सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रोसेस प्रॉडक्टसाठी ग्रॅनाइट घटकांचे दोष

सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये ग्रॅनाइट घटकांचा मोठ्या प्रमाणात वापर केला गेला आहे कारण उत्कृष्ट पृष्ठभाग फिनिश, उच्च ताठरपणा आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंग यासारख्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे. लिथोग्राफी मशीन, पॉलिशिंग मशीन आणि मेट्रोलॉजी सिस्टमसह सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशन उपकरणांसाठी ग्रॅनाइट घटक आवश्यक आहेत कारण ते उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान अचूक स्थिती आणि स्थिरता प्रदान करतात. ग्रॅनाइट घटक वापरण्याचे सर्व फायदे असूनही, त्यांचे दोष देखील आहेत. या लेखात, आम्ही सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रोसेस प्रॉडक्ट्ससाठी ग्रॅनाइट घटकांच्या दोषांवर चर्चा करू.

प्रथम, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये उच्च थर्मल विस्तार गुणांक असतो. याचा अर्थ असा की ते थर्मल ताणतणावात लक्षणीय विस्तार करतात, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान समस्या उद्भवू शकतात. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेस उच्च अचूकता आणि मितीय अचूकता आवश्यक आहे जी थर्मल तणावामुळे तडजोड केली जाऊ शकते. उदाहरणार्थ, थर्मल विस्तारामुळे सिलिकॉन वेफर विकृतीकरण लिथोग्राफी दरम्यान संरेखन समस्या उद्भवू शकते, जे सेमीकंडक्टर डिव्हाइसच्या गुणवत्तेशी तडजोड करू शकते.

दुसरे म्हणजे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये पोर्सिटी दोष असतात ज्यामुळे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये व्हॅक्यूम गळती होऊ शकते. सिस्टममध्ये हवा किंवा इतर कोणत्याही गॅसची उपस्थिती वेफरच्या पृष्ठभागावर दूषित होऊ शकते, परिणामी अर्धसंवाहक डिव्हाइसच्या कामगिरीवर परिणाम होऊ शकतो. आर्गॉन आणि हेलियम सारख्या जड वायू सच्छिद्र ग्रॅनाइट घटकांमध्ये डोकावू शकतात आणि व्हॅक्यूम प्रक्रियेच्या अखंडतेमध्ये व्यत्यय आणू शकतील अशा गॅस फुगे तयार करू शकतात.

तिसर्यांदा, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये मायक्रोफ्रॅक्चर आहेत जे मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेच्या सुस्पष्टतेमध्ये व्यत्यय आणू शकतात. ग्रॅनाइट ही एक ठिसूळ सामग्री आहे जी कालांतराने मायक्रोफ्रॅक्चर विकसित करू शकते, विशेषत: जेव्हा सतत तणाव चक्रांच्या संपर्कात येते. मायक्रोफ्रॅक्चरच्या उपस्थितीमुळे मितीय अस्थिरता उद्भवू शकते, ज्यामुळे लिथोग्राफी संरेखन किंवा वेफर पॉलिशिंग सारख्या उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान महत्त्वपूर्ण समस्या उद्भवू शकतात.

चौथे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये लवचिकता मर्यादित आहे. सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेमध्ये लवचिक उपकरणे आवश्यक आहेत जी वेगवेगळ्या प्रक्रियेतील बदलांना सामावून घेऊ शकतात. तथापि, ग्रॅनाइट घटक कठोर आहेत आणि वेगवेगळ्या प्रक्रियेच्या बदलांशी जुळवून घेऊ शकत नाहीत. म्हणूनच, उत्पादन प्रक्रियेतील कोणत्याही बदलांमुळे ग्रॅनाइट घटक काढून टाकणे किंवा बदलणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे डाउनटाइम होते आणि उत्पादकता प्रभावित होते.

पाचवे, ग्रॅनाइट घटकांना त्यांचे वजन आणि नाजूकपणामुळे विशेष हाताळणी आणि वाहतूक आवश्यक आहे. ग्रॅनाइट एक दाट आणि जड सामग्री आहे ज्यास क्रेन आणि लिफ्टर्स सारख्या विशेष हाताळणीची उपकरणे आवश्यक आहेत. याव्यतिरिक्त, शिपमेंट दरम्यान नुकसान टाळण्यासाठी ग्रॅनाइट घटकांना काळजीपूर्वक पॅकिंग आणि वाहतुकीची आवश्यकता असते, ज्यामुळे अतिरिक्त खर्च आणि वेळ मिळेल.

शेवटी, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये काही कमतरता आहेत जी सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रोसेस उत्पादनांच्या गुणवत्तेवर आणि उत्पादकता प्रभावित करू शकतात. मायक्रोफ्रॅक्चर आणि पोर्सिटी दोषांसाठी नियतकालिक तपासणी, दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी योग्य साफसफाई आणि वाहतुकीदरम्यान काळजीपूर्वक हाताळणीसह ग्रॅनाइट घटकांच्या काळजीपूर्वक हाताळणी आणि देखभालद्वारे हे दोष कमी केले जाऊ शकतात. दोष असूनही, ग्रॅनाइट घटक त्यांच्या उत्कृष्ट पृष्ठभागाच्या समाप्तीमुळे, उच्च ताठरपणा आणि उत्कृष्ट कंपन ओलसरपणामुळे सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंग प्रक्रियेचा एक महत्त्वपूर्ण भाग राहतात.