सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील ग्रॅनाइट घटकांसाठी मानके आणि वैशिष्ट्ये काय आहेत?

सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये त्यांच्या उच्च स्थिरता आणि टिकाऊपणामुळे ग्रॅनाइट घटक मोठ्या प्रमाणात वापरले जातात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेची अचूकता आणि अचूकता राखण्यासाठी ते जबाबदार आहेत. तथापि, ग्रॅनाइट घटकांची प्रभावीता आणि विश्वासार्हता त्यांच्या डिझाइन, फॅब्रिकेशन आणि स्थापनेदरम्यान कायम असलेल्या मानक आणि वैशिष्ट्यांवर अवलंबून असते.

सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट घटक वापरताना काही मानके आणि वैशिष्ट्ये खालीलप्रमाणे आहेत:

1. सामग्रीची घनता: ग्रॅनाइट घटकांच्या निर्मितीमध्ये वापरल्या जाणार्‍या ग्रॅनाइट सामग्रीची घनता सुमारे 2.65 ग्रॅम/सेमी 3 असावी. हे नैसर्गिक ग्रॅनाइट सामग्रीची घनता आहे आणि ते ग्रॅनाइट घटकांच्या गुणधर्मांमध्ये सुसंगतता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

२. सपाटपणा: सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या ग्रॅनाइट घटकांसाठी फ्लॅटनेस सर्वात महत्त्वपूर्ण वैशिष्ट्यांपैकी एक आहे. ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटपणा 0.001 मिमी/एम 2 च्या खाली असावी. हे सुनिश्चित करते की घटकाची पृष्ठभाग सपाट आणि पातळी आहे, जी सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी आवश्यक आहे.

. हे सुनिश्चित करते की ग्रॅनाइट घटकाच्या पृष्ठभागामध्ये घर्षण कमी गुणांक आहे, जे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या गुळगुळीत ऑपरेशनसाठी गंभीर आहे.

4. थर्मल एक्सपेंशन गुणांक: सेमीकंडक्टर उपकरणे वेगवेगळ्या तापमानात कार्य करतात आणि ग्रॅनाइट घटक विकृतीशिवाय थर्मल चढउतारांना प्रतिकार करण्यास सक्षम असावेत. सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या ग्रॅनाइटचे थर्मल विस्तार गुणांक 2 x 10^-6 /° से.

5. डायमेंशनल सहिष्णुता: ग्रॅनाइट घटकांच्या कामगिरीसाठी मितीय सहनशीलता महत्त्वपूर्ण आहे. सर्व गंभीर परिमाणांसाठी ग्रॅनाइट घटकांची मितीय सहनशीलता ± 0.1 मिमीच्या आत असावी.

6. कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार: सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या ग्रॅनाइट घटकांसाठी कठोरता आणि पोशाख प्रतिकार आवश्यक वैशिष्ट्ये आहेत. ग्रॅनाइटमध्ये एमओएचएस स्केल 6-7 ची ​​कडकपणा आहे, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणे अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य सामग्री बनते.

. विद्युत प्रतिकार 10^9 ω/सेमीपेक्षा जास्त असावा.

8. रासायनिक प्रतिकार: ग्रॅनाइट घटक सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये वापरल्या जाणार्‍या सामान्य रसायनांना प्रतिरोधक असावेत, जसे की ids सिडस् आणि अल्कलिस.

निष्कर्षानुसार, सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणार्‍या ग्रॅनाइट घटकांसाठी मानके आणि वैशिष्ट्ये महत्त्वपूर्ण आहेत जेणेकरून ते घटक आणि त्या वापरल्या जाणार्‍या उपकरणांची दीर्घायुष्य आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करा. वरील मार्गदर्शक तत्त्वे डिझाइन, फॅब्रिकेशन आणि स्थापना प्रक्रियेदरम्यान काटेकोरपणे पाळले पाहिजेत की घटक उच्चतम गुणवत्तेचे आहेत. या मानक आणि वैशिष्ट्यांचे अनुसरण करून, सेमीकंडक्टर उत्पादक हे सुनिश्चित करू शकतात की त्यांच्या उपकरणांची कार्यक्षमता इष्टतम आहे, ज्यामुळे उत्पादकता आणि नफा वाढू शकेल.