सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचे सामान्य अनुप्रयोग काय आहेत?

अनेक वर्षांपासून सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या उत्पादन आणि डिझाइनमध्ये ग्रॅनाइटचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला जात आहे. हे त्याच्या उत्कृष्ट गुणधर्मांमुळे आहे, जे बर्‍याच अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवते. ग्रॅनाइट परिधान, गंज आणि थर्मल शॉकसाठी अत्यंत प्रतिरोधक आहे, जे कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी योग्य बनवते. या लेखात आम्ही सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील ग्रॅनाइटच्या काही सामान्य अनुप्रयोगांवर चर्चा करू.

1. मेट्रोलॉजी उपकरणे

सेमीकंडक्टर उपकरणांचे परिमाण आणि गुणधर्म मोजण्यासाठी मेट्रोलॉजी उपकरणे वापरली जातात. उच्च आयामी स्थिरतेमुळे ग्रॅनाइट बर्‍याचदा अशा उपकरणांसाठी बेस म्हणून वापरला जातो. ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटपणा आणि सुस्पष्टता अचूक मोजमापांसाठी एक आदर्श संदर्भ प्रदान करते. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइटची थर्मल स्थिरता तापमानातील बदलांमुळे आयामी बदलांचा धोका कमी करते.

2. ऑप्टिकल उपकरणे

सेमीकंडक्टर डिव्हाइसच्या फॅब्रिकेशनमध्ये वापरल्या जाणार्‍या लिथोग्राफी मशीनसारख्या ऑप्टिकल उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट देखील वापरला जातो. या मशीनमध्ये वापरल्या जाणार्‍या उच्च-परिशुद्धता ऑप्टिक्ससाठी ग्रॅनाइट बेस एक स्थिर व्यासपीठ प्रदान करते. ग्रॅनाइटचे उत्कृष्ट कंपन ओलसर गुणधर्म देखील ऑप्टिक्सच्या कार्यक्षमतेवर आणि अचूकतेवर परिणाम करू शकणार्‍या कंपन कमी करण्यास मदत करतात.

3. वेफर प्रोसेसिंग उपकरणे

सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंगमध्ये साफसफाई, एचिंग आणि जमा यासह अनेक चरणांचा समावेश आहे. ग्रॅनाइटचा वापर वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांच्या अनेक घटकांमध्ये केला जातो. उदाहरणार्थ, ग्रॅनाइटचा वापर केमिकल वाष्प जमा (सीव्हीडी) उपकरणांसाठी सब्सट्रेट म्हणून केला जातो, जो सिलिकॉन वेफर्सवर पातळ चित्रपट जमा करण्यासाठी केला जातो. ग्रॅनाइटचा वापर एचिंग चेंबर आणि इतर प्रक्रिया जहाजांच्या बांधकामात देखील केला जातो, जेथे त्याचे उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकार आणि मितीय स्थिरता आवश्यक आहे.

4. चाचणी उपकरणे

अर्धसंवाहक उपकरणांची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता सत्यापित करण्यासाठी चाचणी उपकरणे वापरली जातात. उच्च कठोरता आणि स्थिरतेमुळे ग्रॅनाइट बहुतेक वेळा चाचणी उपकरणांसाठी बेस म्हणून वापरला जातो. ग्रॅनाइट एक नॉन-मॅग्नेटिक आणि नॉन-कंडक्टिव्ह प्लॅटफॉर्म प्रदान करते जे संवेदनशील चाचणी उपकरणांमध्ये हस्तक्षेप दूर करते. ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटपणा आणि सुस्पष्टता अत्यंत अचूक चाचणी परिणामास अनुमती देते.

निष्कर्ष

शेवटी, सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या डिझाइन आणि उत्पादनात ग्रॅनाइट ही एक महत्त्वपूर्ण सामग्री आहे. आयामी स्थिरता, थर्मल स्थिरता, रासायनिक प्रतिकार आणि कंपन ओलसरपणासह त्याचे उत्कृष्ट गुणधर्म बर्‍याच अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवतात. मेट्रोलॉजी उपकरणे, ऑप्टिकल उपकरणे, वेफर प्रोसेसिंग उपकरणे आणि चाचणी उपकरणे यासह सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या अनेक गंभीर घटकांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर केला जातो. वेगवान, लहान आणि अधिक शक्तिशाली सेमीकंडक्टर उपकरणांची मागणी वाढत असताना, सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचा वापर आवश्यक राहण्याची शक्यता आहे.