलन करण्यासाठी पुरेसे आहे, उत्पन्न कमी करते. म्हणून, ग्रॅनाइट प्रिसिजन बेससह सुसज्ज असलेले अचूक स्थिर दाब एअर फ्लोटिंग प्लॅटफॉर्म, आदर्श कार्यरत वातावरणाचे तापमान 20 ° C ± 1 ° C वर काटेकोरपणे नियंत्रित केले पाहिजे, उपक्रम उच्च-परिशुद्धता स्थिर तापमान वातानुकूलन प्रणाली स्थापित करू शकतात, सतत निरीक्षण करू शकतात आणि सभोवतालच्या तापमानाचे अचूकपणे समायोजन करू शकतात, ग्रॅनाइट बेस स्थिरतेचा आकार राखू शकतात, जेणेकरून प्लॅटफॉर्म उच्च-परिशुद्धता ऑपरेशन सुनिश्चित करेल.
२.आर्द्रता: वाजवी नियंत्रण, बेस कामगिरीचे संरक्षण करा
आर्द्रतेचा अचूक ग्रॅनाइट बेसवरही लक्षणीय परिणाम होतो. उच्च आर्द्रतेच्या वातावरणात, ग्रॅनाइट पाण्याची वाफ सहजपणे शोषून घेते आणि पृष्ठभागावर संक्षेपण होऊ शकते, ज्यामुळे केवळ एअर फ्लोटेशन सिस्टमच्या सामान्य ऑपरेशनमध्ये व्यत्यय येणार नाही तर ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची दीर्घकालीन धूप देखील होईल, ज्यामुळे त्याची अचूकता आणि सेवा आयुष्य कमी होईल. ऑप्टिकल लेन्स ग्राइंडिंग वर्कशॉपचे उदाहरण घ्या, जर आर्द्रता दीर्घकाळ 60%RH पेक्षा जास्त असेल, तर ग्रॅनाइट बेसच्या पृष्ठभागावर शोषलेली पाण्याची वाफ एअर फ्लोट फिल्मची एकरूपता नष्ट करेल, परिणामी लेन्स ग्राइंडिंग अचूकता कमी होईल आणि पृष्ठभागावरील दोष कमी होतील. म्हणून, कार्यरत वातावरणाची सापेक्ष आर्द्रता 40%-60%RH दरम्यान नियंत्रित करणे आवश्यक आहे. एंटरप्रायझेस रिअल टाइममध्ये आर्द्रतेचे निरीक्षण आणि नियंत्रण करण्यासाठी, अचूक ग्रॅनाइट बेससाठी योग्य आर्द्रता वातावरण तयार करण्यासाठी आणि अचूक स्थिर दाब एअर फ्लोटिंग मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्मचे स्थिर ऑपरेशन सुनिश्चित करण्यासाठी डिह्युमिडिफायर्स, आर्द्रता सेन्सर्स आणि इतर उपकरणे वापरू शकतात.

