ग्रॅनाइट घटकांचा वापर अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत मोठ्या प्रमाणावर केला जातो कारण त्यांच्या उत्कृष्ट पृष्ठभागाची समाप्ती, उच्च कडकपणा आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंग यासारख्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे ग्रॅनाइट घटकांचा वापर मोठ्या प्रमाणात केला जातो. ग्रॅनाइट घटक अर्धवाहक उत्पादन उपकरणांसाठी आवश्यक आहेत, ज्यात लिथोग्राफी मशीन, पॉलिशिंग मशीन आणि मेट्रोलॉजी सिस्टम समाविष्ट आहेत कारण ते उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान अचूक स्थिती आणि स्थिरता प्रदान करतात. ग्रॅनाइट घटक वापरण्याचे सर्व फायदे असूनही, त्यांच्यात देखील दोष आहेत. या लेखात, आपण अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रिया उत्पादनांसाठी ग्रॅनाइट घटकांच्या दोषांवर चर्चा करू.
प्रथम, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये उच्च थर्मल एक्सपेंशन गुणांक असतो. याचा अर्थ असा की ते थर्मल ताणाखाली लक्षणीयरीत्या विस्तारतात, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान समस्या उद्भवू शकतात. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी उच्च अचूकता आणि मितीय अचूकता आवश्यक असते जी थर्मल ताणामुळे धोक्यात येऊ शकते. उदाहरणार्थ, थर्मल विस्तारामुळे सिलिकॉन वेफर विकृतीकरणामुळे लिथोग्राफी दरम्यान संरेखन समस्या उद्भवू शकतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणाची गुणवत्ता धोक्यात येऊ शकते.
दुसरे म्हणजे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये सच्छिद्रता दोष असतात ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत व्हॅक्यूम गळती होऊ शकते. सिस्टममध्ये हवा किंवा इतर कोणत्याही वायूची उपस्थिती वेफरच्या पृष्ठभागावर दूषित होऊ शकते, ज्यामुळे दोष निर्माण होतात ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणाच्या कार्यक्षमतेवर परिणाम होऊ शकतो. आर्गॉन आणि हेलियम सारख्या निष्क्रिय वायू सच्छिद्र ग्रॅनाइट घटकांमध्ये शिरू शकतात आणि वायूचे फुगे तयार करू शकतात जे व्हॅक्यूम प्रक्रियेच्या अखंडतेमध्ये व्यत्यय आणू शकतात.
तिसरे म्हणजे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये सूक्ष्म फ्रॅक्चर असतात जे उत्पादन प्रक्रियेच्या अचूकतेमध्ये व्यत्यय आणू शकतात. ग्रॅनाइट हा एक ठिसूळ पदार्थ आहे जो कालांतराने सूक्ष्म फ्रॅक्चर विकसित करू शकतो, विशेषतः जेव्हा सतत ताण चक्रांच्या संपर्कात येतो. सूक्ष्म फ्रॅक्चरच्या उपस्थितीमुळे आयामी अस्थिरता निर्माण होऊ शकते, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान लिथोग्राफी अलाइनमेंट किंवा वेफर पॉलिशिंग सारख्या महत्त्वपूर्ण समस्या उद्भवू शकतात.
चौथे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये मर्यादित लवचिकता असते. सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी लवचिक उपकरणे आवश्यक असतात जी वेगवेगळ्या प्रक्रियेतील बदलांना सामावून घेऊ शकतात. तथापि, ग्रॅनाइट घटक कडक असतात आणि वेगवेगळ्या प्रक्रियेतील बदलांशी जुळवून घेऊ शकत नाहीत. म्हणून, उत्पादन प्रक्रियेतील कोणत्याही बदलांसाठी ग्रॅनाइट घटक काढून टाकणे किंवा बदलणे आवश्यक असते, ज्यामुळे डाउनटाइम होतो आणि उत्पादकतेवर परिणाम होतो.
पाचवे, ग्रॅनाइट घटकांना त्यांच्या वजन आणि नाजूकपणामुळे विशेष हाताळणी आणि वाहतुकीची आवश्यकता असते. ग्रॅनाइट एक दाट आणि जड सामग्री आहे ज्यासाठी क्रेन आणि लिफ्टर्स सारख्या विशेष हाताळणी उपकरणांची आवश्यकता असते. याव्यतिरिक्त, ग्रॅनाइट घटकांना शिपमेंट दरम्यान नुकसान टाळण्यासाठी काळजीपूर्वक पॅकिंग आणि वाहतुकीची आवश्यकता असते, ज्यामुळे अतिरिक्त खर्च आणि वेळ लागतो.
शेवटी, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये काही तोटे आहेत जे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेच्या उत्पादनांच्या गुणवत्तेवर आणि उत्पादकतेवर परिणाम करू शकतात. ग्रॅनाइट घटकांची काळजीपूर्वक हाताळणी आणि देखभाल करून हे दोष कमी केले जाऊ शकतात, ज्यामध्ये मायक्रोफ्रॅक्चर आणि पोरोसिटी दोषांसाठी नियतकालिक तपासणी, दूषितता टाळण्यासाठी योग्य साफसफाई आणि वाहतुकीदरम्यान काळजीपूर्वक हाताळणी यांचा समावेश आहे. दोष असूनही, ग्रॅनाइट घटक त्यांच्या उत्कृष्ट पृष्ठभागाच्या फिनिश, उच्च कडकपणा आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंगमुळे अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेचा एक महत्त्वाचा भाग राहतात.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०५-२०२३