अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मिती आणि डिझाइनमध्ये ग्रॅनाइटचा मोठ्या प्रमाणावर वापर केला जात आहे.हे त्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांमुळे आहे, जे अनेक अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवते.ग्रॅनाइट परिधान, गंज आणि थर्मल शॉकसाठी अत्यंत प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ते कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनते.या लेखात, आम्ही अर्धसंवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटच्या काही सामान्य अनुप्रयोगांवर चर्चा करू.
1. मेट्रोलॉजी उपकरणे
सेमीकंडक्टर उपकरणांची परिमाणे आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी मेट्रोलॉजी उपकरणे वापरली जातात.उच्च मितीय स्थिरतेमुळे अशा उपकरणांचा आधार म्हणून ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो.ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटता आणि अचूकता अचूक मोजमापांसाठी एक आदर्श संदर्भ प्रदान करते.याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटची थर्मल स्थिरता तापमान भिन्नतेमुळे मितीय बदलांचा धोका कमी करते.
2. ऑप्टिकल उपकरणे
ग्रॅनाइटचा वापर लिथोग्राफी मशीनसारख्या ऑप्टिकल उपकरणांमध्येही केला जातो, ज्याचा वापर अर्धसंवाहक उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये केला जातो.ग्रॅनाइट बेस या मशीन्समध्ये वापरल्या जाणाऱ्या उच्च-परिशुद्धता ऑप्टिक्ससाठी एक स्थिर व्यासपीठ प्रदान करतो.ग्रॅनाइटचे उत्कृष्ट कंपन ओलसर करणारे गुणधर्म देखील कंपन कमी करण्यास मदत करतात ज्यामुळे ऑप्टिक्सची कार्यक्षमता आणि अचूकता प्रभावित होऊ शकते.
3. वेफर प्रक्रिया उपकरणे
सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेमध्ये साफसफाई, कोरीव काम आणि जमा करणे यासह अनेक चरणांचा समावेश होतो.वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या अनेक घटकांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो.उदाहरणार्थ, ग्रॅनाइटचा वापर रासायनिक वाष्प संचय (CVD) उपकरणांसाठी सब्सट्रेट म्हणून केला जातो, ज्याचा वापर सिलिकॉन वेफर्सवर पातळ फिल्म्स जमा करण्यासाठी केला जातो.ग्रॅनाइटचा वापर एचिंग चेंबर्स आणि इतर प्रक्रिया वाहिन्यांच्या बांधकामात देखील केला जातो, जेथे त्याचे उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि मितीय स्थिरता आवश्यक आहे.
4. चाचणी उपकरणे
सेमीकंडक्टर उपकरणांची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता तपासण्यासाठी चाचणी उपकरणे वापरली जातात.उच्च कडकपणा आणि स्थिरतेमुळे ग्रॅनाइटचा वापर चाचणी उपकरणांसाठी आधार म्हणून केला जातो.ग्रॅनाइट एक नॉन-चुंबकीय आणि गैर-वाहक प्लॅटफॉर्म प्रदान करते जे संवेदनशील चाचणी उपकरणांमधील हस्तक्षेप दूर करते.ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटता आणि अचूकता अत्यंत अचूक चाचणी परिणामांसाठी अनुमती देते.
निष्कर्ष
शेवटी, सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या डिझाइन आणि निर्मितीमध्ये ग्रॅनाइट ही एक महत्त्वाची सामग्री आहे.मितीय स्थिरता, थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि कंपन ओलावणे यासह त्याचे उत्कृष्ट गुणधर्म अनेक अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवतात.मेट्रोलॉजी उपकरणे, ऑप्टिकल उपकरणे, वेफर प्रक्रिया उपकरणे आणि चाचणी उपकरणांसह सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या अनेक महत्त्वपूर्ण घटकांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो.वेगवान, लहान आणि अधिक शक्तिशाली सेमीकंडक्टर उपकरणांची मागणी वाढत असल्याने, सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर आवश्यक राहण्याची शक्यता आहे.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०८-२०२४