वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट म्हणजे काय?

ग्रॅनाइट ही एक अपवादात्मक यांत्रिक गुणधर्म आणि टिकाऊपणामुळे वेफर प्रोसेसिंग उद्योगातील एक लोकप्रिय सामग्री आहे. हा एक नैसर्गिक दगड आहे जो जगभरातील क्वेरीपासून खाण केला आहे आणि सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या निर्मितीसह शतकानुशतके विविध बांधकाम हेतूंसाठी वापरला जात आहे. या लेखात, आम्ही ग्रॅनाइटच्या गुणधर्म आणि वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमधील त्याच्या विविध अनुप्रयोगांवर चर्चा करू.

ग्रॅनाइटचे गुणधर्म

ग्रॅनाइट हा एक आग्नेय खडक आहे जो मीका, फेल्डस्पार आणि क्वार्ट्जचा बनलेला आहे. हे त्याच्या अपवादात्मक सामर्थ्य, कठोरपणा आणि टिकाऊपणासाठी ओळखले जाते, ज्यामुळे उच्च अचूकता आणि अचूकता आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी ती एक आदर्श सामग्री बनते. ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक आहे, ज्याचा अर्थ असा आहे की तापमानात बदल झाल्यामुळे ते विस्तृत किंवा संकुचित होत नाही, ज्यामुळे ते जास्त स्थिर होते. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइट गंज आणि रसायनांना प्रतिरोधक आहे, जे कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी एक आदर्श सामग्री बनवते.

वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचे अनुप्रयोग

गुणधर्मांच्या अद्वितीय संयोजनामुळे ग्रॅनाइट वेफर प्रोसेसिंग उद्योगात मोठ्या प्रमाणात वापरली जाणारी सामग्री आहे. खाली वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांमधील ग्रॅनाइटचे काही अनुप्रयोग खाली दिले आहेत:

1. मेट्रोलॉजी साधने

ग्रॅनाइट सामान्यत: मेट्रोलॉजी टूल्सच्या निर्मितीमध्ये वापरला जातो, जसे की समन्वय मापन मशीन (सीएमएमएस) आणि ऑप्टिकल मोजमाप प्रणाली. या साधनांना स्थिर पृष्ठभाग आवश्यक आहेत जे कंपन आणि उष्णतेचा प्रतिकार करू शकतात. ग्रॅनाइटचा उच्च कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार अशा अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवितो.

2. वेफर चक्स

मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेदरम्यान वेफर चक्स वेफर्स ठेवण्यासाठी वापरले जातात. या चक्सला वेफरला वॉर्पिंग किंवा वाकणे टाळण्यासाठी सपाट आणि स्थिर पृष्ठभाग आवश्यक आहे. ग्रॅनाइट एक सपाट पृष्ठभाग प्रदान करते जी अत्यंत स्थिर आणि वॉर्पिंगला प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे वेफर चक्ससाठी एक उत्कृष्ट सामग्री बनते.

3. केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी) साधने

उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान सीएमपी साधनांचा वापर वेफर्सला पॉलिश करण्यासाठी केला जातो. या साधनांना स्थिर व्यासपीठ आवश्यक आहे जे कंपन आणि उष्णतेचा प्रतिकार करू शकेल. ग्रॅनाइटचा उत्कृष्ट कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार हे सीएमपी साधनांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवते.

4. वेफर तपासणी उपकरणे

वेफर तपासणी उपकरणे दोष आणि त्रुटींसाठी वेफर्सची तपासणी करण्यासाठी वापरली जातात. अचूक मोजमाप सुनिश्चित करण्यासाठी या साधनांना स्थिर आणि सपाट पृष्ठभाग आवश्यक आहे. ग्रॅनाइट एक स्थिर आणि सपाट पृष्ठभाग प्रदान करते जे वॉर्पिंगला प्रतिरोधक असते, ज्यामुळे वेफर तपासणी उपकरणांसाठी एक आदर्श सामग्री बनते.

निष्कर्ष

शेवटी, ग्रॅनाइट ही अपवादात्मक यांत्रिक गुणधर्म आणि टिकाऊपणामुळे वेफर प्रोसेसिंग उद्योगात मोठ्या प्रमाणात वापरली जाणारी सामग्री आहे. हे सामान्यत: मेट्रोलॉजी टूल्स, वेफर चक्स, सीएमपी टूल्स आणि वेफर तपासणी उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये वापरले जाते. गुणधर्मांचे अद्वितीय संयोजन हे अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवते ज्यास उच्च सुस्पष्टता आणि अचूकता आवश्यक आहे. त्याच्या बर्‍याच फायद्यांसह, ग्रॅनाइट वेफर प्रोसेसिंग उपकरणांसाठी एक लोकप्रिय निवड राहिली आहे आणि भविष्यात त्याचा वापर वाढण्याची शक्यता आहे.