ग्रॅनाइट घटकांचा वापर त्यांच्या उच्च स्थिरता आणि टिकाऊपणामुळे अर्धवाहक उपकरणांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर केला जातो. ते अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेची अचूकता आणि अचूकता राखण्यासाठी जबाबदार असतात. तथापि, ग्रॅनाइट घटकांची प्रभावीता आणि विश्वासार्हता त्यांच्या डिझाइन, निर्मिती आणि स्थापनेदरम्यान राखल्या जाणाऱ्या मानकांवर आणि वैशिष्ट्यांवर अवलंबून असते.
सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट घटक वापरताना खालील काही मानके आणि तपशील पाळले पाहिजेत:
१. मटेरियल घनता: ग्रॅनाइट घटकांच्या निर्मितीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट मटेरियलची घनता सुमारे २.६५ ग्रॅम/सेमी३ असावी. ही नैसर्गिक ग्रॅनाइट मटेरियलची घनता आहे आणि ती ग्रॅनाइट घटकांच्या गुणधर्मांमध्ये सुसंगतता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करते.
२. सपाटपणा: अर्धवाहक उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांसाठी सपाटपणा हा सर्वात महत्त्वाचा निकष आहे. ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची सपाटपणा ०.००१ मिमी/मीटर२ पेक्षा कमी असावी. यामुळे घटकाची पृष्ठभाग सपाट आणि समतल राहण्याची खात्री होते, जी अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेसाठी आवश्यक आहे.
३. पृष्ठभाग पूर्ण करणे: ग्रॅनाइट घटकांचे पृष्ठभाग पूर्ण करणे उच्च दर्जाचे असावे, पृष्ठभागाची खडबडीतता ०.४µm पेक्षा कमी असावी. हे सुनिश्चित करते की ग्रॅनाइट घटकाच्या पृष्ठभागावर घर्षण गुणांक कमी आहे, जो अर्धसंवाहक उपकरणांच्या सुरळीत ऑपरेशनसाठी महत्त्वपूर्ण आहे.
४. थर्मल एक्सपेंशन कोएफिशियन्स: सेमीकंडक्टर उपकरणे वेगवेगळ्या तापमानांवर चालतात आणि ग्रॅनाइट घटक विकृतीशिवाय थर्मल चढउतार सहन करण्यास सक्षम असले पाहिजेत. सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइटचा थर्मल एक्सपेंशन कोएफिशियन्स २ x १०^-६ /°C पेक्षा कमी असावा.
५. मितीय सहिष्णुता: ग्रॅनाइट घटकांच्या कामगिरीसाठी मितीय सहिष्णुता महत्त्वाची आहे. सर्व गंभीर परिमाणांसाठी ग्रॅनाइट घटकांची मितीय सहिष्णुता ±०.१ मिमीच्या आत असावी.
६. कडकपणा आणि झीज प्रतिरोधकता: अर्धवाहक उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांसाठी कडकपणा आणि झीज प्रतिरोधकता ही आवश्यक वैशिष्ट्ये आहेत. ग्रॅनाइटमध्ये मोह्स स्केल ६-७ ची कडकपणा आहे, ज्यामुळे ते अर्धवाहक उपकरणांच्या अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी योग्य सामग्री बनते.
७. इन्सुलेशन कामगिरी: सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांमध्ये संवेदनशील इलेक्ट्रॉनिक घटकांचे नुकसान टाळण्यासाठी उत्कृष्ट इन्सुलेशन कार्यक्षमता असणे आवश्यक आहे. विद्युत प्रतिकार १०^९ Ω/सेमी पेक्षा जास्त असावा.
८. रासायनिक प्रतिकार: ग्रॅनाइट घटक अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या सामान्य रसायनांना, जसे की आम्ल आणि अल्कलींना प्रतिरोधक असले पाहिजेत.
शेवटी, सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइट घटकांसाठीचे मानके आणि वैशिष्ट्ये घटक आणि ते वापरत असलेल्या उपकरणांचे दीर्घायुष्य आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी महत्त्वपूर्ण आहेत. घटक उच्च दर्जाचे आहेत याची खात्री करण्यासाठी डिझाइन, फॅब्रिकेशन आणि स्थापना प्रक्रियेदरम्यान वरील मार्गदर्शक तत्त्वांचे काटेकोरपणे पालन केले पाहिजे. या मानके आणि वैशिष्ट्यांचे पालन करून, सेमीकंडक्टर उत्पादक त्यांच्या उपकरणांची कार्यक्षमता इष्टतम राहते याची खात्री करू शकतात, ज्यामुळे उत्पादकता आणि नफा वाढतो.
पोस्ट वेळ: मार्च-२०-२०२४