तंत्रज्ञानाच्या वाढीसह, अर्धवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटच्या भागांचा वापर अधिकाधिक लोकप्रिय होत चालला आहे. ग्रॅनाइट हे अर्धवाहक उपकरणांच्या प्रक्रिया तंत्रज्ञानात वापरण्यासाठी एक लोकप्रिय पर्याय आहे कारण त्याचे अनेक फायदे आहेत. ग्रॅनाइट हे उपलब्ध असलेल्या सर्वात कठीण आणि टिकाऊ पदार्थांपैकी एक आहे जे ते अर्धवाहक उत्पादन उद्योगात वापरण्यासाठी आदर्श बनवते. हे एक उत्कृष्ट थर्मल कंडक्टर आहे आणि त्यात थर्मल विस्ताराचे गुणांक खूप कमी आहे जे ते उच्च तापमान अनुप्रयोगांमध्ये वापरण्यासाठी परिपूर्ण बनवते.
सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटच्या भागांच्या प्रक्रिया तंत्रज्ञानामध्ये विविध तंत्रे आणि प्रक्रियांचा समावेश असतो. ग्रॅनाइट पृष्ठभाग पॉलिश करणे, एचिंग करणे आणि साफ करणे हे आवश्यक टप्पे आहेत. वापरल्या जाणाऱ्या प्रक्रिया तंत्रज्ञानाचा प्रकार वापरल्या जाणाऱ्या ग्रॅनाइटच्या वापरावर आणि वापरल्या जाणाऱ्या प्रकारावर अवलंबून असेल.
सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइटच्या भागांवर प्रक्रिया करताना पॉलिशिंग हा एक महत्त्वाचा पैलू आहे. ग्रॅनाइटच्या पृष्ठभागावर उच्च प्रमाणात गुळगुळीत पॉलिश केल्याने प्रक्रियेदरम्यान वेफर खराब होणार नाही याची खात्री करण्यास मदत होते. यामुळे वेफरच्या पृष्ठभागावर कण किंवा ओरखडे दूषित होण्याची शक्यता कमी होते. यांत्रिक पॉलिशिंग, रासायनिक पॉलिशिंग आणि इलेक्ट्रोकेमिकल पॉलिशिंग अशा विविध पद्धतींद्वारे पॉलिशिंग साध्य करता येते.
अर्धवाहक उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट भागांवर प्रक्रिया करण्याचा आणखी एक मूलभूत पैलू म्हणजे एचिंग. ग्रॅनाइट भागाच्या पृष्ठभागावर इच्छित नमुने तयार करण्यासाठी एचिंगचा वापर केला जातो. हे नमुने अर्धवाहक वेफर्सच्या निर्मिती आणि प्रक्रियेत वापरले जातात. एचिंग करण्याचे अनेक मार्ग आहेत, ज्यामध्ये प्लाझ्मा एचिंग, ओले रासायनिक एचिंग आणि कोरडे रासायनिक एचिंग यांचा समावेश आहे. वापरल्या जाणाऱ्या एचिंग प्रक्रियेचा प्रकार सामग्री आणि इच्छित नमुन्यावर अवलंबून असेल.
ग्रॅनाइट पृष्ठभागाची स्वच्छता करणे देखील महत्त्वाचे आहे. पृष्ठभागावरील कोणतेही दूषित घटक, जसे की कण आणि इतर अशुद्धता जे अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत व्यत्यय आणू शकतात, ते काढून टाकण्यासाठी स्वच्छता प्रक्रिया आवश्यक आहे. अल्ट्रासोनिक स्वच्छता, रासायनिक स्वच्छता किंवा प्लाझ्मा स्वच्छता यासारख्या विविध पद्धती वापरून स्वच्छता करता येते.
शेवटी, सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये ग्रॅनाइट भागांची प्रक्रिया तंत्रज्ञान सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत महत्त्वाची भूमिका बजावते. ग्रॅनाइट भागांचा वापर अंतिम उत्पादनाची गुणवत्ता आणि विश्वासार्हता सुधारण्यास मदत करतो. प्रक्रिया तंत्रज्ञानामध्ये ग्रॅनाइट पृष्ठभाग पॉलिश करणे, एचिंग करणे आणि साफ करणे समाविष्ट आहे. प्रत्येक टप्प्यासाठी विविध पद्धती उपलब्ध आहेत आणि वापरल्या जाणाऱ्या प्रक्रिया तंत्रज्ञानाचा प्रकार सामग्री आणि इच्छित पॅटर्नवर अवलंबून असेल. योग्य प्रक्रिया तंत्रज्ञानाचा वापर करून, सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया अधिक कार्यक्षम, विश्वासार्ह आणि किफायतशीर बनवता येते.
पोस्ट वेळ: मार्च-१९-२०२४