उत्कृष्ट पृष्ठभाग पूर्ण करणे, उच्च कडकपणा आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंग यासारख्या उत्कृष्ट वैशिष्ट्यांमुळे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत ग्रॅनाइटचे घटक मोठ्या प्रमाणावर वापरले गेले आहेत.लिथोग्राफी मशीन, पॉलिशिंग मशीन आणि मेट्रोलॉजी सिस्टमसह अर्धसंवाहक फॅब्रिकेशन उपकरणांसाठी ग्रॅनाइट घटक आवश्यक आहेत कारण ते उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान अचूक स्थिती आणि स्थिरता प्रदान करतात.ग्रॅनाइट घटक वापरण्याचे सर्व फायदे असूनही, त्यांच्यात दोष देखील आहेत.या लेखात, आम्ही सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया उत्पादनांसाठी ग्रॅनाइट घटकांच्या दोषांवर चर्चा करू.
प्रथम, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये उच्च थर्मल विस्तार गुणांक असतो.याचा अर्थ ते थर्मल तणावाखाली लक्षणीयरीत्या विस्तारतात, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान समस्या उद्भवू शकतात.सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी उच्च सुस्पष्टता आणि मितीय अचूकता आवश्यक असते जी थर्मल तणावामुळे तडजोड केली जाऊ शकते.उदाहरणार्थ, थर्मल विस्तारामुळे सिलिकॉन वेफरच्या विकृतीमुळे लिथोग्राफी दरम्यान संरेखन समस्या उद्भवू शकतात, ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उपकरणाच्या गुणवत्तेशी तडजोड होऊ शकते.
दुसरे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये सच्छिद्रता दोष आहेत ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत व्हॅक्यूम लीक होऊ शकते.प्रणालीमध्ये हवा किंवा इतर कोणत्याही वायूच्या उपस्थितीमुळे वेफरच्या पृष्ठभागावर दूषित होऊ शकते, परिणामी सेमीकंडक्टर उपकरणाच्या कार्यक्षमतेवर परिणाम होऊ शकणारे दोष उद्भवू शकतात.आर्गॉन आणि हेलियम सारखे जड वायू सच्छिद्र ग्रॅनाइट घटकांमध्ये प्रवेश करू शकतात आणि गॅस फुगे तयार करू शकतात जे व्हॅक्यूम प्रक्रियेच्या अखंडतेमध्ये व्यत्यय आणू शकतात.
तिसरे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये मायक्रोफ्रॅक्चर असतात जे उत्पादन प्रक्रियेच्या अचूकतेमध्ये व्यत्यय आणू शकतात.ग्रॅनाइट ही एक ठिसूळ सामग्री आहे जी कालांतराने मायक्रोफ्रॅक्चर विकसित करू शकते, विशेषत: जेव्हा सतत तणाव चक्रांच्या संपर्कात येते.मायक्रोफ्रॅक्चरच्या उपस्थितीमुळे मितीय अस्थिरता निर्माण होऊ शकते, ज्यामुळे उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान लिथोग्राफी संरेखन किंवा वेफर पॉलिशिंग सारख्या महत्त्वपूर्ण समस्या उद्भवू शकतात.
चौथे, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये मर्यादित लवचिकता असते.सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी लवचिक उपकरणे आवश्यक आहेत जी भिन्न प्रक्रिया बदलांना सामावून घेऊ शकतात.तथापि, ग्रॅनाइट घटक कठोर आहेत आणि भिन्न प्रक्रिया बदलांशी जुळवून घेऊ शकत नाहीत.म्हणून, उत्पादन प्रक्रियेतील कोणत्याही बदलांमुळे ग्रॅनाइट घटक काढून टाकणे किंवा बदलणे आवश्यक आहे, ज्यामुळे डाउनटाइम होतो आणि उत्पादकता प्रभावित होते.
पाचवे, ग्रॅनाइट घटकांना त्यांचे वजन आणि नाजूकपणामुळे विशेष हाताळणी आणि वाहतूक आवश्यक असते.ग्रॅनाइट एक दाट आणि जड सामग्री आहे ज्यासाठी क्रेन आणि लिफ्टर्स सारख्या विशेष हाताळणी उपकरणांची आवश्यकता असते.याव्यतिरिक्त, शिपमेंट दरम्यान नुकसान टाळण्यासाठी ग्रॅनाइट घटकांना काळजीपूर्वक पॅकिंग आणि वाहतूक आवश्यक आहे, ज्यामुळे अतिरिक्त खर्च आणि वेळ लागतो.
शेवटी, ग्रॅनाइट घटकांमध्ये काही कमतरता आहेत ज्यामुळे सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रिया उत्पादनांची गुणवत्ता आणि उत्पादकता प्रभावित होऊ शकते.मायक्रोफ्रॅक्चर आणि सच्छिद्र दोषांसाठी नियतकालिक तपासणी, दूषित टाळण्यासाठी योग्य स्वच्छता आणि वाहतुकीदरम्यान काळजीपूर्वक हाताळणीसह ग्रॅनाइट घटकांची काळजीपूर्वक हाताळणी आणि देखभाल करून हे दोष कमी केले जाऊ शकतात.दोष असूनही, ग्रॅनाइट घटक त्यांच्या उत्कृष्ट पृष्ठभागाची समाप्ती, उच्च कडकपणा आणि उत्कृष्ट कंपन डॅम्पिंगमुळे अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेचा एक महत्त्वाचा भाग राहतात.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-०५-२०२३