ग्रॅनाइट ही एक कठोर आणि टिकाऊ सामग्री आहे जी बहुतेकदा बांधकाम उद्योगात वापरली जाते.तथापि, त्यात गुणधर्म देखील आहेत जे सेमीकंडक्टर उत्पादनात, विशेषतः इंटिग्रेटेड सर्किट्सच्या फॅब्रिकेशन आणि प्रक्रियेत उपयुक्त ठरतात.ग्रॅनाइटचे घटक, जसे की ग्रॅनाइट टेबल आणि ग्रॅनाइट ब्लॉक्स, त्यांची स्थिरता, सपाटपणा आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक यासाठी मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात.
सेमीकंडक्टर उत्पादनामध्ये ग्रॅनाइट घटकांचा एक प्राथमिक वापर फॅब्रिकेशन प्रक्रियेत आहे.सिलिकॉन वेफर्स, एकात्मिक सर्किट्सचे मूलभूत बिल्डिंग ब्लॉक्स, उच्च सुस्पष्टता आणि अचूकतेसह तयार करणे आवश्यक आहे.प्रक्रियेदरम्यान कोणतीही विकृती किंवा हालचालीमुळे दोष निर्माण होऊ शकतात जे एकात्मिक सर्किट्सच्या गुणवत्तेवर आणि कार्यक्षमतेवर परिणाम करू शकतात.ग्रेनाइट टेबल, त्यांच्या उच्च स्थिरता आणि सपाटपणासह, वेफर प्रक्रिया उपकरणांसाठी एक चांगला व्यासपीठ प्रदान करतात.प्रक्रियेत आवश्यक गरम आणि थंड होण्यामुळे ते थर्मल विस्तार आणि आकुंचन यांना देखील प्रतिरोधक असतात.
त्यांच्या थर्मल स्थिरतेसाठी सेमीकंडक्टर प्रक्रियेमध्ये ग्रॅनाइट ब्लॉक्सचा देखील वापर केला जातो.कोरीव काम किंवा जमा करण्याच्या प्रक्रियेदरम्यान, सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर बदल करण्यासाठी गरम वायू किंवा प्लाझमाचा वापर केला जातो.प्रक्रिया कार्यक्षमतेने आणि अचूकपणे पार पडली आहे याची खात्री करण्यासाठी वेफरचे तापमान नियंत्रित करणे आवश्यक आहे.ग्रेनाइट ब्लॉक्स, त्यांच्या कमी थर्मल विस्तार गुणांकासह, वेफरचे तापमान स्थिर ठेवण्यास मदत करतात, ज्यामुळे प्रक्रिया केलेल्या सामग्रीच्या गुणवत्तेवर परिणाम होऊ शकणार्‍या तापमानातील चढउतारांचा धोका कमी होतो.
फॅब्रिकेशन आणि प्रक्रिया प्रक्रियेव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइट घटकांचा वापर सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या मेट्रोलॉजी आणि तपासणी टप्प्यांमध्ये देखील केला जातो.वेफरवरील स्ट्रक्चर्सचा आकार, आकार आणि स्थान आवश्यक विनिर्देशांमध्ये असल्याची खात्री करण्यासाठी मेट्रोलॉजी मोजमाप केले जातात.या मोजमापांमध्ये ग्रॅनाइट ब्लॉक संदर्भ मानक म्हणून वापरले जातात कारण त्यांच्या मितीय स्थिरता आणि अचूकतेमुळे.ते तपासणी टप्प्यात देखील वापरले जातात, जेथे एकात्मिक सर्किट्सची गुणवत्ता उच्च विस्तार अंतर्गत तपासली जाते.
एकूणच, अलिकडच्या वर्षांत अर्धसंवाहक उत्पादनात ग्रॅनाइट घटकांचा वापर वाढला आहे.इंटिग्रेटेड सर्किट्सच्या फॅब्रिकेशन आणि प्रोसेसिंगमध्ये उच्च सुस्पष्टता, अचूकता आणि स्थिरतेच्या गरजेमुळे सेमीकंडक्टर उत्पादकांनी या सामग्रीचा अवलंब केला आहे.ग्रॅनाइटचे कडकपणा, स्थिरता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक यासारखे अद्वितीय गुणधर्म या प्रक्रियांमध्ये वापरण्यासाठी एक उत्कृष्ट पर्याय बनवतात.सेमीकंडक्टर तंत्रज्ञानाच्या सतत विकास आणि सुधारणेसह, ग्रॅनाइट घटकांचा वापर भविष्यात आणखी वाढण्याची अपेक्षा आहे.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०५-२०२३