ग्रॅनाइट हे वेफर प्रक्रिया उद्योगात त्याच्या अपवादात्मक यांत्रिक गुणधर्मांमुळे आणि टिकाऊपणामुळे लोकप्रिय साहित्य आहे. हा एक नैसर्गिक दगड आहे जो जगभरातील खाणींमधून काढला जातो आणि शतकानुशतके विविध बांधकाम उद्देशांसाठी वापरला जात आहे, ज्यामध्ये सेमीकंडक्टर उपकरणांचे उत्पादन समाविष्ट आहे. या लेखात, आपण ग्रॅनाइटचे गुणधर्म आणि वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये त्याचे विविध उपयोग याबद्दल चर्चा करू.
ग्रॅनाइटचे गुणधर्म
ग्रॅनाइट हा एक अग्निजन्य खडक आहे जो अभ्रक, फेल्डस्पार आणि क्वार्ट्जपासून बनलेला आहे. तो त्याच्या अपवादात्मक ताकद, कडकपणा आणि टिकाऊपणासाठी ओळखला जातो, ज्यामुळे उच्च अचूकता आणि अचूकता आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी तो एक आदर्श पदार्थ बनतो. ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचा गुणांक कमी असतो, म्हणजेच तापमान बदलांमुळे तो विस्तारत नाही किंवा आकुंचन पावत नाही, ज्यामुळे तो अत्यंत स्थिर होतो. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइट गंज आणि रसायनांना प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे तो कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी एक आदर्श पदार्थ बनतो.
वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचे अनुप्रयोग
ग्रॅनाइट हे वेफर प्रक्रिया उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे साहित्य आहे कारण त्याच्या गुणधर्मांचे अद्वितीय संयोजन आहे. वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचे काही उपयोग खालीलप्रमाणे आहेत:
१. मेट्रोलॉजी टूल्स
ग्रॅनाइटचा वापर सामान्यतः मेट्रोलॉजी साधनांच्या निर्मितीमध्ये केला जातो, जसे की कोऑर्डिनेट मेजरिंग मशीन (CMM) आणि ऑप्टिकल मापन प्रणाली. या साधनांना कंपन आणि उष्णतेचा प्रतिकार करू शकतील अशा स्थिर पृष्ठभागांची आवश्यकता असते. ग्रॅनाइटचा उच्च कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार यामुळे ते अशा अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श साहित्य बनते.
२. वेफर चक
उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर चकचा वापर वेफर धरण्यासाठी केला जातो. वेफरला वाकण्यापासून किंवा वाकण्यापासून रोखण्यासाठी या चकला सपाट आणि स्थिर पृष्ठभागाची आवश्यकता असते. ग्रॅनाइट एक सपाट पृष्ठभाग प्रदान करतो जो अत्यंत स्थिर आणि वाकण्यास प्रतिरोधक असतो, ज्यामुळे ते वेफर चकसाठी एक उत्कृष्ट सामग्री बनते.
३. केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (CMP) टूल्स
उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्स पॉलिश करण्यासाठी सीएमपी टूल्सचा वापर केला जातो. या टूल्सना कंपन आणि उष्णतेचा प्रतिकार करू शकणारा स्थिर प्लॅटफॉर्म आवश्यक असतो. ग्रॅनाइटचा उत्कृष्ट कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार यामुळे ते सीएमपी टूल्ससाठी एक आदर्श मटेरियल बनते.
४. वेफर तपासणी उपकरणे
वेफर तपासणी उपकरणे दोष आणि दोषांसाठी वेफर्सची तपासणी करण्यासाठी वापरली जातात. अचूक मोजमाप सुनिश्चित करण्यासाठी या साधनांना स्थिर आणि सपाट पृष्ठभागाची आवश्यकता असते. ग्रॅनाइट एक स्थिर आणि सपाट पृष्ठभाग प्रदान करते जो वार्पिंगला प्रतिरोधक असतो, ज्यामुळे ते वेफर तपासणी उपकरणांसाठी एक आदर्श सामग्री बनते.
निष्कर्ष
शेवटी, ग्रॅनाइट हे त्याच्या अपवादात्मक यांत्रिक गुणधर्मांमुळे आणि टिकाऊपणामुळे वेफर प्रक्रिया उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे साहित्य आहे. ते सामान्यतः मेट्रोलॉजी टूल्स, वेफर चक, सीएमपी टूल्स आणि वेफर तपासणी उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये वापरले जाते. गुणधर्मांचे अद्वितीय संयोजन उच्च अचूकता आणि अचूकता आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी ते एक आदर्श साहित्य बनवते. त्याच्या अनेक फायद्यांसह, वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी ग्रॅनाइट हा एक लोकप्रिय पर्याय आहे आणि भविष्यात त्याचा वापर वाढत राहण्याची शक्यता आहे.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२७-२०२३