सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट घटकांसाठी मानके आणि वैशिष्ट्ये काय आहेत?

उच्च स्थिरता आणि टिकाऊपणामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट घटक मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेची अचूकता आणि अचूकता राखण्यासाठी ते जबाबदार आहेत.तथापि, ग्रॅनाइट घटकांची परिणामकारकता आणि विश्वासार्हता त्यांच्या डिझाइन, फॅब्रिकेशन आणि स्थापनेदरम्यान पाळल्या जाणाऱ्या मानकांवर आणि वैशिष्ट्यांवर अवलंबून असते.

सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट घटक वापरताना खालील काही मानके आणि वैशिष्ट्यांचे पालन करणे आवश्यक आहे:

1. सामग्रीची घनता: ग्रॅनाइट घटकांच्या निर्मितीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट सामग्रीची घनता सुमारे 2.65g/cm3 असावी.ही नैसर्गिक ग्रॅनाइट सामग्रीची घनता आहे आणि ते ग्रॅनाइट घटकांच्या गुणधर्मांमध्ये सुसंगतता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.

2. सपाटपणा: सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांसाठी सपाटपणा हे सर्वात महत्त्वपूर्ण वैशिष्ट्यांपैकी एक आहे.ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटता 0.001 मिमी/मी 2 च्या खाली असावी.हे सुनिश्चित करते की घटकाची पृष्ठभाग सपाट आणि सपाट आहे, जे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी आवश्यक आहे.

3. सरफेस फिनिश: ग्रॅनाइट घटकांची पृष्ठभागाची समाप्ती उच्च दर्जाची असावी, पृष्ठभागाची खडबडी 0.4µm पेक्षा कमी असावी.हे सुनिश्चित करते की ग्रॅनाइट घटकाच्या पृष्ठभागावर घर्षण कमी गुणांक आहे, जे सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या सुरळीत ऑपरेशनसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.

4. थर्मल विस्तार गुणांक: सेमीकंडक्टर उपकरणे वेगवेगळ्या तापमानांवर चालतात आणि ग्रॅनाइट घटक विकृतीशिवाय थर्मल चढउतार सहन करण्यास सक्षम असावेत.सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइटचा थर्मल विस्तार गुणांक 2 x 10^-6 /°C च्या खाली असावा.

5. आयामी सहिष्णुता: ग्रॅनाइट घटकांच्या कार्यक्षमतेसाठी आयामी सहिष्णुता महत्त्वपूर्ण आहे.सर्व गंभीर परिमाणांसाठी ग्रॅनाइट घटकांची मितीय सहिष्णुता ±0.1 मिमीच्या आत असावी.

6. कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोध: सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांसाठी कठोरपणा आणि पोशाख प्रतिरोध ही आवश्यक वैशिष्ट्ये आहेत.ग्रॅनाइटमध्ये मोहस स्केल 6-7 ची ​​कठोरता आहे, ज्यामुळे ते सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य सामग्री बनते.

7. इन्सुलेशन कार्यप्रदर्शन: सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांमध्ये संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक घटकांचे नुकसान टाळण्यासाठी उत्कृष्ट इन्सुलेशन कार्यक्षमता असणे आवश्यक आहे.विद्युत प्रतिकार 10^9 Ω/सेमी पेक्षा जास्त असावा.

8. रासायनिक प्रतिकार: ग्रॅनाइट घटक अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या सामान्य रसायनांना प्रतिरोधक असले पाहिजेत, जसे की आम्ल आणि क्षार.

शेवटी, सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांची मानके आणि वैशिष्ट्ये हे दोन्ही घटक आणि ते वापरलेले उपकरण यांचे दीर्घायुष्य आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहेत. वरील मार्गदर्शक तत्त्वांचे डिझाइन, फॅब्रिकेशन आणि इंस्टॉलेशन दरम्यान काटेकोरपणे पालन केले पाहिजे. घटक उच्च दर्जाचे आहेत याची खात्री करण्यासाठी प्रक्रिया.या मानकांचे आणि वैशिष्ट्यांचे पालन करून, सेमीकंडक्टर उत्पादक त्यांच्या उपकरणांचे कार्यप्रदर्शन इष्टतम राहतील याची खात्री करू शकतात, ज्यामुळे उत्पादकता आणि नफा वाढतो.