ग्रॅनाइट हा एक कठीण आणि टिकाऊ पदार्थ आहे जो बांधकाम उद्योगात वापरला जातो. तथापि, त्यात असे गुणधर्म देखील आहेत जे ते सेमीकंडक्टर उत्पादनात, विशेषतः एकात्मिक सर्किट्सच्या निर्मिती आणि प्रक्रियेत उपयुक्त बनवतात. ग्रॅनाइट टेबल्स आणि ग्रॅनाइट ब्लॉक्ससारखे ग्रॅनाइट घटक त्यांच्या स्थिरता, सपाटपणा आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांकासाठी मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.
सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये ग्रॅनाइट घटकांचा एक प्राथमिक वापर म्हणजे फॅब्रिकेशन प्रक्रियेत. सिलिकॉन वेफर्स, इंटिग्रेटेड सर्किट्सचे मूलभूत बिल्डिंग ब्लॉक्स, उच्च अचूकता आणि अचूकतेने बनवले पाहिजेत. प्रक्रियेदरम्यान कोणत्याही विकृती किंवा हालचालीमुळे दोष निर्माण होऊ शकतात ज्यामुळे इंटिग्रेटेड सर्किट्सची गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता प्रभावित होऊ शकते. ग्रॅनाइट टेबल्स, त्यांच्या उच्च स्थिरता आणि सपाटपणासह, वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी एक चांगले व्यासपीठ प्रदान करतात. ते प्रक्रियेत आवश्यक असलेल्या हीटिंग आणि कूलिंगमुळे होणाऱ्या थर्मल विस्तार आणि आकुंचनास देखील प्रतिरोधक असतात.
ग्रॅनाइट ब्लॉक्सचा वापर त्यांच्या थर्मल स्थिरतेसाठी सेमीकंडक्टर प्रक्रियेत देखील केला जातो. एचिंग किंवा डिपॉझिशन प्रक्रियेदरम्यान, सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर बदल करण्यासाठी गरम वायू किंवा प्लाझ्मा वापरले जातात. प्रक्रिया कार्यक्षमतेने आणि अचूकपणे पार पाडली जाईल याची खात्री करण्यासाठी वेफरचे तापमान नियंत्रित करणे आवश्यक आहे. कमी थर्मल एक्सपेंशन गुणांक असलेले ग्रॅनाइट ब्लॉक्स वेफरचे तापमान स्थिर करण्यास मदत करतात, ज्यामुळे प्रक्रिया केलेल्या सामग्रीच्या गुणवत्तेवर परिणाम होऊ शकणाऱ्या तापमानातील चढउतारांचा धोका कमी होतो.
फॅब्रिकेशन आणि प्रोसेसिंग प्रक्रियेव्यतिरिक्त, सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगच्या मेट्रोलॉजी आणि तपासणी टप्प्यांमध्ये ग्रॅनाइट घटकांचा वापर केला जातो. वेफरवरील संरचनांचा आकार, आकार आणि स्थिती आवश्यक वैशिष्ट्यांमध्ये आहे याची खात्री करण्यासाठी मेट्रोलॉजी मोजमाप केले जातात. या मोजमापांमध्ये ग्रॅनाइट ब्लॉक्सचा वापर त्यांच्या मितीय स्थिरता आणि अचूकतेमुळे संदर्भ मानक म्हणून केला जातो. ते तपासणी टप्प्यांमध्ये देखील वापरले जातात, जिथे एकात्मिक सर्किट्सची गुणवत्ता उच्च विस्ताराखाली तपासली जाते.
एकंदरीत, अलिकडच्या वर्षांत सेमीकंडक्टर उत्पादनात ग्रॅनाइट घटकांचा वापर वाढला आहे. एकात्मिक सर्किट्सच्या निर्मिती आणि प्रक्रियेत उच्च अचूकता, अचूकता आणि स्थिरतेची आवश्यकता असल्याने सेमीकंडक्टर उत्पादकांनी या सामग्रीचा वापर करण्यास प्रवृत्त केले आहे. ग्रॅनाइटचे अद्वितीय गुणधर्म, जसे की त्याची कडकपणा, स्थिरता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक, या प्रक्रियांमध्ये वापरण्यासाठी ते एक उत्कृष्ट पर्याय बनवतात. सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या सतत विकास आणि सुधारणांसह, भविष्यात ग्रॅनाइट घटकांचा वापर आणखी वाढण्याची अपेक्षा आहे.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०५-२०२३