ग्रॅनाइट एअर बेअरिंग सिस्टीमचा वापर मोठ्या प्रमाणावर केला जातोअति-अचूकतासेमीकंडक्टर उत्पादन, ऑप्टिकल अलाइनमेंट आणि नॅनोमीटर-स्केल मेट्रोलॉजीसाठी मोशन प्लॅटफॉर्म.
या प्रणाली हवेच्या पातळ दाबयुक्त थराचा वापर करून यांत्रिक संपर्क टाळतात, ज्यामुळे घर्षणरहित गती साधली जाते.
एअर बेअरिंग तत्त्व
एअर बेअरिंग्ज दोन पृष्ठभागांमध्ये संकुचित हवा सोडून कार्य करतात, ज्यामुळे २-२० μm जाडीचा हवेचा थर तयार होतो.
यामुळे हे वगळले जाते:
- यांत्रिक घर्षण
- परिधान
- स्टिक-स्लिप वर्तन
ही प्रणाली द्रव फिल्म गतिकी आणि स्थिर स्तरित प्रवाहावर अवलंबून असते.
ग्रॅनाइटची भूमिका
ग्रॅनाइट हे प्रदान करते:
- संरचनात्मक स्थिरता
- थर्मल ड्रिफ्ट सप्रेशन
- कंपन शमन
ते गती प्रणालीसाठी यांत्रिक संदर्भ आधार म्हणून काम करते.
सिस्टमचे घटक
- ग्रॅनाइट बेस
- एअर बेअरिंग पॅड्स
- हवा पुरवठा प्रणाली
- अचूक एन्कोडर
- गती नियंत्रण प्रणाली
कार्यप्रदर्शन वैशिष्ट्ये
सर्वसाधारण कामगिरीमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश आहे:
- सब-मायक्रॉन स्थिती अचूकता
- लांब प्रवासात उच्च सरळपणा
- शून्य यांत्रिक प्रतिकार
प्रमुख त्रुटींच्या स्रोतांमध्ये हवेच्या दाबातील अस्थिरता, औष्णिक विचलन आणि एन्कोडरमधील त्रुटी यांचा समावेश होतो.
अर्ज
- सेमीकंडक्टर वेफर तपासणी
- लिथोग्राफी प्रणाली
- ऑप्टिकल अलाइनमेंट प्लॅटफॉर्म
- उच्च-स्तरीय मेट्रोलॉजी मशीन
वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न
एअर बेअरिंग्ज झिजतात का?
यांत्रिक संपर्क नसल्यामुळे झीज होत नाही.
ग्रॅनाइटचा वापर का करावा?
स्थिरतेसाठी आणि कंपने कमी करण्यासाठी.
अचूकतेला कशामुळे मर्यादा येतात?
हवेची स्थिरता आणि औष्णिक परिणाम.
ते जड ओझे वाहून नेऊ शकतात का?
हो, डिझाइनवर अवलंबून आहे.
पोस्ट करण्याची वेळ: जुलै-०३-२०२६