इलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या निर्मिती प्रक्रियेत वेफर प्रक्रिया उपकरणे हे एक आवश्यक साधन आहे. उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान स्थिरता आणि अचूकता सुनिश्चित करण्यासाठी उपकरणे ग्रॅनाइट घटकांचा वापर करतात. ग्रॅनाइट हा नैसर्गिकरित्या आढळणारा खडक आहे ज्यामध्ये उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणधर्म आहेत, ज्यामुळे ते वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरण्यासाठी एक आदर्श सामग्री बनते. या लेखात, आपण वेफर प्रक्रिया उपकरणे ग्रॅनाइट घटकांच्या कामकाजाच्या वातावरणावरील आवश्यकता आणि कामकाजाचे वातावरण कसे राखायचे ते पाहू.
कार्यरत वातावरणात वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या ग्रॅनाइट घटकांच्या आवश्यकता
१. तापमान नियंत्रण
वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांना त्यांची अचूकता राखण्यासाठी स्थिर कार्यरत वातावरणाची आवश्यकता असते. ग्रॅनाइट घटकांचा विस्तार किंवा आकुंचन होऊ नये यासाठी कार्यरत वातावरण एका विशिष्ट तापमान श्रेणीत राखले पाहिजे. तापमानातील चढउतारांमुळे ग्रॅनाइट घटकांचा विस्तार किंवा आकुंचन होऊ शकतो, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान चुका होऊ शकतात.
२. स्वच्छता
वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या ग्रॅनाइट घटकांना स्वच्छ कामकाजाचे वातावरण आवश्यक असते. कामकाजाच्या वातावरणातील हवा उपकरणांना दूषित करू शकणाऱ्या कणांपासून मुक्त असावी. हवेतील कण ग्रॅनाइट घटकांवर स्थिरावू शकतात आणि उत्पादन प्रक्रियेत व्यत्यय आणू शकतात. कामकाजाचे वातावरण धूळ, मोडतोड आणि उपकरणांच्या अचूकतेवर परिणाम करू शकणाऱ्या इतर दूषित घटकांपासून देखील मुक्त असले पाहिजे.
३. आर्द्रता नियंत्रण
उच्च आर्द्रतेमुळे वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या ग्रॅनाइट घटकांमध्ये समस्या उद्भवू शकतात. ग्रॅनाइट सच्छिद्र आहे आणि सभोवतालच्या वातावरणातून ओलावा शोषू शकतो. उच्च आर्द्रतेच्या पातळीमुळे ग्रॅनाइट घटक फुगू शकतात, ज्यामुळे उपकरणांच्या अचूकतेवर परिणाम होऊ शकतो. ही समस्या टाळण्यासाठी कामाचे वातावरण 40-60% च्या दरम्यान आर्द्रता पातळीवर राखले पाहिजे.
४. कंपन नियंत्रण
वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये वापरले जाणारे ग्रॅनाइट घटक कंपनांना अत्यंत संवेदनशील असतात. कंपनांमुळे ग्रॅनाइट घटक हलू शकतात, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान चुका होऊ शकतात. ही समस्या टाळण्यासाठी कामाचे वातावरण जड यंत्रसामग्री आणि रहदारीसारख्या कंपन स्रोतांपासून मुक्त असले पाहिजे.
कामाचे वातावरण कसे राखायचे
१. तापमान नियंत्रण
वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी कार्यरत वातावरणात स्थिर तापमान राखणे अत्यंत महत्त्वाचे आहे. उत्पादकाने निर्दिष्ट केलेल्या मर्यादेत तापमान राखले पाहिजे. उपकरणे स्थिर वातावरणात चालतील याची खात्री करण्यासाठी एअर कंडिशनिंग युनिट्स, इन्सुलेशन आणि तापमान निरीक्षण प्रणाली स्थापित करून हे साध्य करता येते.
२. स्वच्छता
वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या योग्य कार्यासाठी स्वच्छ कामकाजाचे वातावरण राखणे आवश्यक आहे. धूळ आणि कण जमा होऊ नयेत म्हणून एअर फिल्टर नियमितपणे बदलले पाहिजेत आणि एअर डक्ट नियमितपणे स्वच्छ केले पाहिजेत. कचरा जमा होऊ नये म्हणून फरशी आणि पृष्ठभाग दररोज स्वच्छ केले पाहिजेत.
३. आर्द्रता नियंत्रण
वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या योग्य कार्यासाठी स्थिर आर्द्रता पातळी राखणे आवश्यक आहे. आवश्यक आर्द्रता पातळी राखण्यासाठी डिह्युमिडिफायर वापरता येते. कार्यरत वातावरणात आर्द्रता पातळीचे निरीक्षण करण्यासाठी आर्द्रता सेन्सर देखील स्थापित केले जाऊ शकतात.
४. कंपन नियंत्रण
वेफर प्रक्रिया उपकरणांवर कंपनांचा परिणाम होऊ नये म्हणून, कामाचे वातावरण कंपन स्रोतांपासून मुक्त असले पाहिजे. जड यंत्रसामग्री आणि वाहतूक उत्पादन क्षेत्रापासून दूर असावी. उद्भवू शकणारे कोणतेही कंपन शोषण्यासाठी कंपन डॅम्पनिंग सिस्टम देखील स्थापित केले जाऊ शकतात.
शेवटी, वेफर प्रक्रिया उपकरणांच्या ग्रॅनाइट घटकांना उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान अचूकता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी स्थिर आणि नियंत्रित कार्य वातावरण आवश्यक असते. उपकरणांचे योग्य कार्यप्रदर्शन राखण्यासाठी तापमान नियंत्रण, स्वच्छता, आर्द्रता नियंत्रण आणि कंपन नियंत्रण आवश्यक आहे. उपकरणांच्या कार्यप्रदर्शनावर परिणाम करणाऱ्या कोणत्याही समस्या टाळण्यासाठी कामकाजाच्या वातावरणाची नियमित देखभाल आणि देखरेख करणे अत्यंत महत्त्वाचे आहे. या मार्गदर्शक तत्त्वांचे पालन करून, उत्पादक त्यांच्या वेफर प्रक्रिया उपकरणांची कार्यक्षमता जास्तीत जास्त वाढवू शकतात आणि उच्च-गुणवत्तेचे इलेक्ट्रॉनिक घटक तयार करू शकतात.
पोस्ट वेळ: जानेवारी-०२-२०२४