ग्रॅनाइटचा वापर अनेक वर्षांपासून अर्धवाहक उपकरणांच्या निर्मिती आणि डिझाइनमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जात आहे. हे त्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांमुळे आहे, ज्यामुळे ते अनेक अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श साहित्य बनते. ग्रॅनाइट झीज, गंज आणि थर्मल शॉकसाठी अत्यंत प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ते कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनते. या लेखात, आपण अर्धवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटच्या काही सामान्य अनुप्रयोगांवर चर्चा करू.
१. मेट्रोलॉजी उपकरणे
अर्धवाहक उपकरणांचे परिमाण आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी मेट्रोलॉजी उपकरणे वापरली जातात. उच्च मितीय स्थिरतेमुळे ग्रॅनाइटचा वापर अशा उपकरणांसाठी आधार म्हणून केला जातो. ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटपणा आणि अचूकता अचूक मोजमापांसाठी एक आदर्श संदर्भ प्रदान करते. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटची थर्मल स्थिरता तापमानातील फरकांमुळे मितीय बदलांचा धोका कमी करते.
२. ऑप्टिकल उपकरणे
ग्रॅनाइटचा वापर लिथोग्राफी मशीनसारख्या ऑप्टिकल उपकरणांमध्ये देखील केला जातो, ज्याचा वापर सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये केला जातो. ग्रॅनाइट बेस या मशीनमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या उच्च-परिशुद्धता ऑप्टिक्ससाठी एक स्थिर प्लॅटफॉर्म प्रदान करतो. ग्रॅनाइटचे उत्कृष्ट कंपन डॅम्पनिंग गुणधर्म ऑप्टिक्सच्या कामगिरी आणि अचूकतेवर परिणाम करू शकणारे कंपन कमी करण्यास देखील मदत करतात.
३. वेफर प्रक्रिया उपकरणे
सेमीकंडक्टर वेफर प्रक्रियेमध्ये अनेक टप्पे असतात, ज्यामध्ये साफसफाई, एचिंग आणि डिपॉझिशन समाविष्ट असते. वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या अनेक घटकांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो. उदाहरणार्थ, ग्रॅनाइटचा वापर रासायनिक वाष्प डिपॉझिशन (CVD) उपकरणांसाठी सब्सट्रेट म्हणून केला जातो, जो सिलिकॉन वेफर्सवर पातळ फिल्म्स जमा करण्यासाठी वापरला जातो. ग्रॅनाइटचा वापर एचिंग चेंबर्स आणि इतर प्रक्रिया वाहिन्यांच्या बांधकामात देखील केला जातो, जिथे त्याचा उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि मितीय स्थिरता आवश्यक असते.
४. चाचणी उपकरणे
अर्धवाहक उपकरणांची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता पडताळण्यासाठी चाचणी उपकरणे वापरली जातात. उच्च कडकपणा आणि स्थिरतेमुळे ग्रॅनाइट बहुतेकदा चाचणी उपकरणांसाठी आधार म्हणून वापरला जातो. ग्रॅनाइट एक गैर-चुंबकीय आणि गैर-वाहकीय प्लॅटफॉर्म प्रदान करतो जो संवेदनशील चाचणी उपकरणांमधील हस्तक्षेप दूर करतो. ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटपणा आणि अचूकता अत्यंत अचूक चाचणी निकालांना अनुमती देते.
निष्कर्ष
शेवटी, ग्रॅनाइट हे अर्धवाहक उपकरणांच्या डिझाइन आणि निर्मितीमध्ये एक महत्त्वाचे साहित्य आहे. त्याचे उत्कृष्ट गुणधर्म, ज्यामध्ये मितीय स्थिरता, थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि कंपन कमी करणे यांचा समावेश आहे, ते अनेक अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श साहित्य बनवतात. ग्रॅनाइटचा वापर अर्धवाहक उपकरणांच्या अनेक महत्त्वाच्या घटकांमध्ये केला जातो, ज्यामध्ये मेट्रोलॉजी उपकरणे, ऑप्टिकल उपकरणे, वेफर प्रक्रिया उपकरणे आणि चाचणी उपकरणे यांचा समावेश आहे. जलद, लहान आणि अधिक शक्तिशाली अर्धवाहक उपकरणांची मागणी वाढत असताना, अर्धवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर आवश्यक राहण्याची शक्यता आहे.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०८-२०२४