वेफर प्रक्रिया उद्योगात ग्रॅनाइट हे त्याच्या अपवादात्मक यांत्रिक गुणधर्मांमुळे आणि टिकाऊपणामुळे लोकप्रिय साहित्य आहे.हा एक नैसर्गिक दगड आहे जो जगभरातील खदानांमधून उत्खनन केला जातो आणि शतकानुशतके अर्धसंवाहक उपकरणांच्या निर्मितीसह विविध बांधकाम हेतूंसाठी वापरला जात आहे.या लेखात, आम्ही ग्रॅनाइटचे गुणधर्म आणि वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये त्याच्या विविध अनुप्रयोगांबद्दल चर्चा करू.
ग्रॅनाइटचे गुणधर्म
ग्रॅनाइट हा एक आग्नेय खडक आहे जो अभ्रक, फेल्डस्पार आणि क्वार्ट्जने बनलेला आहे.हे त्याच्या अपवादात्मक सामर्थ्य, कडकपणा आणि टिकाऊपणासाठी ओळखले जाते, ज्यामुळे उच्च सुस्पष्टता आणि अचूकता आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनते.ग्रॅनाइटमध्ये थर्मल विस्ताराचा कमी गुणांक असतो, याचा अर्थ तापमान बदलांमुळे त्याचा विस्तार होत नाही किंवा आकुंचन होत नाही, ज्यामुळे ते अत्यंत स्थिर होते.याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइट गंज आणि रसायनांना प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ते कठोर वातावरणात वापरण्यासाठी एक आदर्श सामग्री बनते.
वेफर प्रोसेसिंग इक्विपमेंटमध्ये ग्रॅनाइटचे ऍप्लिकेशन
ग्रॅनाइट हे गुणधर्मांच्या अद्वितीय संयोजनामुळे वेफर प्रक्रिया उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे साहित्य आहे.वेफर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटचे काही उपयोग खालीलप्रमाणे आहेत:
1. मेट्रोलॉजी टूल्स
ग्रॅनाइटचा वापर सामान्यतः मेट्रोलॉजी साधनांच्या निर्मितीमध्ये केला जातो, जसे की समन्वय मापन यंत्रे (सीएमएम) आणि ऑप्टिकल मापन प्रणाली.या साधनांना कंपन आणि उष्णतेचा प्रतिकार करू शकतील अशा स्थिर पृष्ठभागांची आवश्यकता असते.ग्रॅनाइटचा उच्च कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार हे अशा अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवते.
2. वेफर चक्स
वेफर चकचा वापर उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्स ठेवण्यासाठी केला जातो.वेफरला वाकण्यापासून किंवा वाकण्यापासून रोखण्यासाठी या चकांना सपाट आणि स्थिर पृष्ठभागाची आवश्यकता असते.ग्रॅनाइट एक सपाट पृष्ठभाग प्रदान करते जो अत्यंत स्थिर आणि वार्पिंगला प्रतिरोधक आहे, ज्यामुळे ते वेफर चकसाठी उत्कृष्ट सामग्री बनते.
3. केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (CMP) साधने
सीएमपी टूल्सचा वापर उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्स पॉलिश करण्यासाठी केला जातो.या साधनांना कंपन आणि उष्णतेचा प्रतिकार करू शकणारे स्थिर व्यासपीठ आवश्यक आहे.ग्रॅनाइटचा उत्कृष्ट कडकपणा आणि कमी थर्मल विस्तार यामुळे ते CMP टूल्ससाठी एक आदर्श सामग्री बनते.
4. वेफर तपासणी उपकरणे
वेफर तपासणी उपकरणे दोष आणि दोषांसाठी वेफर्सची तपासणी करण्यासाठी वापरली जातात.अचूक मोजमाप सुनिश्चित करण्यासाठी या साधनांना स्थिर आणि सपाट पृष्ठभाग आवश्यक आहे.ग्रॅनाइट एक स्थिर आणि सपाट पृष्ठभाग प्रदान करते जे वार्पिंगला प्रतिरोधक असते, ज्यामुळे ते वेफर तपासणी उपकरणांसाठी एक आदर्श सामग्री बनते.
निष्कर्ष
शेवटी, ग्रॅनाइट हे त्याच्या अपवादात्मक यांत्रिक गुणधर्मांमुळे आणि टिकाऊपणामुळे वेफर प्रक्रिया उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे साहित्य आहे.हे सामान्यतः मेट्रोलॉजी टूल्स, वेफर चक्स, सीएमपी टूल्स आणि वेफर तपासणी उपकरणांच्या निर्मितीमध्ये वापरले जाते.गुणधर्मांचे अनोखे संयोजन उच्च अचूकता आणि अचूकता आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांसाठी एक आदर्श सामग्री बनवते.त्याच्या अनेक फायद्यांसह, वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी ग्रॅनाइट हा लोकप्रिय पर्याय राहिला आहे आणि भविष्यात त्याचा वापर वाढण्याची शक्यता आहे.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२७-२०२३