३. स्वच्छता: काटेकोरपणे नियंत्रण ठेवा, कणांचा हस्तक्षेप दूर करा
धुळीचे कण हे अचूक स्थिर दाब हवेच्या तरंगत्या हालचाली प्लॅटफॉर्मचे "शत्रू" आहेत आणि ग्रॅनाइट अचूक बेसला खूप नुकसान करतात. एकदा लहान कण गॅस फ्लोट स्लायडर आणि ग्रॅनाइट बेसमधील गॅस फिल्म गॅपमध्ये प्रवेश केले की, ते गॅस फिल्मची एकरूपता नष्ट करू शकतात, घर्षण वाढवू शकतात आणि बेसच्या पृष्ठभागावर स्क्रॅच देखील करू शकतात, ज्यामुळे प्लॅटफॉर्मच्या हालचालीच्या अचूकतेवर गंभीर परिणाम होतो. एरोस्पेस पार्ट्सच्या अल्ट्रा-प्रिसिजन मशीनिंग वर्कशॉपमध्ये, जर हवेतील धूळ कण ग्रॅनाइट बेसवर पडले तर मशीनिंग टूलचा गती मार्ग विचलित होऊ शकतो, ज्यामुळे भागांच्या मशीनिंग अचूकतेवर परिणाम होतो. म्हणून, कार्य क्षेत्र अत्यंत स्वच्छ ठेवले पाहिजे आणि 10,000 किंवा त्याहून अधिक स्वच्छता मानक गाठले पाहिजे. उपक्रम उच्च कार्यक्षमता एअर फिल्टर (HEPA) स्थापित करून हवेतील धूळ कण फिल्टर करू शकतात आणि मानवांनी आणलेली धूळ कमी करण्यासाठी आणि ग्रॅनाइट बेस आणि अचूक स्थिर दाब एअर फ्लोटिंग मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्मचे उच्च-परिशुद्धता ऑपरेटिंग वातावरण राखण्यासाठी कर्मचाऱ्यांना धूळमुक्त कपडे, शू कव्हर इत्यादी घालण्याची आवश्यकता असते.
४. कंपन: गुळगुळीत जागा तयार करण्यासाठी प्रभावी अलगाव
बाह्य कंपनामुळे अचूक स्थिर दाब हवेच्या तरंगत्या प्लॅटफॉर्मच्या अचूकतेमध्ये गंभीरपणे व्यत्यय येईल, जरी अचूक ग्रॅनाइट बेसमध्ये विशिष्ट कंपन क्षीणन क्षमता असते, परंतु उच्च शक्तीचे कंपन अजूनही त्याची बफर मर्यादा ओलांडू शकते. कारखान्याभोवतीच्या वाहतुकीमुळे आणि मोठ्या यांत्रिक उपकरणांच्या ऑपरेशनमुळे निर्माण होणारे कंपन जमिनीवरून ग्रॅनाइट बेसमध्ये प्रसारित केले जाते, जे प्लॅटफॉर्मच्या हालचालीच्या अचूकतेमध्ये व्यत्यय आणेल. उच्च-श्रेणीच्या CMM मध्ये, कंपनामुळे मापन प्रोब आणि मोजमाप केलेल्या वर्कपीसमधील संपर्क अस्थिर होऊ शकतो, ज्यामुळे मापन डेटाचे विचलन होऊ शकते. या समस्येचे निराकरण करण्यासाठी, प्रभावी कंपन अलगाव उपायांचा अवलंब करणे आवश्यक आहे, जसे की उपकरण स्थापना क्षेत्रात कंपन अलगाव पॅड घालणे, कंपन अलगाव पाया तयार करणे किंवा बाह्य कंपन सक्रियपणे ऑफसेट करण्यासाठी सक्रिय कंपन अलगाव प्रणाली वापरणे आणि ग्रॅनाइट अचूकता बेस आणि अचूक स्थिर दाब हवेच्या तरंगत्या हालचाली प्लॅटफॉर्मसाठी शांत आणि स्थिर कार्य वातावरण तयार करणे.
वरील पर्यावरणीय आवश्यकता पूर्ण करा, जेणेकरून अचूक स्थिर दाब एअर फ्लोटिंग मूव्हमेंट प्लॅटफॉर्ममध्ये ग्रॅनाइट प्रिसिजन बेसच्या फायद्यांना पूर्ण खेळ मिळेल, जेणेकरून प्लॅटफॉर्म विविध उद्योगांसाठी उच्च-परिशुद्धता आणि उच्च-स्थिरता गती नियंत्रण सेवा प्रदान करेल याची खात्री होईल. जर उद्योग उत्पादन वातावरणात या तपशीलांकडे लक्ष देऊ शकतील, तर ते अचूक उत्पादन, वैज्ञानिक संशोधन आणि इतर क्षेत्रात संधीचा फायदा घेतील, त्यांची स्पर्धात्मकता वाढवतील आणि शाश्वत विकास साध्य करतील.